Аннотация:Для исследования элементного состава твердых тел в нашей лаборатории создан экспериментальный комплекс, на котором реализована методика спектроскопии рассеяния ионов средних энергий (Medium Energy Ion Scattering, MEIS). Комплекс MEIS объединяет линейный ускоритель на энергии до 500 кэВ (фирмы High Voltage Engineering Europe – HVVE-500) и сверхвысоковакуумную камеру. Спектроскопия рассеяния ионов средних энергий (СРИСЕ) является разновидностью метода РОР. Отличительной особенностью методики является использование ионов с меньшей, чем в традиционом РОР энергией: для протонов - от 50 до 200 кэВ, а для ионов гелия начальные энергии могут достигать 400 кэВ, в то время как РОР использует ионы, ускоренные до 10 МэВ. Методика СРИСЭ позволяет анализировать элементный состав поверхностных слоёв материалов с разрешением по глубине в несколько ангстрем без разрушения изучаемого объекта.
В дипломной работе приведены подробное описание экспериментального комплекса СРИСЭ, реализованного на базе ускорителя HVEE-500, и результаты его применения для анализа наноразмерных объектов.