Аннотация:Целью данной работы являлось измерение скорости травления золота в аргоне на установке «Z-400». Для выполнения этой задачи были изготовлены пленочные образцы,
сформированы на них области, защищенные и незащищенные от воздействия разряда в плазме; измерены разницы толщин пленок в этих областях после проведения травления и, зная длительность травления, определено значение скорости травления пленок золота - 2,7±0.2 Å/с .