|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Исследование процессов сверхглубокого травления полупроводников в двухчастотном разрядекурсовая работа (Магистр)
- Научные руководители: Рахимов А.Т., Минаков П.В.
- Автор: Загребельный Д.В.,
- Тип: Магистр
- Организация, в которой проходила защита: МГУ имени М.В. Ломоносова
- Кафедра: Кафедра атомной физики, физики плазмы и микроэлектроники
- Год защиты: 2015
- Курс: 5
- Добавил в систему: Минаков Павел Владимирович