Аннотация:Проведено исследование изменения морфологии поверхности пленки Ti-Al до и после облучения ионами аргона. Обнаружено немонотонное изменение параметра шероховатости Ra и перепада высот Sz в зависимости от энергии ионов аргона. Обнаружено немонотонное изменение микротвердости пленки Ti-Al в зависимости от энергии имплантированных ионов.