Аннотация:Изучен метод Оже-электронной спектроскопии. Получены и проанализированы экспериментальные Оже спектры меди, марганца и их стехиометрических оксидов. Определены основные энергетические диапазоны характерные для каждого химического элемента. Проанализирована возможность проведения качественного и количественного анализа химического состава поверхности по экспериментальным Оже спектрам.