ИСТИНА

Защищенные диссертации сортировать по фамилии диссертанта сортировать по году защиты

• • 1985 Моделирование тепловых эффектов электронно-лучевого экспонирования фотошаблонов больших интегральных схем.
  • Кандидатская диссертация по специальности 05.12.18 (техн. науки)
  • Автор: Грачев Е.А., к.т.н., доц., МГУ имени М.В. Ломоносова
  • Научные руководители: Арменский Е.В., Кабанов А.Н.
  • Защищена в совете К063.68.02 при МИЭМ