Угловые и энергитические распределения вторичных ионов при распылении поликристалловдиссертация
-
Научный руководитель:
Черныш В.С.
-
Автор:
Миннебаев К.Ф.
-
Дата защиты:
9 марта 1989 года
-
Шифр диссертационного совета:
К 053.05.22
-
Организация:
физический факультет МГУ имени М.В. Ломоносова
-
Область знаний:
Фармация
-
Специальность:
01.04.04 - Физическая электроника
-
Тип диссертации:
Кандидатская
-
Добавил в систему:
Черныш Владимир Савельевич