ИСТИНА

Данная диссертация посвящена проблеме изучения кинетики атомов N и O в плазме соответствующих чистых газов (N2/O2) в очень слабо изученном диапазоне промежуточных давлений (~10-100 Торр). Такие исследования необходимы для разработки новых и оптимизации существующих плазменных источников атомов N и O, являющимися наиболее химически активными компонентами плазмы (радикалами). Эти источники применяются в микроэлектронике для функционализации материалов. Кроме того, полученные здесь результаты позволят строить более достоверные модели плазмы промышленных плазменных реакторов, используемых в микроэлектронике. В данной работе экспериментально верифицируется метод оптической диагностики плазмы (актинометрии) для определения концентраций атомов O и N в плазме in situ. В дальнейшем этот метод в различных модификациях используется также для определения величины скорости потерь атомов в плазме. Кроме того, для атомов N экспериментально была определена константа скорости диссоциации в плазме, что позволило также выявить механизм этого процесса и верифицировать самосогласованную модель разряда. Также с помощью оптических диагностик и аналитических моделей изучались процессы на поверхности диэлектрической (кварцевой) разрядной камеры с участием атомов. Таким образом была определена скорость потерь атомов O в плазме в зависимости от разрядных условий.