ИСТИНА

Впервые экспериментально исследованы закономерности формирования систем связанных аморфных и кристаллических нанокластеров кремния в матрице субоксида кремния при ее высокотемпературном отжиге и предложено объяснение их фотолюминесцентных свойств в рамках теории перколяции. Предложен и реализован метод одновременного экспериментального нахождения объемной доли и средних размеров кремниевых нанокристаллов в слоях субоксида кремния по спектрам ИК поглощения и комбинационного рассеяния света. Обнаружено уменьшение времени жизни фотолюминесценции нанокристаллов кремния при увеличении их концентрации выше порога перколяции, что указывает на возможность миграции экситонов по системе связанных нанокристаллов. Предложен новый метод формирования слоев люминесцирующих нанокластеров кремния посредством быстрого термического отжига аморфного кремня в комбинации с химическим травлением.