|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Дефектообразование и рекристаллизация в пленках кремния на сапфире при ионном облучениидиссертация
- Научный руководитель: Черныш В.С.
- Автор: Шемухин А.А.
- Год защиты: 2013
- Шифр диссертационного совета: Д 501.001.77
- Организация: МГУ имени М.В. Ломоносова
- Область знаний: Физика и математика
- Специальность: 01.04.20 - Физика пучков заряженных частиц и ускорительная техника
- Тип диссертации: Кандидатская
- Добавил в систему: Шемухин Андрей Александрович