![]() |
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Актуальность определяется совершенствованием возможностей снижения отрицательных эффектов совместного применения разнородных материалов в приборах электронной техники. Цель — научно обоснованный выбор эффективных режимов анодной посадки кремния на стекло, обеспечивающих минимальный уровень остаточных напряжений. Теоретические и практические результаты и их новизна заключаются в том, что получены температурные зависимости истинных значений ТКЛР стёкол марок ЛК5, Schott Borofloat 33, Corning 7740, Hoya SD-2 в диапазоне температур от минус 100 °C до 500 °C; установлено соотношение толщин кремния и стекла, минимизирующее остаточные напряжения на поверхности кремния; разработана методика минимизации остаточных напряжений соединения кремния и стекла.
№ | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
---|---|---|---|---|---|
1. | Полный текст диссертации | Dissertatsiya_Sinev.pdf | 4,6 МБ | 13 мая 2017 | |
2. | Автореферат | Avtoreferat_Sinev.pdf | 1,2 МБ | 13 мая 2017 |