ИСТИНА

Актуальность определяется совершенствованием возможностей снижения отрицательных эффектов совместного применения разнородных материалов в приборах электронной техники. Цель — научно обоснованный выбор эффективных режимов анодной посадки кремния на стекло, обеспечивающих минимальный уровень остаточных напряжений. Теоретические и практические результаты и их новизна заключаются в том, что получены температурные зависимости истинных значений ТКЛР стёкол марок ЛК5, Schott Borofloat 33, Corning 7740, Hoya SD-2 в диапазоне температур от минус 100 °C до 500 °C; установлено соотношение толщин кремния и стекла, минимизирующее остаточные напряжения на поверхности кремния; разработана методика минимизации остаточных напряжений соединения кремния и стекла.