ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
|
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Важным практическим применением диссертации являются разработанные основы технологии многослойных тонкоплёночных структур мишени с системой сквозных микроотверстий размером до 1,8 мкм на основе пиpoэлeктpичecких пленок ДФТА, обеспечивающие поглощение ИК-излучения в диапазоне =8÷14 мкм. Разработано 11 вариантов топологии, соответствующих комплектов фотошаблонов и технологических маршрутов, размер ЧЭ составлял от 16 мкм до 35 мкм.