Развитие методов микротомографии и определение средней энергии электронов, отраженных от многослойных микроструктурдиссертация
-
Научный руководитель:
Рау Э.И.
-
Автор:
Сеннов Руслан Александрович
-
Дата защиты:
10 ноября 2005 года
-
Шифр диссертационного совета:
Д 002.081.01
-
Организация:
ИПТМ РАН
-
Область знаний:
Физика и математика
-
Специальность:
05.27.01 - Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
-
Тип диссертации:
Кандидатская
-
Добавил в систему:
Рау Эдуард Иванович