ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
|
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Цель диссертационной работы - на основе экспериментального исследования кинетики накопления, перестройки и отжига радиационных центров в активных областях биполярных структур при облучении быстрыми электронами и термическом отжиге выбрать физически-обоснованные режимы и условия проведения операций радиационно-термической обработки и оценить эффективность их интеграции с традиционной технологией для получения качественно новых биполярных диодных и транзисторных структур со значительно улучшенным комплексом основных электрических параметров.