Вернуться к списку оборудования

Оборудование для комплектации лаборатории по изучению и разработке широкого спектра методов создания новых наноструктурированных функциональных материалов и устройств на их основе (1 шт.)

Входит в состав Оборудование для создания новых материалов
Краткое название: ПР303_LREFM
Тип: Другие типы оборудования (указать какие именно)
Подразделение: Физический факультет
Начало эксплуатации: 9 декабря 2011
Идентификатор: 10359394
Технические характеристики: Базовая вакуумная установка с фронтальной загрузочной дверью, для легирования тонких пленок, имплантации ионов и создания наноструктурированных металлических покрытий: 1. Объем основной камеры - 0.36 м3 2. Шлюзовая система загрузки образцов 3. Размер загружаемого образца - 210 х 294 мм 4. Объем шлюзовой камеры - 0.03 м3 5. Автоматический регулируемый затвор с контроллером для автоматического поддержания давления в рабочей камере 6. Диапазон регулирования давления - от 1*10-4 до 0.1 Тор 7. Безмасляный форвакуумный насос 8. Производительность - 100м3/ч 9. Турбомолекулярный насос 10. Производительность - 2000м3/ч 11. Безмасляный вакуумный пост с турбомолекулярным и полностью герметичнымы спиральнымы насосами для откачки загрузочной камеры 12. Производительность - 300 л/с Блок для осаждения алмазных кластеров: 1. Водоохлаждаемая герметичная камера 2. Объем камеры - 0,1 м3 3. Расположение двери - Фронтальное 4. Материал камеры - Нержавеющая сталь 5. Смотровое окно с заслонкой с диаметром 100 мм - 1 шт. 6. Водоохлаждаемый электрод с изоляционной оболочкой 7. Расположение - На верхней стенке камеры 8. Перемещение электрода в осевом направлении - 100 мм 9. Нагревательный стол 10. Температура - 750 °С 11. Диаметр столика - 100 мм
Расписание:

Понедельник-пятница с 11:30 до 17:00.
Адрес:

119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 35, комната 2-29; д. 1, стр. 2, комната Ц-60; д. 1, стр. 19, Лаборатория №2.
Список ответственных за данное оборудование: Список зарегистрированных ответственных за оборудование комплекса: