Отправляющая организация:МГУ имени М.В. Ломоносова
Принимающая организация:Albert-Ludwig University, Faculty of Engineering, Department of Microsystems Engineering, Freiburg, Германия
Отправляющее
подразделение:
Кафедра общей физики и молекулярной электроники
Направление:Стажировка сотрудника подразделения во внешней организации
Дата начала:1 июня 2011 г.
Дата окончания:31 октября 2011 г.
Цель стажировки:Изучение методики плазмохимического осаждения тонких пленок из газовой фазы с последующим формированием многослойных образцов с нанокристаллами кремния