|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Bulletin of the American Physical Society, 65th Annual Gaseous Electronics Conferenceжурнал
Индексирование:
нет
Период активности журнала:
не указан
- Добавил в систему: Лопаев Дмитрий Викторович
Статьи, опубликованные в журнале
-
- 2012 Ultra low-k dielectrics damage under VUV and EUV radiation
- Sergey Zyryanov, Oleg Braginsky, Alexander Kovalev, Dmitry Lopaev, Yury Mankelevich, Tatyana Rakhimova, Alexander Rakhimov, Anna Vasilieva, Mikhail Baklanov
- в журнале Bulletin of the American Physical Society, 65th Annual Gaseous Electronics Conference, том 57, № 8