ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
|
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Изобретение относится к области химии, в частности к методикам нансотуктурированя и модификации свойств поверхности. изобретение может быть использовано для изменения смачиваемости поверхности кремния путем изменения пористости поверхности, в том числе для получения гидрофильных или гидорофобных повехностей на основе кристаллического кремния. Способ вклюючает обработку поверхности кисталлического кремения электорохимическим травлением в растворе плавиковой кислоты концетрацией от 20% до 30% при подаче тока с поверхностной плотностью 750-1000 мА/см^2 в течение 5-30 секунд для получения гидрофильного кремения. Спосооб позволяет одноэтапно получать поверхности с мультимодальной пористостью нано- и микромасштаба.