|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Установка для плазмохимической обработки материаловпатент
- Авторы: Бояршинов Ю.А., Малярова М.А., Рябый В.А., Савинов В.П., Спорыхин А.А., Хурошвили Ш.Г., Якунин В.Г.
- Номер: А.С. СССР №1463115, H01L 21/00
- Дата публикации патента: 1 августа 1986 г.
-
Реферат (описание изобретения):
Установка позволяет повысить выход годных пластин.
- Добавил в систему: Якунин Валерий Георгиевич