|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Method of synthesis and formation of digital Hologram for use in microlithographyпатент
- Авторы: Rakhovsky V., Borisov M., Shamaev A.S., Chelybeev D., Gavrikov A., Mikheev P.
- Номер: US 20150185695 A1
- Дата публикации патента: 5 июля 2015 г.
- Добавил в систему: Шамаев Алексей Станиславович