Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИСТИНА ИНХС РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
Способ контроля параметров плазмы низкого давления в высокочастотном емкостном разряде
патент
Авторы:
Ковалевский В.Л.
,
Кузовников А.А.
,
Рябый В.А.
,
Савинов В.П.
,
Спорыхин А.А.
,
Якунин В.Г.
Номер:
А.С. СССР № 1531827, H01L 21/00
Дата публикации патента:
26 июня 1987 г.
Добавил в систему:
Якунин Валерий Георгиевич