ИСТИНА

Изобретение относится к ионной технологии и может быть использовано в металлургии, машиностроении и других областях техники для выявления напряженных участков на различных конструкциях, деталях машин, а также в криминалистике и археологии. Предлагаемый способ визуализации скрытых под поверхностью областей деформации включает последовательные стадии распыления образца наклонным ионным пучком, полировки и последующего распыления исследуемой поверхности вплоть до появления видимых следов деформации. Облучение ведется ионами с достаточно большой массой (Ar+, Kr+), с энергией 7÷10 кэВ, при которых коэффициент распыления мало отличается от своего максимального значения, под углами 60÷70о от нормали к исследуемой поверхности, соответствующими максимумам угловой зависимости коэффициента распыления. Это обеспечивает не только уменьшение необходимого времени облучения, но и возрастание четкости получаемого изображения, которая дополнительно возрастает за счет эффекта кумуляции в узком приповерхностном слое мишени.