Реактор для плазменной обработки полупроводниковых структурпатент
-
Авторы:
Павлов Г.Я.,
Сологуб В.А.,
Одиноков В.В.,
Бирюков М.Г.,
Айрапетов А.А.,
Павлов В.Б.,
Неклюдова П.А.,
Никонов А.М.,
Петров А.К.,
Кралькина Е.А.,
Вавилин К.В.,
Карпенкова Е.В.,
Гусева Н.Б.
-
Номер:
2670249
-
Дата публикации патента:
19 октября 2018 г.
-
Добавил в систему:
Кралькина Елена Александровна