|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Gradient method of mask edge correctionпатент
- Авторы: Медведева М.Г., Алёшин С.В., Егоров Е.Е., Родин С.Б.
- Номер: 7,039,896
- Дата публикации патента: 2 мая 2006 г.
-
Реферат (описание изобретения):
The present invention is directed to a method and apparatus for making mask edge corrections using a gradient method for high density chip designs. The present invention uses a newly defined cost function.
- Добавил в систему: Родин Сергей Борисович