|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Способ определения состояния поверхности полупроводников и диэлектриковпатент
- Авторы: Беспалов В.А., Дрозд В.Е., Киселев В.Ф., Левшин Л.В., Плотников Г.С., Салецкий А.М.
- Номер: 1194217
- Дата публикации патента: 22 июля 1985 г.
- Добавил в систему: Салецкий Александр Михайлович