|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
VERFAHREN ZUR BESCHICHTUNG VON OXIDIERBAREN MATERIALIEN MIT OXIDE AUFWEISENDEN SCHICHTENпатент
- Авторы: Gorbenko O.Y., Kaul A.R., Stadel O.
- Номер: #02758466.3-2119-EP0209070
- Дата публикации патента: 27 августа 2001 г.
-
Реферат (описание изобретения):
Способ получения пленок оксидных материалов на подложках, подверженных окислению.
- Добавил в систему: Кауль Андрей Рафаилович