![]() |
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Способ получения тонких пленок химических соединений, включающий перевод в раствор исходного координационно ненасыщенного химического соединения, путем присоединения нейтрального лиганда к центральному атому металла с образованием растворимого разнолигандного координационного соединения и нанесение тонкой пленки получившегося соединения из раствора на подложку, отличающийся тем, что в качестве нейтрального лиганда используется донорный лиганд, способный обратимо реагировать с исходным соединением с образованием растворимого разнолигандного координационного соединения и полностью удаляться из него при температуре ниже, чем температура термолиза исходного соединения, а полученная тонкая пленка дополнительно подвергается термической обработке при температуре ниже температуры термолиза исходного химического соединения, но выше температуры удаления лиганда.