ИСТИНА

Метод лазерной интерференционной литографии для создания мультимодальных (мультипериодических) интерференционных картин на поверхности материала путём формирования в одной плоскости интерференционной картины от 3-х* пучков с различными углами падения на образец**, с использованием прозрачной призмы перед зеркалом Ллойда***. *) увеличение числа периодов возможно путем увеличения числа призм с непараллельными отражающими поверхностями. **) также, возможно объединение описанных сложных элементов с непараллельным расположением отражающих плоскостей для формирования двумерных мультипериодических интерференционных картин. ***)также возможно использование интерферометра Ллойда с 2-мя и более непараллельными зеркалами, либо использованием 2-х и более дифракционных решеток с разным числом штрихов на мм и параллельной насечкой.