ИСТИНА

Устройство для изготовления периодических микроструктур методом лазерной интерференционной литографии, отличающееся тем, что в качестве источника света используется лазер с перестраиваемой длиной волны, что позволяет изменять период изготавливаемой структуры без дополнительной юстировки, а также тем, что можно не использовать линзу для фокусировки светового излучения, что позволяет использовать большие рабочие мощности и уменьшить время изготовления микроструктур. Данное устройство позволяет в прикладном плане получить возможность создания элементов устройств кремниевой электроники и фотоники, применимых для пространственного и частотного управления светом.