ИСТИНА

Изобретение относится к способу получения тонких пленок на основе оксида индия-олова с использованием метода микроплоттерной печати на поверхности подложек при термическом разложении органометаллических предшественников. Изобретение может быть использовано в электронике, приборостроении, радиотехнической промышленности, газовой сенсорике, оптике, энергетике и других областях науки и техники при формировании структур на основе оксида индия-олова, в том числе сложной геометрии. Способ получения тонкой пленки на основе оксида индия-олова на поверхности подложки из стекла или кварца включает смешивание растворов алкоксоацетилацетоната индия и ацетилацетоната олова в 1-бутаноле, нанесение раствора, полученного смешиванием упомянутых растворов, на поверхность предварительно очищенной и обезжиренной подложки и термическую обработку в кислородосодержащей атмосфере. Для смешивания используют раствор алкоксоацетилацетоната индия в 1-бутаноле концентрацией в диапазоне 0,001-1 моль/л. Смешивание растворов ацетилацетоната олова и алкоксоацетилацетоната индия в 1-бутаноле проводят для получения оксида состава In2O3-xSnO2, причем х=5-15 мол. %. Нанесение раствора, полученного смешиванием упомянутых растворов, на поверхность упомянутой подложки осуществляют с формированием пленки методом микроплоттерной печати с использованием в качестве дозатора капилляра с внутренним диаметром 5-250 мкм, перемещающегося со скоростью 50-500 мм/мин и шагом 5-250 мкм. Перед термической обработкой подложку со сформированной пленкой выдерживают в атмосфере газообразного аммиака в течение 30 мин. Последующую термическую обработку в кислородосодержащей атмосфере упомянутой подложки со сформированной пленкой проводят при 300-650°С в течение 0,5-24 ч с получением тонкой пленки на основе оксида индия-олова. Обеспечивается получение тонких пленок на основе оксида индия-олова на поверхности подложек с использованием простого и экономичного метода микроплоттерной печати.