ИСТИНА

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к устройствам измерения с помощью сканирующего зондового микроскопа рельефа, линейных размеров и физических характеристик поверхности объектов в режимах сканирующего туннельного микроскопа и атомно-силового микроскопа. Также в предложенном устройстве предусмотрена возможность измерения массы тонкопленочного образца и диссипативных свойств тонкопленочного образца или жидкой среды измерения посредством пьезокварцевых микровесов, и возможна модификация поверхности объекта. Сущность изобретения заключается в том, что в сканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с устройством измерения массы и диссипативных свойств, содержащий блок управления пьезокварцевых микровесов, сканирующее устройство с держателем зонда, зонд, систему регистрации, камеру и помещенный в камеру кварцевый резонатор, содержащий кварцевый диск, верхний и нижний электроды, введены оптическая система, XYZ позиционер и устройство для подачи напряжения между зондом и верхним электродом. Технический результат - расширение функциональных возможностей устройства. 13 з.п. ф-лы, 1 ил.