ИСТИНА

Настоящая полезная модель может быть использована для осаждения слоев и структур различных веществ из молекулярных потоков, включая получение эпитаксиальных нано- и микрослоев. Микроразмерная кристаллизационная ячейка представляет собой сэндвич из двух соосных плоскопараллельных источников паров ростового вещества и подложки, разделенных тонкой вакуумной зоной. Источник паров является составным (дискретным), состоящим из несущей пластины с низким давлением собственных паров и локальных элементарных жидких испарителей ростового вещества, расположенных на рабочей поверхности пластины в определенном порядке. Дискретный источник диаметром, равным или более D, где D - диаметр подложки, располагают на таком расстоянии l от подложки, чтобы выполнялось условие микроразмерности, то есть l/D<<1. В устройстве преодолено принципиальное ограничение прототипа, заключающееся в невозможности производить нагрев ростового вещества выше температуры его плавления. Этим достигается повышение максимальной скорости осаждения пленочных структур и расширение ассортимента используемых материалов. Основные выгодные преимущества прототипа в предлагаемом устройстве сохраняются: практически полный перенос от источника к подложке ростового вещества и активных примесей с малыми коэффициентами конденсации, простота конструкции оборудования с возможностью использовать подложки большой площади.