ИСТИНА

Формула изобретения Калибровочный эталон для профилометров и сканирующих зондовых микроскопов, состоящий из пластины, отличающийся тем, что пластина изготовлена из поляризованного пьезоэлектрического материала и к двум противоположным сторонам пластины прикреплено по электроду, соединенному с источником электрического напряжения постоянной амплитуды и полярности.