ИСТИНА

Изобретение относится к аналитическому приборостроению, а именно к средствам селективного обнаружения и распознавания газовых сред. Полупроводниковый газовый сенсор содержит микронагреватель, предназначенный для локального равномерного нагрева поверхности газочувствительной области, при этом микронагреватель для полупроводникового газового сенсора включает пластину монокристаллического кремния с размещенной на ней диэлектрической мембраной, металлические элементы, расположенные на диэлектрической мембране, выполненные изолированными друг от друга с помощью диэлектрического слоя и включающие нагревательные элементы, формирующие область нагрева, контактные электроды, расположенные между нагревательными элементами, контактные площадки, лиофобный слой, содержащий окна, расположенные в проекциях области нагрева и контактных площадок, служащий механическим барьером для жидкости или суспензии, используемой для формирования газочувствительного слоя в области нагрева. Техническим результатом изобретения является обеспечение возможности нанесения газочувствительного материала на поверхность тонкой диэлектрической мембраны в области нагрева микронагревателя методом струйной микропечати с получением слоя требуемой геометрии (формы и толщины) без растекания материала за пределы области нагрева в процессе его нанесения. 12 з.п. ф-лы, 5 ил.