|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Магнетронная распылительная системапатент
- Авторы: Трофимов В.Н., Каландия М.Р., Соколов А.В., Борисов В.М., Якушкин А.А., Назаренко Н.А., Исаков А.О., Черепанова Ю.В.
- Номер: RU2782416C1
- Дата публикации патента: 26 октября 2022 г.
-
Реферат (описание изобретения):
Технической задачей и техническим результатом изобретения является оптимизация конструкции протяженных магнетронных распылительных систем, упрощение технологии их изготовления, расширение их функциональных возможностей.
- Добавил в систему: Каландия Маргарита Раминовна