ИСТИНА

Сычева Анастасия Александровна пользователь

МГУ имени М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына, Отдел микроэлектроники, младший научный сотрудник, с 1 июля 2019

Прежние места работы (Нажмите для отображения)

Соавторы: Воронина Е.Н., Рахимова Т.В., Палов А.П., Рахимов А.Т., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Волошин Д.Г., Зотович А.И., Зырянов С.М., Новиков Л.С., Прошина О.В.

18 статей, 18 докладов на конференциях, 3 тезисов докладов, 6 НИР, 1 награда, 1 диссертация

Количество цитирований статей в журналах по данным Web of Science: 26, Scopus: 27

IstinaResearcherID (IRID): 9409381

ResearcherID: E-6079-2015

Scopus Author ID: 56436379900

Деятельность

---

• Статьи в журналах

  • • 2020 Features of Low-energy He and Ar Ion Irradiation of Nanoporous Si/SiO2-based Materials
    • Sycheva A.A., Voronina E.N.
    • в журнале Technical Physics Letters, издательство Pleiades Publishing, Ltd (Road Town, United Kingdom), том 46, № 6 DOI
  • 
    • 2020 Irradiation of nanoporous structures with light and heavy low-energy ions: Sputtering enhancement and pore sealing
    • Sycheva A.A., Voronina E.N., Rakhimova T.V., Novikov L.S., Rakhimov A.T.
    • в журнале Journal of Vacuum Science and Technology A, издательство AIP Publishing (United States), том 38, № 5, с. 053004-053004 DOI
  • 
    • 2020 Molecular Dynamics Simulation of silicon irradiation with low-energy noble gas ions
    • Sycheva A.A., Voronina E.N.
    • в журнале Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques, издательство Pleiades Publishing, Ltd (Road Town, United Kingdom), том 14, № 4, с. 808-815 DOI
  • 
    • 2020 Pore sealing mechanism in OSG low- k films under ion bombardment
    • Voronina E.N., Sycheva A.A., Lopaev D.V., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Proshina O.V., Voloshin D.G., Zyryanov S.M., Zotovich A.I., Mankelevich Y.A.
    • в журнале Plasma Processes and Polymers, издательство Wiley - V C H Verlag GmbbH & Co. (Germany), № 2, с. e1900165 DOI
  • • 2020 Влияние кривизны поверхности на процессы физического распыления кремния ионами Ar низкой энергии
    • Сычева А.А.
    • в журнале Письма в "Журнал технической физики", издательство Наука. С.-Петерб. отд-ние (СПб.), том 46, № 23, с. 29-32 DOI
  • • 2020 Молекулярно-динамическое моделирование воздействия на кремний ионов инертных газов низкой энергии
    • Сычева А.А., Воронина Е.Н.
    • в журнале Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, № 8, с. 61-69 DOI
  • • 2020 Особенности воздействия ионов He и Ar низких энергий на нанопористые Si/SiO2 -материалы
    • Сычева А.А., Воронина Е.Н.
    • в журнале Письма в "Журнал технической физики", издательство Наука. С.-Петерб. отд-ние (СПб.), том 46, № 11, с. 15-18 DOI
  • 
    • 2019 Analysis of results of silicon sputtering simulation with various Ar–Si potentials
    • Sycheva A.A., Voronina E.N., Palov A.P.
    • в журнале Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques, издательство Pleiades Publishing, Ltd (Road Town, United Kingdom), том 13, № 6, с. 1272-1279 DOI
  • 
    • 2019 Influence of porosity and pore size on sputtering of nanoporous structures by low-energy Ar ions: Molecular dynamics study
    • Sycheva A.A., Voronina E.N., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T.
    • в журнале Applied Surface Science, издательство Elsevier BV (Netherlands), том 475, с. 1021-1032 DOI
  • 
    • 2019 Structural changes in nanoporous silicon-based materials under low-energy ion impact
    • Sycheva A.A., Voronina E.N., Rakhimova T.V.
    • в журнале Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques, издательство Pleiades Publishing, Ltd (Road Town, United Kingdom), том 13, № 5, с. 855-861 DOI
  • • 2019 МД-моделирование Физического Распыления Пористых Si-содержащих Материалов Ионами Ar Низких Энергий
    • Сычева А.А., Воронина Е.Н., Рахимова Т.В.
    • в журнале Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, № 1, с. 104-112 DOI
  • • 2019 Структурные изменения нанопористых материалов на основе кремния под воздействием ионов низкой энергии
    • Сычева А.А., Воронина Е.Н., Рахимова Т.В.
    • в журнале Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, № 9, с. 75-82 DOI
  • 
    • 2018 Argon clustering in silicon under low-energy irradiation: Molecular dynamics simulation with different Ar–Si potentials
    • Sycheva A.A., Voronina E.N., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T.
    • в журнале Journal of Vacuum Science and Technology A, издательство AIP Publishing (United States), том 36, № 6, с. 061303 DOI
  • 
    • 2018 Molecular dynamics simulation of the physical sputtering of porous Si-containing materials by low-energy Ar ions
    • Sycheva A.A., Voronina E.N., Rakhimova T.V.
    • в журнале Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques, издательство Pleiades Publishing, Ltd (Road Town, United Kingdom), том 12, № 6, с. 1270-1277 DOI
  • 
    • 2016 Collision Cross Sections for O + Ar+ Collisions in the Energy Range 0.03−500 eV
    • Sycheva A., Balint-Kurti G.G., Palov A.P.
    • в журнале The Journal of Physical Chemistry A: Molecules, Clusters, and Aerosols, издательство American Chemical Society (United States), том 120, № 27, с. 4655-4663 DOI
  • 
    • 2015 Elastic scattering process for argon ions and oxygen atoms in 10-500 eV range of relative kinetic energies
    • Sycheva A.A., Palov A.P.
    • в журнале Journal of Physics: Conference Series, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 635, № 012001, с. 022029-022029 DOI
  • 
    • 2014 Elastic Scattering of an Oxygen Atom on a Silicon Atom in the 10–500 eV Range of Relative Kinetic Energies
    • Sycheva A.A., Balint-Kurti G.G., Palov A.
    • в журнале Technical Physics Letters, издательство Pleiades Publishing, Ltd (Road Town, United Kingdom), том 40, № 11, с. 1027-1030 DOI
  • • 2014 Упругое рассеяние атома кислорода на атоме кремния в диапазоне относительных кинетических энергий 10−500 eV
    • Сычева А.А., Balint-Kurti G.G., Палов А.П.
    • в журнале Письма в "Журнал технической физики", издательство Наука. С.-Петерб. отд-ние (СПб.), том 40, № 22, с. 90-96

• Доклады на конференциях

  • • 2019 Molecular dynamics simulation of Si/SiO2-based nanoporous material irradiation by low-energy Ar and He ions (Устный)
    • Авторы: Sycheva A.A., Rakhimov A.T., Voronina E.N.
    • 24th International Conference on Ion-Surface Interactions (ISI-2019), Москва, Россия, 19-23 августа 2019
  • • 2019 Моделирование воздействия на кремний ионов инертных газов низкой энергии (Устный)
    • Авторы: Воронина Е.Н., Сычева А.А.
    • 49-я Международная Тулиновская конференция "Физика взаимодействия заряженных частиц с кристаллами", Москва, Россия, 28-30 мая 2019
  • • 2019 Pore sealing in low-k dielectrics by low-energy ions (Устный)
    • Авторы: Voronina E.N., Lopaev D.V., Sycheva A.A., Rakhimova T.V., Mankelevich Yu A.
    • Plasma Etch and Strip for Microtechnology workshop (PESM 2019), Гренобль, Франция, 20-21 мая 2019
  • • 2018 Direct dynamic DFT simulation of the N atom interaction with Si–CHxNy groups on low-k SiOCH films (Стендовый)
    • Авторы: Rakhimova T.V., Sycheva A.A., Mankelevich Yu A., Voronina E.N.
    • MOLEC 2018, Dinard, Франция, 26-31 августа 2018
  • • 2018 Dynamic DFT study of interaction of H radicals with MoS2 monolayer (Стендовый)
    • Авторы: Voronina E.N., Mankelevich Yu A., Rakhimova T.V., Sycheva A.A.
    • MOLEC 2018, Dinard, Франция, 26-31 августа 2018
  • • 2018 Role of porosity and pore size in structural changes of nanoporous silicon-based materials under low-energy ion irradiation (Устный)
    • Авторы: Voronina E.N., Rakhimova T.V., Sycheva A.A.
    • 3rd International Summer School on the Physics of Plasma-Surface Interactions, National Research Nuclear University "MEPhI", Россия, 16-20 июля 2018
  • • 2018 Анализ результатов моделирования распыления кремния в зависимости от различных Ar-Si потенциалов (Стендовый)
    • Авторы: Сычева А.А., Палов А.П., Воронина Е.Н.
    • XLVIII Международная Тулиновская Конференция по Физике Взаимодействия Заряженных Частиц с Кристаллами, МГУ им. Ломоносова, Россия, 29-31 мая 2018
  • • 2018 Исследование структурных изменений нанопористых Si-содержащих материалов в процессе их физического распыления ионами Ar низких энергий (Стендовый)
    • Авторы: Воронина Е.Н., Сычева А.А., Рахимова Т.В.
    • XLVIII Международная Тулиновская Конференция по Физике Взаимодействия Заряженных Частиц с Кристаллами, МГУ им. Ломоносова, Россия, 29-31 мая 2018
  • • 2017 Molecular Dynamics Simulation Of Physical Sputtering Of Nanoporous Silicon-Based Materials With Low Energy Argon (Стендовый)
    • Авторы: Sycheva A.A., Voronina E.N.
    • XXIII International Conference Ion – Surface Interactions «ISI – 2017», Россия, 21-25 августа 2017
  • • 2017 Использование различных потенциалов при МД-моделировании распыления Si-содержащих материалов (Стендовый)
    • Авторы: Сычева А.А., Воронина Е.Н.
    • 47-я Международная Тулиновская конференция "Физика взаимодействия заряженных частиц с кристаллами", Москва, Россия, 30 мая - 1 июня 2017
  • • 2016 Analysis of damage creation mechanism in silica-based materials during plasma etching (Стендовый)
    • Авторы: Sycheva A.A., Voronina E.N.
    • International Conference on Many Particle Spectroscopy of Atoms, Molecules, Clusters and Surfaces (MPS2016), Москва, Россия, 23-26 августа 2016
  • • 2016 UV Photoabsorption for low-lying electronic states of silicon monoxide (Стендовый)
    • Авторы: Sycheva A.A., Palov A.P.
    • International Conference on Many Particle Spectroscopy of Atoms, Molecules, Clusters and Surfaces (MPS2016), Москва, Россия, 23-26 августа 2016
  • • 2016 Разработка базы данных сечений упругого взаимодействия для описания плазменного травления. (Стендовый)
    • Автор: Сычева А.А.
    • Международная Летняя Суперкомпьютерная Академия 2016, МГУ имени М.В.Ломоносова, Россия, 23 июня - 2 июля 2016
  • • 2016 Исследование механизма возникновения дефектов в структуре кремнийсодержащих материалов в процессе их плазменной обработки методами молекулярной динамики и теории функционала плотности (Стендовый)
    • Авторы: Сычева А.А., Воронина Е.Н.
    • XLVI международная Тулиновская конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами, Москва, Россия, 31 мая - 2 июня 2016
  • • 2016 Разработка базы данных ab initio бинарных потенциалов и сечений упругого взаимодействия для описания плазменного травления. Пара Ar-Si (Стендовый)
    • Авторы: Палов А.П., Сычева А.А.
    • XLIII Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС, Звенигород, Россия, 8-12 февраля 2016
  • • 2015 Elastic scattering process for argon ions and oxygen atoms in 10-500 eV range of relative kinetic energies (Стендовый)
    • Авторы: Palov A., Sycheva A.A.
    • XXIX International Conference on Photonic, Electronic and Atomic Collisions (ICPEAC), Толедо, Испания, 22 июля - 28 сентября 2015
  • • 2014 Photodissociation of SiO molecule (Стендовый)
    • Авторы: Sycheva A.A., Balint-Kurti G.G., Palov A.P.
    • Stereodynamics 2014, Saint Petersburg , 2014
  • • 2014 Упругое рассеяние атома кислорода на атоме кремния в диапазоне энергий 0.01-100 эВ (Стендовый)
    • Авторы: Сычева А.А., Рахимова Т.В., Палов А.П.
    • XLI Международная Звенигородская конференция по физике плазмы и управляемому термоядерному синтезу, 10-14 февраля 2014, г. Звенигород, г. Звенигород, Россия, 10-14 февраля 2014

• Тезисы докладов

  • • 2019 Pore sealing in low-k dielectrics by low-energy ions
    • Voronina E.N., Lopaev D.V., Mankelevich Yu A., Rakhimova T.V., Sycheva A.A.
    • в сборнике Plasma Etch and Strip in Microthechnology (PESM 2019). Book of abstracts. May 20–21, 2019, Grenoble, France, место издания MINATEC Grenoble, France, тезисы, с. 52-53
  • • 2017 МД-Моделирование Физического Распыления Пористых Si-содержащих Материалов Ионами Ar Низких Энергий
    • Сычева А.А., Воронина Е.Н.
    • в сборнике Взаимодействие ионов с поверхностью ВИП-2017. Труды 23 Межд. конф. Москва, Россия, 21-25 августа 2017 г, место издания Организационный комитет международной конференции Взаимодействие ионов с поверхностью Москва, Россия, том 1, тезисы, с. 142-145
  • • 2015 Поглощение ультрафиолетового излучения экзотической молекулой SiO
    • Сычева А.А., Палов А.П., Balint-Kurti G.G.
    • в сборнике XXIV Международная научно-практическая конференция «Научное сообщество студентов XXI столетия. ЕСТЕСТВЕННЫЕ НАУКИ» (Россия, г. Новосибирск, 28 октября 2014 г.), серия Естеств. науки, место издания СибАК г. Новосибирск, том 24, тезисы

• НИРы

  • • 20 мая 2019 - 31 декабря 2020 Механизм травления и повреждения нанопористых диэлектрических материалов при пониженных температурах
    • Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
    • Руководитель: Манкелевич Ю.А. Ответственные исполнители: Воронина Е.Н., Зырянов С.М., Лопаев Д.В. Участники НИР: Волошин Д.Г., Зотович А.И., Кропоткин А.Н., Палов А.П., Рахимова Т.В., Сычева А.А., Шибанов Д.Р.
  • • 3 декабря 2018 - 3 декабря 2021 Исследование способов функционализации нанопористых пленок с низкой диэлектрической проницаемостью и нанесения диффузионных барьеров на их поверхность
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Ответственные исполнители: Минаков П.В., Прошина О.В., Сычева А.А. Участники НИР: Васильева А.Н., Зырянов С.М., Ковалев А.С., Рябинкин А.Н., Серов А.О., Чукаловский А.А.
  • • 2 мая 2017 - 31 декабря 2018 Исследование свойств многочастотной ВЧ плазмы сложного состава, включая потоки и энергетический спектр ионов и фотонов, и их влияние на элементарные процессы на поверхности
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Ответственные исполнители: Волошин Д.Г., Палов А.П., Рахимова Т.В. Участники НИР: Богданова М.А., Волынец А.В., Зотович А.И., Ковалев А.С., Поройков А.Ю., Сычева А.А., Чукаловский А.А.
  • • 16 мая 2016 - 31 декабря 2018 Механизм травления и повреждения нанопористых диэлектрических материалов при пониженных температурах
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Манкелевич Ю.А. Ответственные исполнители: Зырянов С.М., Лопаев Д.В., Прошина О.В. Участники НИР: Богданова М.А., Волошин Д.Г., Воронина Е.Н., Зотович А.И., Иванов А.С., Кропоткин А.Н., Курчиков К.А., Палов А.П., Сычева А.А.
  • • 1 января 2015 - 31 декабря 2023 Экспериментальные и теоретические исследования неравновесных плазменных процессов в газовой фазе и на поверхности
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Алов Н.В., Богацкая А.В., Богданова М.А., Васильева А.Н., Волкова Е.А., Волошин Д.Г., Волынец А.В., Воронина Е.Н., Гаврилов А.В., Дворкин В.В., Евлашин С.А., Зотович А.И., Зырянов С.М., Киреева Е.Д., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кост Т.Н., Кривченко В.А., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Миронович К.В., Намиот В.А., Олеванов М.А., Палов А.П., Паль А.Ф., Персианцева Н.М., Попов А.М., Попов Н.А., Поповичева О.Б., Поройков А.Ю., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Рябинкин А.Н., Самородов В.А., Сень В.В., Серов А.О., Скурихин А.В., Степанов А.С., Суетин Н.В., Сычева А.А., Тимофеев М.А., Тихонова О.В., Унтила Г.Г., Чеботарева А.Б., Чукаловский А.А., Шевнин П.Л., Шкуренков И.А.
  • • 22 мая 2014 - 30 декабря 2016 Исследование свойств многочастотной ВЧ плазмы сложного состава, включая потоки и энергетический спектр ионов и фотонов, и их влияние на элементарные процессы на поверхности
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Зотович А.И., Зырянов С.М., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Палов А.П., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Сычева А.А., Чукаловский А.А.

• Награды и премии

  • • 2017 Diploma for the best poster presented by young participants at the XXIII International Conference on Ion Surface Interactions
    • Лауреат: Sycheva A.A.
    • MEPhI, Россия

• Диссертация

  • • 2020 Особенности физического распыления перспективных нанопористых материалов ионами инертных газов низкой энергии
    • Кандидатская диссертация по специальности 01.04.15 - Физика и технология наноструктур, атомная и молекулярная физика (физ.-мат. науки)
    • Автор: Сычева Анастасия Александровна, МГУ имени М.В. Ломоносова
    • Научный руководитель: Рахимов Александр Турсунович, д.ф.-м.н., проф., МГУ имени М.В. Ломоносова
    • Защищена в совете МГУ.01.05 МГУ имени М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Организация, в которой выполнялась работа: МГУ имени М.В. Ломоносова
    • Оппоненты: Александров Николай Леонидович, Амиров Ильдар Искандерович, Кочетов Игорь Валерианович
    • Объявление о защите

---