Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИСТИНА ИНХС РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
В связи с техническими работами в центре обработки данных, часть прикреплённых файлов в настоящее время недоступна.
скрыть
отправить сообщение
открыть новую версию профиля
Сычева Анастасия Александровна
пользователь
МГУ имени М.В. Ломоносова
,
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
,
Отдел микроэлектроники
, научный сотрудник, с 1 октября 2020
кандидат физико-математических наук с 2020 года
Прежние места работы
(Нажмите для отображения)
МГУ имени М.В. Ломоносова
,
Физический факультет
,
Отделение ядерной физики
,
Кафедра атомной физики, физики плазмы и микроэлектроники
, аспирант, 17 марта 2015 - 1 марта 2019
МГУ имени М.В. Ломоносова
,
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
,
Отдел микроэлектроники
, младший научный сотрудник, 3 марта 2016 - 15 ноября 2016
МГУ имени М.В. Ломоносова
,
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
,
Отдел микроэлектроники
, ведущий специалист, 1 декабря 2016 - 1 июля 2019
МГУ имени М.В. Ломоносова
,
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
,
Отдел микроэлектроники
, младший научный сотрудник, 1 июля 2019 - 1 октября 2020
Соавторы:
Воронина Е.Н.
,
Рахимова Т.В.
,
Соловых А.А.
,
Палов А.П.
,
Рахимов А.Т.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Прошина О.В.
,
Зотович А.И.
,
Khlebnikov S.A.
,
Волошин Д.Г.
,
Зырянов С.М.
,
Мележенко Д.Е.
показать полностью...
,
Новиков Л.С.
22 статьи
,
24 доклада на конференциях
,
10 тезисов докладов
,
8 НИР
,
1 награда
,
1 диссертация
Количество цитирований статей в журналах по данным Web of Science: 33, Scopus: 32
IstinaResearcherID (IRID): 9409381
ResearcherID:
E-6079-2015
Scopus Author ID:
56436379900
Деятельность
Статьи в журналах
2023
Особенности взаимодействия атомов инертных газов низкой энергии с метильными группами на поверхности low k диэлектриков
Соловых А.А.
,
Сычева А.А.
,
Воронина Е.Н.
в журнале
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования
, издательство
ФГБУ "Издательство "Наука"
(Москва)
, № 2, с. 63-70
DOI
2022
Functionalization of low-k surfaces with low-energy Ar ions
Solovykh A.A.
,
Sycheva A.A.
,
Voronina E.N.
в журнале
Technical Physics Letters
, издательство
Pleiades Publishing, Ltd
(Road Town, United Kingdom)
, том 48, № 4, с. 15
DOI
2022
Helium electron beam rf plasma for low-k surface functionalization
Voronina E.N.
,
Sycheva A.A.
,
Solovykh A.A.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Palov A.P.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 40, № 6, с. 1-14
DOI
2022
Функционализация поверхности low-k диэлектриков ионами Ar низкой энергии
Соловых А.А.
,
Сычева А.А.
,
Воронина Е.Н.
в журнале
Письма в "Журнал технической физики"
, издательство
Физико-технический институт им. А.Ф.Иоффе Российской академии наук
(Москва)
, том 48, № 7, с. 16-19
DOI
2020
Features of Low-energy He and Ar Ion Irradiation of Nanoporous Si/SiO2-based Materials
Sycheva A.A.
,
Voronina E.N.
в журнале
Technical Physics Letters
, издательство
Pleiades Publishing, Ltd
(Road Town, United Kingdom)
, том 46, № 6
DOI
2020
Irradiation of nanoporous structures with light and heavy low-energy ions: Sputtering enhancement and pore sealing
Sycheva A.A.
,
Voronina E.N.
,
Rakhimova T.V.
,
Novikov L.S.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Journal of Vacuum Science and Technology A
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 38, № 5, с. 1-14
DOI
2020
Molecular Dynamics Simulation of silicon irradiation with low-energy noble gas ions
Sycheva A.A.
,
Voronina E.N.
в журнале
Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques
, издательство
Pleiades Publishing, Ltd
(Road Town, United Kingdom)
, том 14, № 4, с. 808-815
DOI
2020
Pore sealing mechanism in OSG low- k films under ion bombardment
Voronina E.N.
,
Sycheva A.A.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Proshina O.V.
,
Voloshin D.G.
,
Zyryanov S.M.
,
Zotovich A.I.
,
Mankelevich Y.A.
в журнале
Plasma Processes and Polymers
, издательство
Wiley - V C H Verlag GmbbH & Co.
(Germany)
, № 2, с. 1-15
DOI
2020
Влияние кривизны поверхности на процессы физического распыления кремния ионами Ar низкой энергии
Сычева А.А.
в журнале
Письма в "Журнал технической физики"
, издательство
Физико-технический институт им. А.Ф.Иоффе Российской академии наук
(Москва)
, том 46, № 23, с. 29-32
DOI
2020
Молекулярно-динамическое моделирование воздействия на кремний ионов инертных газов низкой энергии
Сычева А.А.
,
Воронина Е.Н.
в журнале
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования
, издательство
ФГБУ "Издательство "Наука"
(Москва)
, № 8, с. 61-69
DOI
2020
Особенности воздействия ионов He и Ar низких энергий на нанопористые Si/SiO2 -материалы
Сычева А.А.
,
Воронина Е.Н.
в журнале
Письма в "Журнал технической физики"
, издательство
Физико-технический институт им. А.Ф.Иоффе Российской академии наук
(Москва)
, том 46, № 11, с. 15-18
DOI
2019
Analysis of results of silicon sputtering simulation with various Ar–Si potentials
Sycheva A.A.
,
Voronina E.N.
,
Palov A.P.
в журнале
Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques
, издательство
Pleiades Publishing, Ltd
(Road Town, United Kingdom)
, том 13, № 6, с. 1272-1279
DOI
2019
Influence of porosity and pore size on sputtering of nanoporous structures by low-energy Ar ions: Molecular dynamics study
Sycheva A.A.
,
Voronina E.N.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Applied Surface Science
, издательство
Elsevier BV
(Netherlands)
, том 475, с. 1021-1032
DOI
2019
Structural changes in nanoporous silicon-based materials under low-energy ion impact
Sycheva A.A.
,
Voronina E.N.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques
, издательство
Pleiades Publishing, Ltd
(Road Town, United Kingdom)
, том 13, № 5, с. 855-861
DOI
2019
МД-моделирование Физического Распыления Пористых Si-содержащих Материалов Ионами Ar Низких Энергий
Сычева А.А.
,
Воронина Е.Н.
,
Рахимова Т.В.
в журнале
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования
, издательство
ФГБУ "Издательство "Наука"
(Москва)
, № 1, с. 104-112
DOI
2019
Структурные изменения нанопористых материалов на основе кремния под воздействием ионов низкой энергии
Сычева А.А.
,
Воронина Е.Н.
,
Рахимова Т.В.
в журнале
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования
, издательство
ФГБУ "Издательство "Наука"
(Москва)
, № 9, с. 75-82
DOI
2018
Argon clustering in silicon under low-energy irradiation: Molecular dynamics simulation with different Ar–Si potentials
Sycheva A.A.
,
Voronina E.N.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Journal of Vacuum Science and Technology A
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 36, № 6, с. 1-11
DOI
2018
Molecular dynamics simulation of the physical sputtering of porous Si-containing materials by low-energy Ar ions
Sycheva A.A.
,
Voronina E.N.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques
, издательство
Pleiades Publishing, Ltd
(Road Town, United Kingdom)
, том 12, № 6, с. 1270-1277
DOI
2016
Collision Cross Sections for O + Ar+ Collisions in the Energy Range 0.03−500 eV
Sycheva A.
, Balint-Kurti G.G.,
Palov A.P.
в журнале
The Journal of Physical Chemistry A: Molecules, Clusters, and Aerosols
, издательство
American Chemical Society
(United States)
, том 120, № 27, с. 4655-4663
DOI
2015
Elastic scattering process for argon ions and oxygen atoms in 10-500 eV range of relative kinetic energies
Sycheva A.A.
,
Palov A.P.
в журнале
Journal of Physics: Conference Series
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 635, № 012001, с. 022029-022029
DOI
2014
Elastic Scattering of an Oxygen Atom on a Silicon Atom in the 10–500 eV Range of Relative Kinetic Energies
Sycheva A.A.
, Balint-Kurti G.G.,
Palov A.
в журнале
Technical Physics Letters
, издательство
Pleiades Publishing, Ltd
(Road Town, United Kingdom)
, том 40, № 11, с. 1027-1030
DOI
2014
Упругое рассеяние атома кислорода на атоме кремния в диапазоне относительных кинетических энергий 10−500 eV
Сычева А.А.
, Balint-Kurti G.G.,
Палов А.П.
в журнале
Письма в "Журнал технической физики"
, издательство
Физико-технический институт им. А.Ф.Иоффе Российской академии наук
(Москва)
, том 40, № 22, с. 90-96
Доклады на конференциях
2022
Механизмы взаимодействия атомов и ионов Ar и He низкой энергии с метильными группами на поверхности low-k диэлектриков
(Устный)
Авторы:
Соловых А.А.
,
Сычева А.А.
,
Воронина Е.Н.
XXIII межвузовская молодежная научная школа-конференция имени Б. С. Ишханова "Концентрированные потоки энергии в космической технике, электронике, экологии и медицине" (МГУ им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия, 23-24 ноября 2022)
, Россия, 23-24 ноября 2022
2022
Особенности взаимодействия ионов инертных газов низкой энергии с метильными группами на поверхности low-k диэлектриков
(Стендовый)
Авторы:
Соловых А.А.
,
Сычева А.А.
,
Воронина Е.Н.
51-я Международная Тулиновская конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами
, Москва, Россия, 24-26 мая 2022
2022
Взаимодействие атомов He, Ar и Xe низкой энергии с метильными группами на поверхности low-k диэлектриков
(Устный)
Авторы:
Соловых А.А.
,
Сычева А.А.
,
Воронина Е.Н.
XXIX Международная научная конференция студентов, аспирантов и молодых учёных «Ломоносов-2022» Секция «Физика»
, Москва, Россия, 11-22 апреля 2022
2021
Удаление метильных групп с поверхности Low-K диэлектриков ионами Ar и Xe низкой энергии
(Устный)
Авторы:
Соловых А.А.
,
Сычева А.А.
,
Воронина Е.Н.
XXII межвузовская молодежная научная школа-конференция имени Б. С. Ишханова "Концентрированные потоки энергии в космической технике, электронике, экологии и медицине"
, МГУ им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия, 22-23 ноября 2021
2021
Воздействие легких и тяжелых ионов инертных газов низких энергий на нанопористые материалы
(Стендовый)
Авторы:
Sycheva A.A.
,
Voronina E.N.
25-я Международная конференция "Взаимодействие ионов с поверхностью (ВИП-2021)"
, Ярославль, Россия, 23-27 августа 2021
2021
Особенности распыления кремниевых наносфер ионами инертных газов низкой энергии
(Стендовый)
Авторы:
Сычева А.А.
,
Воронина Е.Н.
50-я Международная Тулиновская конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами
, Москва, Россия, 25-27 мая 2021
2019
Molecular dynamics simulation of Si/SiO2-based nanoporous material irradiation by low-energy Ar and He ions
(Устный)
Авторы:
Sycheva A.A.
,
Voronina E.N.
,
Rakhimov A.T.
24th International Conference on Ion-Surface Interactions (ISI-2019)
, Москва, Россия, 19-23 августа 2019
2019
Моделирование воздействия на кремний ионов инертных газов низкой энергии
(Устный)
Авторы:
Воронина Е.Н.
,
Сычева А.А.
49-я Международная Тулиновская конференция "Физика взаимодействия заряженных частиц с кристаллами"
, Москва, Россия, 28-30 мая 2019
2019
Pore sealing in low-k dielectrics by low-energy ions
(Устный)
Авторы:
Voronina E.N.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
,
Sycheva A.A.
Plasma Etch and Strip for Microtechnology workshop (PESM 2019)
, Гренобль, Франция, 20-21 мая 2019
2018
Direct dynamic DFT simulation of the N atom interaction with Si–CHxNy groups on low-k SiOCH films
(Стендовый)
Авторы:
Rakhimova T.V.
,
Voronina E.N.
,
Mankelevich Yu A.
,
Sycheva A.A.
MOLEC 2018
, Dinard, Франция, 26-31 августа 2018
2018
Dynamic DFT study of interaction of H radicals with MoS2 monolayer
(Стендовый)
Авторы:
Voronina E.N.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
,
Sycheva A.A.
MOLEC 2018
, Dinard, Франция, 26-31 августа 2018
2018
Role of porosity and pore size in structural changes of nanoporous silicon-based materials under low-energy ion irradiation
(Устный)
Авторы:
Voronina E.N.
,
Rakhimova T.V.
,
Sycheva A.A.
3rd International Summer School on the Physics of Plasma-Surface Interactions
, National Research Nuclear University "MEPhI", Россия, 16-20 июля 2018
2018
Анализ результатов моделирования распыления кремния в зависимости от различных Ar-Si потенциалов
(Стендовый)
Авторы:
Сычева А.А.
,
Палов А.П.
,
Воронина Е.Н.
XLVIII Международная Тулиновская Конференция по Физике Взаимодействия Заряженных Частиц с Кристаллами
, МГУ им. Ломоносова, Россия, 29-31 мая 2018
2018
Исследование структурных изменений нанопористых Si-содержащих материалов в процессе их физического распыления ионами Ar низких энергий
(Стендовый)
Авторы:
Воронина Е.Н.
,
Рахимова Т.В.
,
Сычева А.А.
XLVIII Международная Тулиновская Конференция по Физике Взаимодействия Заряженных Частиц с Кристаллами
, МГУ им. Ломоносова, Россия, 29-31 мая 2018
2017
Molecular Dynamics Simulation Of Physical Sputtering Of Nanoporous Silicon-Based Materials With Low Energy Argon
(Стендовый)
Авторы:
Voronina E.N.
,
Sycheva A.A.
XXIII International Conference Ion – Surface Interactions «ISI – 2017»
, Россия, 21-25 августа 2017
2017
Использование различных потенциалов при МД-моделировании распыления Si-содержащих материалов
(Стендовый)
Авторы:
Воронина Е.Н.
,
Сычева А.А.
47-я Международная Тулиновская конференция "Физика взаимодействия заряженных частиц с кристаллами"
, Москва, Россия, 30 мая - 1 июня 2017
2016
Analysis of damage creation mechanism in silica-based materials during plasma etching
(Стендовый)
Авторы:
Sycheva A.A.
,
Voronina E.N.
International Conference on Many Particle Spectroscopy of Atoms, Molecules, Clusters and Surfaces (MPS2016)
, Москва, Россия, 23-26 августа 2016
2016
UV Photoabsorption for low-lying electronic states of silicon monoxide
(Стендовый)
Авторы:
Palov A.P.
,
Sycheva A.A.
International Conference on Many Particle Spectroscopy of Atoms, Molecules, Clusters and Surfaces (MPS2016)
, Москва, Россия, 23-26 августа 2016
2016
Разработка базы данных сечений упругого взаимодействия для описания плазменного травления.
(Стендовый)
Автор:
Сычева А.А.
Международная Летняя Суперкомпьютерная Академия 2016
, МГУ имени М.В.Ломоносова, Россия, 23 июня - 2 июля 2016
2016
Исследование механизма возникновения дефектов в структуре кремнийсодержащих материалов в процессе их плазменной обработки методами молекулярной динамики и теории функционала плотности
(Стендовый)
Авторы:
Сычева А.А.
,
Воронина Е.Н.
XLVI международная Тулиновская конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами
, Москва, Россия, 31 мая - 2 июня 2016
2016
Разработка базы данных ab initio бинарных потенциалов и сечений упругого взаимодействия для описания плазменного травления. Пара Ar-Si
(Стендовый)
Авторы:
Палов А.П.
,
Сычева А.А.
XLIII Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС
, Звенигород, Россия, 8-12 февраля 2016
2015
Elastic scattering process for argon ions and oxygen atoms in 10-500 eV range of relative kinetic energies
(Стендовый)
Авторы:
Palov A.
,
Sycheva A.A.
XXIX International Conference on Photonic, Electronic and Atomic Collisions (ICPEAC)
, Толедо, Испания, 22 июля - 28 сентября 2015
2014
Photodissociation of SiO molecule
(Стендовый)
Авторы:
Sycheva A.A.
,
Palov A.P.
,
Balint-Kurti G.G.
Stereodynamics 2014
, Saint Petersburg , 2014
2014
Упругое рассеяние атома кислорода на атоме кремния в диапазоне энергий 0.01-100 эВ
(Стендовый)
Авторы:
Рахимова Т.В.
,
Сычева А.А.
,
Палов А.П.
XLI Международная Звенигородская конференция по физике плазмы и управляемому термоядерному синтезу, 10-14 февраля 2014, г. Звенигород
, г. Звенигород, Россия, 10-14 февраля 2014
Тезисы докладов
2023
Mechanisms of methyl group elimination from low-K surface with low-energy Ar/He atoms and ions
Sycheva A.A.
,
Solovykh A.A.
,
Voronina E.N.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Palov A.P.
,
Rakhimov A.T.
в сборнике
"Взаимодействие ионов с поверхностью (ВИП-2023)", Труды 26-й Международной конференции. 21–25 августа 2023, Ярославль, Россия
, том 2, тезисы, с. 121-124
2023
N2 plasma interaction with 2D MoS2: experiment and modeling
Melezhenko D.E.
,
Khlebnikov S.A.
,
Solovykh A.A.
,
Sycheva A.A.
,
Mankelevich Yu A.
,
Lopaev D.V.
,
Zotovich A.I.
,
Voronina E.N.
в сборнике
"Взаимодействие ионов с поверхностью (ВИП-2023)", Труды 26-й Международной конференции. 21–25 августа 2023, Ярославль, Россия
, том 1, тезисы, с. 145-148
2023
Моделирование функционализации поверхности low-k диэлектриков в тренчах высокочастотной плазмой с электронным пучком
Соловых А.А.
,
Сычева А.А.
,
Воронина Е.Н.
в сборнике
Сборник тезисов докладов 52 Международной Тулиновской Конференции по Физике Взаимодействия Заряженных Частиц с Кристаллами
, тезисы
2022
ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ АТОМОВ HE, AR И XE НИЗКОЙ ЭНЕРГИИ С МЕТИЛЬНЫМИ ГРУППАМИ НА ПОВЕРХНОСТИ LOW-K ДИЭЛЕКТРИКОВ
Соловых А.А.
,
Сычева А.А.
,
Воронина Е.Н.
в сборнике
Материалы Международного молодежного научного форума «Ломоносов-2022»
, издательство
ООО "МАКС Пресс"
(Москва)
, тезисы, с. 238-240
редакторы
Алешковский Иван Андреевич
,
Андриянов Андрей Владимирович
,
Антипов Евгений Александрович
,
Зимакова Екатерина Игоревна
2022
Механизмы взаимодействия атомов и ионов Ar и He низкой энергии с метильными группами на поверхности low-k диэлектриков
Соловых А.А.
,
Сычева А.А.
,
Воронина Е.Н.
в сборнике
Сборник тезисов докладов XXIII межвузовской молодежной научной школы-конференции имени Б. С. Ишханова «Концентрированные потоки энергии в космической технике электронике, экологии и медицине» 23-24 ноября 2022 г
, место издания
Москва
, тезисы, с. 36-37
2022
Особенности взаимодействия ионов инертных газов низкой энергии с метильными группами на поверхности low-k диэлектриков
Сычева А.А.
,
Соловых А.А.
,
Воронина Е.Н.
в сборнике
51-й международной Тулиновской конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами
, тезисы, с. 156-156
2021
Удаление метильных групп с поверхности low-k диэлектриков ионами Ar и Xe низкой энергии
Соловых А.А.
,
Сычева А.А.
,
Воронина Е.Н.
в сборнике
Сборник тезисов докладов XXII межвузовской молодежной научной школы-конференции имени Б. С. Ишханова «Концентрированные потоки энергии в космической технике электронике, экологии и медицине» 22-23 ноября 2021 г
, место издания
Москва
, тезисы, с. 22-23
2019
Pore sealing in low-k dielectrics by low-energy ions
Voronina E.N.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
,
Sycheva A.A.
в сборнике
Plasma Etch and Strip in Microthechnology (PESM 2019). Book of abstracts. May 20–21, 2019, Grenoble, France
, место издания
MINATEC Grenoble, France
, тезисы, с. 52-53
2017
МД-Моделирование Физического Распыления Пористых Si-содержащих Материалов Ионами Ar Низких Энергий
Сычева А.А.
,
Воронина Е.Н.
в сборнике
Взаимодействие ионов с поверхностью ВИП-2017. Труды 23 Межд. конф. Москва, Россия, 21-25 августа 2017 г
, место издания
Организационный комитет международной конференции Взаимодействие ионов с поверхностью Москва, Россия
, том 1, тезисы, с. 142-145
2015
Поглощение ультрафиолетового излучения экзотической молекулой SiO
Сычева А.А.
,
Палов А.П.
, Balint-Kurti G.G.
в сборнике
XXIV Международная научно-практическая конференция «Научное сообщество студентов XXI столетия. ЕСТЕСТВЕННЫЕ НАУКИ» (Россия, г. Новосибирск, 28 октября 2014 г.)
, серия
Естеств. науки
, место издания
СибАК г. Новосибирск
, том 24, тезисы
НИРы
1 января 2022 - 31 декабря 2023
Исследование механизмов и результатов воздействия атомов N и H на структуру и свойства двумерного материала MoS2
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Воронина Е.Н.
Участники НИР:
Манкелевич Ю.А.
,
Мележенко Д.Е.
,
Соловых А.А.
,
Сычева А.А.
13 августа 2021 - 31 декабря 2022
Соглашение о сотрудничестве между НИИЯФ МГУ и IMEC
Отдел микроэлектроники
Руководитель:
Рахимова Т.В.
Ответственные исполнители:
Волошин Д.Г.
,
Воронина Е.Н.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Прошина О.В.
,
Сычева А.А.
,
Чукаловский А.А.
20 мая 2019 - 31 декабря 2020
Механизм травления и повреждения нанопористых диэлектрических материалов при пониженных температурах
Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
Руководитель:
Манкелевич Ю.А.
Ответственные исполнители:
Воронина Е.Н.
,
Зырянов С.М.
,
Лопаев Д.В.
Участники НИР:
Волошин Д.Г.
,
Зотович А.И.
,
Кропоткин А.Н.
,
Палов А.П.
,
Рахимова Т.В.
,
Сычева А.А.
,
Шибанов Д.Р.
3 декабря 2018 - 3 декабря 2021
Исследование способов функционализации нанопористых пленок с низкой диэлектрической проницаемостью и нанесения диффузионных барьеров на их поверхность
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Ответственные исполнители:
Минаков П.В.
,
Прошина О.В.
,
Сычева А.А.
Участники НИР:
Васильева А.Н.
,
Зырянов С.М.
,
Ковалев А.С.
,
Рябинкин А.Н.
,
Серов А.О.
,
Чукаловский А.А.
2 мая 2017 - 31 декабря 2018
Исследование свойств многочастотной ВЧ плазмы сложного состава, включая потоки и энергетический спектр ионов и фотонов, и их влияние на элементарные процессы на поверхности
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Ответственные исполнители:
Волошин Д.Г.
,
Палов А.П.
,
Рахимова Т.В.
Участники НИР:
Богданова М.А.
,
Волынец А.В.
,
Зотович А.И.
,
Ковалев А.С.
,
Поройков А.Ю.
,
Сычева А.А.
,
Чукаловский А.А.
16 мая 2016 - 31 декабря 2018
Механизм травления и повреждения нанопористых диэлектрических материалов при пониженных температурах
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Манкелевич Ю.А.
Ответственные исполнители:
Зырянов С.М.
,
Лопаев Д.В.
,
Прошина О.В.
Участники НИР:
Богданова М.А.
,
Волошин Д.Г.
,
Воронина Е.Н.
,
Зотович А.И.
,
Иванов А.С.
,
Кропоткин А.Н.
,
Курчиков К.А.
,
Палов А.П.
,
Сычева А.А.
1 января 2015 - 31 декабря 2025
Экспериментальные и теоретические исследования неравновесных плазменных процессов в газовой фазе и на поверхности
Отдел микроэлектроники
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Алов Н.В.
,
Богацкая А.В.
,
Богданова М.А.
,
Васильева А.Н.
,
Волкова Е.А.
,
Волошин Д.Г.
,
Волынец А.В.
,
Воронина Е.Н.
,
Гаврилов А.В.
,
Дворкин В.В.
,
Евлашин С.А.
,
Зиганшин И.И.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Киреева Е.Д.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Кост Т.Н.
,
Кривченко В.А.
,
Кропоткин А.Н.
,
Курчиков К.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Минаков П.В.
,
Миронович К.В.
,
Намиот В.А.
,
Олеванов М.А.
,
Палов А.П.
,
Паль А.Ф.
,
Персианцева Н.М.
,
Попов А.М.
,
Попов Н.А.
,
Поповичева О.Б.
,
Поройков А.Ю.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Рябинкин А.Н.
,
Самородов В.А.
,
Сень В.В.
,
Серов А.О.
,
Скурихин А.В.
,
Степанов А.С.
,
Суетин Н.В.
,
Сычева А.А.
,
Тимофеев М.А.
,
Тихонова О.В.
,
Унтила Г.Г.
,
Чеботарева А.Б.
,
Чукаловский А.А.
,
Шевнин П.Л.
,
Шибанов Д.Р.
,
Шкуренков И.А.
22 мая 2014 - 30 декабря 2016
Исследование свойств многочастотной ВЧ плазмы сложного состава, включая потоки и энергетический спектр ионов и фотонов, и их влияние на элементарные процессы на поверхности
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Курчиков К.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Палов А.П.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Сычева А.А.
,
Чукаловский А.А.
Награды и премии
2017
Diploma for the best poster presented by young participants at the XXIII International Conference on Ion Surface Interactions
Лауреат:
Sycheva A.A.
MEPhI, Россия
Диссертация
2020
Особенности физического распыления перспективных нанопористых материалов ионами инертных газов низкой энергии
Кандидатская диссертация по специальности 01.04.15 - Физика и технология наноструктур, атомная и молекулярная физика (физ.-мат. науки)
Автор:
Сычева Анастасия Александровна
, к.ф.-м.н., МГУ имени М.В. Ломоносова
Научный руководитель:
Рахимов Александр Турсунович
, д.ф.-м.н., проф., МГУ имени М.В. Ломоносова
Защищена в совете
МГУ.01.05
МГУ имени М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Организация, в которой выполнялась работа:
МГУ имени М.В. Ломоносова
Оппоненты:
Александров Николай Леонидович
,
Амиров Ильдар Искандерович
,
Кочетов Игорь Валерианович