в сборнике Рентгеновская оптика 2018, сборник докладов конференции, место издания Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук г. Черноголовка, тезисы, с. 26-28