Кандидатская диссертация по специальности 05.27.06 - Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники (хим. науки)
Автор:
Кирсанова Светлана Викторовна, к.х.н., ФГБОУ ВО «Российский химико-технологический университет имени Д.И. Менделеева»
Научный руководитель:Ольга Павловна Баринова, к.т.н., доц., ФГБОУ ВО «Российский химико-технологический университет имени Д.И. Менделеева»
Защищена в совете
Д 212.204.12
при ФГБОУ ВО «Российский химико-технологический университет имени Д.И. Менделеева»