ИСТИНА

Соловых Александр Алексеевич пользователь

МГУ имени М.В. Ломоносова, Физический факультет, Отделение ядерной физики, Кафедра атомной физики, физики плазмы и микроэлектроники, студент, с 1 сентября 2019

Соавторы: Воронина Е.Н., Сычева А.А.

1 статья, 3 доклада на конференциях, 2 тезисов докладов

IstinaResearcherID (IRID): 417457219

Деятельность

• Статьи в журналах

  • • 2022 Функционализация поверхности low-k диэлектриков ионами Ar низкой энергии
    • Соловых А.А., Сычева А.А., Воронина Е.Н.
    • в журнале Письма в "Журнал технической физики", издательство Наука. С.-Петерб. отд-ние (СПб.), том 48, № 7, с. 16-19

• Доклады на конференциях

  • • 2022 Особенности взаимодействия ионов инертных газов низкой энергии с метильными группами на поверхности low-k диэлектриков (Пленарный)
    • Авторы: Соловых А.А., Сычева А.А., Воронина Е.Н.
    • 51-я Международная Тулиновская конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами, Москва, Россия, 24-26 мая 2022
  • • 2022 Взаимодействие атомов He, Ar и Xe низкой энергии с метильными группами на поверхности low-k диэлектриков (Устный)
    • Авторы: Соловых А.А., Сычева А.А., Воронина Е.Н.
    • XXIX Международная научная конференция студентов, аспирантов и молодых учёных «Ломоносов-2022» Секция «Физика», Москва, Россия, 11-22 апреля 2022
  • • 2021 Удаление метильных групп с поверхности Low-K диэлектриков ионами Ar и Xe низкой энергии (Устный)
    • Авторы: Соловых А.А., Сычева А.А., Воронина Е.Н.
    • XXII межвузовская молодежная научная школа-конференция имени Б. С. Ишханова "Концентрированные потоки энергии в космической технике, электронике, экологии и медицине", МГУ им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия, 22-23 ноября 2021

• Тезисы докладов

  • • 2022 ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ АТОМОВ HE, AR И XE НИЗКОЙ ЭНЕРГИИ С МЕТИЛЬНЫМИ ГРУППАМИ НА ПОВЕРХНОСТИ LOW-K ДИЭЛЕКТРИКОВ
    • Соловых А.А., Сычева А.А., Воронина Е.Н.
    • в сборнике ЛОМОНОСОВ - 2022. Сборник тезисов XXIX Международной научной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, место издания МГУ имени Ломоносова, Москва, тезисы, серия Секция Физика, подсекция "Молекулярная физика", издательство Физический факультет МГУ имени М.В. Ломоносова (Москва), тезисы, с. 238-240
  • • 2021 Удаление метильных групп с поверхности low-k диэлектриков ионами Ar и Xe низкой энергии
    • Соловых А.А., Сычева А.А., Воронина Е.Н.
    • в сборнике Сборник тезисов докладов XXII межвузовской молодежной научной школы-конференции имени Б. С. Ишханова «Концентрированные потоки энергии в космической технике электронике, экологии и медицине» 22-23 ноября 2021 г, место издания Москва, тезисы, с. 22-23