Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИСТИНА ИНХС РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
В связи с техническими работами в центре обработки данных, возможность загрузки и скачивания файлов временно недоступна.
скрыть
отправить сообщение
Рахимова Татьяна Викторовна
пользователь
МГУ имени М.В. Ломоносова
,
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
,
Отдел микроэлектроники
,
Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
, ведущий научный сотрудник, с 15 января 1969
кандидат физико-математических наук
Соавторы:
Лопаев Д.В.
,
Рахимов А.Т.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Клоповский К.С.
,
Прошина О.В.
,
Ковалев А.С.
,
Васильева А.Н.
,
Попов Н.А.
,
Зырянов С.М.
,
Волошин Д.Г.
,
Иванов В.В.
,
Брагинский О.В.
,
Попов А.М.
показать полностью...
,
Воронина Е.Н.
,
Поповичева О.Б.
,
Чукаловский А.А.
,
Baklanov M.R.
,
Палов А.П.
,
Зотович А.И.
,
Поройков А.Ю.
,
Олеванов М.А.
,
Rulev G.B.
,
Паль А.Ф.
,
Рябинкин А.Н.
,
Серов А.О.
,
Сычева А.А.
,
Feoktistov V.
,
Malykhin E.M.
,
Суетин Н.В.
,
Шкуренков И.А.
,
Волкова Е.А.
,
Либерман М.А.
,
Braginsky O.V.
,
de Marneffe J.
,
Белостоцкий С.Г.
,
Богданова М.А.
,
Курчиков К.А.
,
Осипов А.П.
,
Krivtsun V.M.
,
Волынец А.В.
,
Зосимов А.В.
,
Персианцев И.Г.
,
Филиппов А.В.
,
Mukhovatova A.
,
Абрамовская Е.А.
,
Лунин В.В.
,
Митин В.С.
,
Новиков Л.С.
,
Самойлович В.Г.
,
Тимофеев М.А.
,
Carroll D.L.
,
Chatterjee A.
,
Kolobyanin Y.V.
,
Koshelev K.N.
,
Krishtab M.B.
,
Muratov E.A.
,
SLOVETSKY D.
,
Saenko V.B.
,
Volynets V.N.
,
Yakushev O.F.
,
de Gendt S.
,
Доленко С.А.
,
Померанцев В.Н.
,
Рой Н.Н.
,
Самородов В.А.
,
Феоктистов В.А.
,
Armini S.
,
Balandin A.A.
,
Booth J.
,
Chan B.
,
Guaitella O.
,
Guerra V.
,
Heyne M.H.
,
Kim T.
,
Kiverin A.
,
Kong J.T.
,
Kuznetsov M.S.
,
Malykhin E.M.
,
Naumov S.
,
PISMENNY V.
,
Pis'mennyi V.D.
,
Popov A.M.
,
Seregin D.S.
,
Vishnevskiy A.S.
,
Vlasov M.N.
,
Vorotilov K.A.
,
Zyulkov I.
,
Велихов Е.П.
,
Дворкин В.В.
,
Девятов А.А.
,
Долгов А.Д.
,
Захаров А.И.
,
Иванов М.Ф.
,
Ковалев A.C.
,
Козлов К.В.
,
Кост Т.Н.
,
Лучкин С.Ю.
,
Митин А.В.
,
Нечаев А.А.
,
Полушкин В.М.
,
Унтила Г.Г.
,
Чеботарева А.Б.
,
Adamenkov A.A.
,
Afanas'ev V.V.
,
Arutchelvan G.
,
Asselberghs I.
,
Attallah A.G.
,
Bijkerk F.
,
Booth J.
,
Butterling M.
,
Drag C.
,
Economou A.N.
,
Glushkov D.
,
Guaitella O.
,
Hirschmann E.
,
Ho P.S.
,
Horacek J.
,
Huang T.H.
,
IVANOV V.V.
,
Ilyin S.P.
,
J-P B.
,
Jousseaume V.
,
KOVALEV A.
,
Kopytin A.A.
,
Krasnobaev N.
,
Kudryashov E.A.
,
Lee C.J.
,
Liedke M.O.
,
Malykhin E.M.
,
Mitin A.
,
Nahon L.
,
Novikova N.N.
,
Rakhlinsky V.V.
,
Rogozhnikov G.S.
,
Samara V.
,
Santos S.J.
,
Savin Y.V.
,
Shi H.
,
Shi X.
,
Shohet J.L.
,
Urbanowicz A.M.
,
Vishnevskiy A.
,
Vorotilov K.
,
Vorotyntsev D.A.
,
Vyskubenko B.A.
,
Wagner A.
,
Wang S.
,
Wyndaele P.J.
,
YEGOROV V.
,
ZAKHAROV A.
,
and S Zyryanov D.V.
,
de Marneffe J.F.
,
de Oliveira N.
,
el O.Z.
,
van Kaampen M.
,
Амиров И.И.
,
Брагинский В.Б.
,
Волынец В.Н.
,
Гришина И.А.
,
Гришина И.А.
,
Ковалев С.П.
,
Кривченко В.А.
,
Кропоткин А.Н.
,
Маслаков К.И.
,
Мелкумова Е.Ю.
,
Письменный И.Г.
,
Резванов А.А.
,
Саенко В.Б.
,
Серегин Д.С.
,
Словецкий Д.И.
,
Соколов А.П.
,
Соловых А.А.
,
Шамирян Д.
291 статья
,
5 книг
,
71 доклад на конференциях
,
16 тезисов докладов
,
28 НИР
,
7 патентов
,
5 наград
,
1 членство в научном обществе
,
4 членства в программных комитетах
,
3 диссертации
Количество цитирований статей в журналах по данным Web of Science: 1997, Scopus: 2077
IstinaResearcherID (IRID): 575038
ResearcherID:
E-2039-2012
Деятельность
Статьи в журналах
2022
Damage to OSG low‐ k films during IPVD deposition of the Ta barrier layer
Serov Alexander O.
,
Ryabinkin Alexey N.
,
Vishnevskiy Alexey S.
,
Naumov Sergej
,
Pal Alexander F.
,
Rakhimova Tatyana V.
,
Seregin Dmitry S.
,
Vorotilov Konstantin A.
,
Baklanov Mikhail R.
в журнале
Plasma Processes and Polymers
, издательство
Wiley - V C H Verlag GmbbH & Co.
(Germany)
DOI
2022
Effect of H atoms and UV wideband radiation on cured low-k OSG films
Lopaev Dmitry
,
Zotovich Alexey
,
Zyryanov S.M.
,
Bogdanova Maria
,
Rakhimova T.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Novikova N.N.
,
Seregin Dmitry S.
,
Vishnevskiy Alexey
,
Vorotilov Konstantin
,
Shi Xiaoping
,
Baklanov Mikhail
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 55, № 25, с. 255206
DOI
2022
Effect of an electron beam on a dual-frequency capacitive rf plasma: experiment and simulation
Bogdanova Maria
,
Lopaev Dmitry
,
Zotovich Alexey
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
DOI
2022
Helium electron beam rf plasma for low-k surface functionalization
Voronina E.N.
,
Sycheva A.A.
,
Solovykh A.A.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Palov A.P.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 40, № 6, с. 062203
DOI
2022
Modification of Porous Ultralow-k Film by Vacuum Ultraviolet Emission
Zotovich Alexey I.
,
Zyryanov Sergey M.
,
Lopaev Dmitry V.
,
Rezvanov Askar A.
,
Attallah Ahmed G.
,
Liedke Maciej O.
,
Butterling Maik
,
Bogdanova Maria A.
,
Vishnevskiy Alexey S.
,
Seregin Dmitry S.
,
Vorotyntsev Dmitry A.
,
Palov Alexander P.
,
Hirschmann Eric
,
Wagner Andreas
,
Naumov Sergej
,
Vorotilov Konstantin A.
,
Rakhimova Tatyana V.
,
Rakhimov Alexander T.
,
Baklanov Mikhail R.
в журнале
ACS Applied Electronic Materials
, издательство
American Chemical Society
(United States)
, том 4, № 6, с. 2760-2776
DOI
2022
Quenching of O2(b1Σg+) by O(3P) atoms. Effect of gas temperature
Booth J.P.
,
Chatterjee A.
,
Guaitella O.
,
Lopaev D.
,
Zyryanov S.
,
Volynets A.
,
Rakhimova T.
,
Voloshin D.
,
Chukalovsky A.
,
Mankelevich Yu
,
Guerra V.
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 31, № 6, с. 065012
DOI
2021
Dynamics of Ar metastable and resonance states in pulsed capacitively coupled plasmas
Kovalev A.S.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Proshina O.V.
,
Vasilieva A.N.
,
Voloshin D.G.
в журнале
Physics of Plasmas
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 28, с. 093507
DOI
2021
Non‐self‐sustained electron beam RF‐generated plasma in application for functional surface pretreatment
Palov A.P.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Voronina E.N.
в журнале
Plasma Processes and Polymers
, издательство
Wiley - V C H Verlag GmbbH & Co.
(Germany)
, том 18, № 7
DOI
2021
Reactive plasma cleaning and restoration of transition metal dichalcogenide monolayers
Marinov D.,
de Marneffe J.F.
, Smets Q., Arutchelvan G., Bal K.M.,
Voronina E.N.
,
Rakhimova T.V.
,
Mankelevich Yu A.
, El Kazzi S., Nalin M.A.,
Wyndaele P.J.
,
Heyne M.H.
, Zhang J., With P.C., Banerjee Sr, Neyts E.C.,
Asselberghs I.
, Lin D.,
De Gendt St
в журнале
npj 2D Materials and Applications
, издательство
Springer Nature
(Switzerland)
, том 5, № 1
DOI
2021
Structure of DC magnetron sputtering discharge at various gas pressures: a two-dimensional particle-in-cell Monte Carlo collision study
Ryabinkin A.N.
,
Serov A.O.
,
Pal A.F.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 30, № 5, с. 055009
DOI
2021
“Virtual IED sensor” for df rf CCP discharges
Bogdanova M.
,
Lopaev D.
,
Rakhimova T.
,
Voloshin D.
,
Zotovich A.
,
Zyryanov S.
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 30, с. 075020
DOI
2020
Area-selective Ru ALD by amorphous carbon modification using H plasma: from atomistic modeling to full wafer process integration
Zyulkov I.
,
Voronina E.N.
,
Krishtab M.
,
Voloshin D.G.
,
Chan B.T.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
,
Armini S.
,
De Gendt S.
в журнале
Materials Advances
, издательство
Royal Society of Chemistry
(United Kingdom)
, № 1, с. 3049-3057
DOI
2020
Damage of porous SiCOH low-k dielectrics by O, N and F atoms at lowered temperatures
Lopaev D.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Zotovich A.I.
,
Rakhimova T.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Voronina E.N.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 53, с. 175203
DOI
2020
Determination of absolute O(3P) and O2(a1Δg) densities and kinetics in fully modulated O2 dc glow discharges from the O2(X3Σg-) afterglow recovery dynamics
Booth J-P
,
Chatterjee A.
,
Guaitella O.
,
Santos Sousa J.
,
Lopaev D.
,
Zyryanov S.
,
Rakhimova T.
,
Voloshin D.
,
Mankelevich Yu
,
de Oliveira N.
,
Nahon L.
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 29, № 11, с. 115009
DOI
2020
Experimental and PIC MCC study of electron cooling - re-heating and plasma density decay in low pressure rf ccp argon afterglow
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Kovalev A.S.
,
Anna Vasilieva
,
Alexey Zotovich
,
Zyryanov S.M.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 29, № 1, с. 015015
DOI
2020
Fast quenching of metastable O2(a1Δg) and O2(b1Σg+) molecules by O(3P) atoms at high temperature
Volynets A.V.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Proshina O.V.
,
Chukalovsky A.A.
,
Booth Jean-Paul
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
DOI
2020
Irradiation of nanoporous structures with light and heavy low-energy ions: Sputtering enhancement and pore sealing
Sycheva A.A.
,
Voronina E.N.
,
Rakhimova T.V.
,
Novikov L.S.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Journal of Vacuum Science and Technology A
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 38, № 5, с. 053004-053004
DOI
2020
Mechanisms of hydrogen atom interactions with MoS2 monolayer
Voronina E.N.
,
Mankelevich Yu A.
,
Novikov L.S.
,
Rakhimova T.V.
, Marinov D.,
deMarneffe J.F.
в журнале
Journal of Physics Condensed Matter
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 32
DOI
2020
Pore sealing mechanism in OSG low- k films under ion bombardment
Voronina E.N.
,
Sycheva A.A.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Proshina O.V.
,
Voloshin D.G.
,
Zyryanov S.M.
,
Zotovich A.I.
,
Mankelevich Y.A.
в журнале
Plasma Processes and Polymers
, издательство
Wiley - V C H Verlag GmbbH & Co.
(Germany)
, № 2, с. e1900165
DOI
2020
VUV radiation flux from argon DC magnetron plasma
Pal Alexander Fridrikhovich
,
Ryabinkin Alexey Nikolaevich
,
Serov Alexander Olegovich
,
Lopaev Dmitry
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Baklanov Mikhail
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 53, № 29, с. 295202
DOI
2019
Determination of the excited argon states densities in high-frequency capacitive discharge
Kovalev A.S.
,
Kurchikov K.A.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Vasilieva A.N.
,
Voloshin D.G.
в журнале
Physics of Plasmas
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 26, № 12, с. 123501
DOI
2019
Impact of VUV photons on SiO2 and organosilicate low-k dielectrics: General behavior, practical applications, and atomic models
Baklanov M.R.
,
Jousseaume V.
,
Rakhimova T.V.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Afanas'ev V.V.
,
Shohet J.L.
,
King S.W.
, Ryan E.T.
в журнале
APPLIED PHYSICS REVIEWS
, том 6, № 1, с. 011301
DOI
2019
Influence of porosity and pore size on sputtering of nanoporous structures by low-energy Ar ions: Molecular dynamics study
Sycheva A.A.
,
Voronina E.N.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Applied Surface Science
, издательство
Elsevier BV
(Netherlands)
, том 475, с. 1021-1032
DOI
2019
Ion composition of rf CCP in Ar/H2 mixtures
Bogdanova Maria
,
Lopaev Dmitry
,
Zyryanov Sergey
,
Voloshin D.G.
,
Rakhimova Tatyana
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 28, № 9, с. 095017
DOI
2019
Oxygen (3P) atom recombination on a Pyrex surface in an O2 plasma
Booth J.P.
,
Guaitella O.
,
Chatterjee A.
,
Drag C.
,
Guerra V.
,
Lopaev D.
,
Zyryanov S.
,
Rakhimova T.
,
Voloshin D.
,
Mankelevich Yu
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 28, с. 055005
DOI
2019
Reaction mechanism of N atoms interaction with low-k organosilicate glass films: Dynamic DFT study
Voronina E.N.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
,
Lopaev D.V.
в журнале
Journal of Vacuum Science and Technology A
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 37, с. 061304
DOI
2019
Structural changes in nanoporous silicon-based materials under low-energy ion impact
Sycheva A.A.
,
Voronina E.N.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques
, издательство
Pleiades Publishing, Ltd
(Road Town, United Kingdom)
, том 13, № 5, с. 855-861
DOI
2019
МД-моделирование Физического Распыления Пористых Si-содержащих Материалов Ионами Ar Низких Энергий
Сычева А.А.
,
Воронина Е.Н.
,
Рахимова Т.В.
в журнале
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования
, издательство
Федеральное государственное унитарное предприятие "Академический научно-издательский, производственно-полиграфический и книгораспространительский центр Российской академии наук "Издательство "Наука"
(Москва)
, № 1, с. 104-112
DOI
2019
Структурные изменения нанопористых материалов на основе кремния под воздействием ионов низкой энергии
Сычева А.А.
,
Воронина Е.Н.
,
Рахимова Т.В.
в журнале
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования
, издательство
Федеральное государственное унитарное предприятие "Академический научно-издательский, производственно-полиграфический и книгораспространительский центр Российской академии наук "Издательство "Наука"
(Москва)
, № 9, с. 75-82
DOI
2018
Argon clustering in silicon under low-energy irradiation: Molecular dynamics simulation with different Ar–Si potentials
Sycheva A.A.
,
Voronina E.N.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Journal of Vacuum Science and Technology A
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 36, № 6, с. 061303
DOI
2018
Etching low-k films by F atoms: Inside view
Palov A.P.
,
Rakhimova T.V.
,
Voronina E.N.
,
Mankelevich Yu A.
в журнале
Journal of Vacuum Science and Technology A
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 36, № 2, с. 02C103
DOI
2018
Mechanism of the interaction between F atoms and SiCF3 groups on the low-κ dielectric surface
Voronina E.N.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques
, издательство
Pleiades Publishing, Ltd
(Road Town, United Kingdom)
, том 12, № 3, с. 535-539
DOI
2018
Molecular dynamics simulation of the physical sputtering of porous Si-containing materials by low-energy Ar ions
Sycheva A.A.
,
Voronina E.N.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques
, издательство
Pleiades Publishing, Ltd
(Road Town, United Kingdom)
, том 12, № 6, с. 1270-1277
DOI
2018
N2 dissociation and kinetics of N(4S) atoms in nitrogen DC glow discharge
Volynets A.V.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Chukalovsky A.A.
,
Mankelevich Yu A.
,
Popov N.A.
,
Zotovich A.I.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 51, № 36, с. 364002
DOI
2018
Properties and potential applications of quasi-two-dimensional molybdenum disulfide for nanoelectronic elements
Voronina E.N.
,
Novikov L.S.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Inorganic Materials: Applied Research
, том 9, № 2, с. 175-183
DOI
2018
Relation between the ion flux and plasma density in an rf CCP discharge
Bogdanova Maria
,
Lopaev Dmitry
,
Zyryanov Sergey
,
Voloshin Dmitry
,
Rakhimova Tatyana
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 27, № 2, с. 025003
DOI
2018
Silicon dioxide and low-k material sputtering in dual frequency inductive discharge by argon ions with energies from 16 to 200 eV
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Zotovich A.I.
,
Zyryanov S.M.
,
Baklanov M.R.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 51, № 2, с. 02LT02
DOI
2018
Sputtering of Si by Ar: A binary collision approach based on quantum-mechanical cross sections
Palov A.P.
, Balint-Kurti G.G.,
Voronina E.N.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Journal of Vacuum Science and Technology A
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 36, № 4, с. 041303
DOI
2018
Synergistic effect of VUV photons and F atoms on damage and etching of porous organosilicate film
Lopaev D.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Zotovich A.I.
,
Rakhimova T.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimov A.T.
,
Baklanov M.R.
в журнале
Plasma Processes and Polymers
, издательство
Wiley - V C H Verlag GmbbH & Co.
(Germany)
, с. e1700213
DOI
2018
Механизм взаимодействия атомов F c SiСF3 группами на поверхности low-k диэлектриков
Воронина Е.Н.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Рахимова Т.В.
в журнале
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования
, издательство
Федеральное государственное унитарное предприятие "Академический научно-издательский, производственно-полиграфический и книгораспространительский центр Российской академии наук "Издательство "Наука"
(Москва)
, том 6, с. 23-28
2017
Damage and etching of ultra low-k materials in fluorocarbon plasma at lowered temperatures
Lopaev D.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
,
Zotovich Alexey
,
Zyryanov S.M.
,
Baklanov Mikhail R.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 50, с. 485202
DOI
2017
Experimental and DFT study of nitrogen atoms interactions with SiOCH low-k films
Voronina E.N.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
,
Palov A.P.
,
Lopaev D.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Zotovich A.I.
,
Baklanov M.R.
в журнале
European Physical Journal D
, издательство
Springer Verlag
(Germany)
, том 71, с. 111
DOI
2017
Fluorine atoms interaction with the nanoporous materials: experiment and DFT simulation
Mankelevich Yu A.
,
Voronina E.N.
,
Rakhimova T.V.
,
Palov A.P.
,
Lopaev D.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Baklanov M.R.
в журнале
European Physical Journal D
, издательство
Springer Verlag
(Germany)
, том 71, № 5, с. 126
DOI
2017
Multifold study of volume plasma chemistry in Ar/CF4 and Ar/CHF3 CCP discharges
Proshina O.
,
Rakhimova T.
,
Zotovich Alexey
,
Lopaev D.
,
Zyryanov S.
,
Rakhimov A.
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 26, с. 075005
DOI
2017
Photoabsorption and damage of OSG low-k films by VUV emission at 140-160 nm
Lopaev D.V.
,
Rakhlinsky V.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
,
Kurchikov K.A.
,
Baklanov M.R.
в журнале
Plasma Processes and Polymers
, издательство
Wiley - V C H Verlag GmbbH & Co.
(Germany)
, с. e1700166
DOI
2017
Reactive pathways of hydrogen and carbon removal from organosilicate glass low-k films by F atoms
Voronina E.N.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
European Physical Journal D
, издательство
Springer Verlag
(Germany)
, том 71, № 7, с. 184
DOI
2017
Свойства и возможности применения квазидвумерного дисульфида молибдена для создания элементов наноэлектроники
Воронина Е.Н.
,
Новиков Л.С.
,
Рахимова Т.В.
в журнале
Перспективные материалы
, издательство
Интерконтакт Наука
(М.)
, № 12, с. 5-17
2016
Comparison of vacuum ultra-violet emission of Ar/CF4and Ar/CF3I capacitively coupled plasmas
Zotovich A.
,
Proshina O.
,
el Otell Z.
,
Lopaev D.
,
Rakhimova T.
,
Rakhimov A.
,
de Marneffe J.F.
,
Baklanov M.R.
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 25, № 5, с. 055001
DOI
2016
Dependence of electric potentials at trench surfaces on ion angular distribution in plasma etching processes
Alexander Palov
,
Yuri Mankelevich
,
Tatyana Rakhimova
, Mikhail Baklanov
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 49, № 10, с. 105203
DOI
2016
Determination of Plasma Density from Data on the Ion Current to Cylindrical and Planar Probes
Voloshin D.G.
,
Vasileva A.N.
,
Kovalev A.S.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 42, № 12, с. 1146-1154
DOI
2016
Effect of porosity and pore size on dielectric constant of organosilicate based low-k films: An analytical approach
Palov A.P.
,
Voronina E.N.
,
Rakhimova T.V.
,
Lopaev D.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Mankelevich Yu A.
,
Krishtab M.B.
, Baklanov M.R.
в журнале
Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 34, № 4, с. 041205
DOI
2016
Modeling of Single and Dual Frequency Capacitive Discharge in Argon Hydrogen Mixture - Dynamic Effects and Ion Energy Distribution Functions
Voloshin Dmitry G.
,
Mankelevich Yuri A.
,
Proshina Olga V.
,
Rakhimova Tatyana V.
в журнале
Plasma Processes and Polymers
, издательство
Wiley - V C H Verlag GmbbH & Co.
(Germany)
, том 13
DOI
2016
Multi-step reactions mechanism for F atoms interactions with organosilicate glass and SiOx films
Mankelevich Yu A.
,
Voronina E.N.
,
Rakhimova T.V.
,
Palov A.P.
,
Lopaev D.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Baklanov M.R.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 49, № 34, с. 345203
DOI
2016
Nonstationary effects in ozone generation by barrier discharges in N2/O2 mixtures
Zosimov A.V.
,
Lunin V.V.
,
Abramovskaya E.A.
,
Samoilovich V.G.
,
Mankelevich Yu A.
,
Poroykov A.Yu
,
Rakhimova T.V.
,
Voloshin D.G.
в журнале
Russian Journal of Physical Chemistry A
, издательство
Pleiades Publishing, Ltd
(Road Town, United Kingdom)
, том 90, № 8, с. 1687-1692
DOI
2016
Ozone production and losses in N2/O2 mixtures in an ozone generator
Mankelevich Yu A.
,
Poroykov A.Yu
,
Rakhimova T.V.
,
Voloshin D.G.
,
Chukalovskii A.A.
,
Zosimov A.V.
,
Lunin V.V.
,
Samoilovich V.G.
в журнале
Russian Journal of Physical Chemistry A
, издательство
Pleiades Publishing, Ltd
(Road Town, United Kingdom)
, том 90, № 9, с. 1896-1902
DOI
2016
Plasmachemical and Heterogeneous Processes in Ozonizers with Oxygen Activation by a Dielectric Barrier Discharge
Mankelevich Yu A.
,
Voronina E.N.
,
Poroykov A.Yu
,
Rakhimova T.V.
,
Voloshin D.G.
,
Chukalovsky A.A.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 42, № 10, с. 956-969
DOI
2016
Reaction of hydrogen atoms with singlet delta oxygen O2(1Δg). Is everything completely clear?
Chukalovsky A.A.
,
Klopovsky K.S.
,
Palov A.P.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 49, № 48, с. 485202
DOI
2016
The plasma sheath around planar probes: effects of ion collisions
Voloshin Dmitry
,
Rakhimova Tatyana
,
Mankelevich Yuri
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 25, № 1, с. 015018
DOI
2016
Нестационарные эффекты в генерации озона барьерным разрядом в смесях N2/O2
Зосимов А.В.
,
Лунин В.В.
,
Самойлович В.Г.
,
Абрамовская Е.А.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Поройков A.Ю.
,
Рахимова Т.В.
,
Волошин Д.Г.
в журнале
Журнал физической химии
, издательство
Наука
(М.)
, том 90, № 8, с. 1279-1284
DOI
2016
Образование и гибель озона в озонаторах в N2/O2-смесях
Манкелевич Ю.А.
,
Поройков A.Ю.
,
Рахимова Т.В.
,
Волошин Д.Г.
,
Чукаловский А.А.
,
Зосимов А.В.
,
Лунин В.В.
,
Самойлович В.Г.
в журнале
Журнал физической химии
, издательство
Наука
(М.)
, том 90, № 9, с. 1421-1427
DOI
2016
Определение плотности плазмы по данным ионного тока на цилиндрический и плоский зонд
Волошин Д.Г.
,
Васильева А.Н.
,
Ковалев А.С.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Рахимова Т.В.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
Наука
(М.)
, том 42, № 12, с. 1099-1108
DOI
2016
Плазмохимические и гетерогенные процессы в озонаторах с активацией кислорода барьерным разрядом
Манкелевич Ю.А.
,
Воронина Е.Н.
,
Поройков A.Ю.
,
Рахимова Т.В.
,
Волошин Д.Г.
,
Чукаловский А.А.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
Наука
(М.)
, том 42, № 10, с. 912-926
DOI
2015
Dependence of dielectric constant of SiOCH low-k films on porosity and pore size
Palov Alexander
,
Rakhimova Tatiana V.
, Krishtab Mikhail B., Baklanov Mikhail R.
в журнале
Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 33, № 2, с. 020603-020605
DOI
2015
Evaluation of plasma density in rf ccp discharges from ion current to langmuir probe: experiment and numerical simulation
Dmitry Voloshin
,
Alexander Kovalev
,
Mankelevich Yuri A.
,
Olga Proshina
,
Rakhimova Tatyana V.
,
Anna Vasilieva
в журнале
European Physical Journal D
, издательство
Springer Verlag
(Germany)
, том 69, № 1, с. 23
DOI
2015
Experimental and theoretical study of RF capacitively coupled plasma in Ar–CF4–CF3I mixtures
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Lopaev D.V.
,
Samara V.
,
Baklanov M.R.
,
de Marneffe J-F
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 24, с. 055006
DOI
2015
Interaction of F atoms with SiOCH ultra low-k films Part II: etching
Rakhimova T.V.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Y.A.
,
Kurchikov K.A.
,
Zyryanov S.M.
,
Palov A.P.
,
Proshina O.V.
,
Maslakov K.I.
,
Baklanov M.R.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 48, № 17, с. 175204-(14pp)
DOI
2015
Interaction of F atoms with SiOCH ultra-low-k films: I. Fluorination and damage
Rakhimova T.V.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimov A.T.
,
Zyryanov S.M.
,
Kurchikov K.A.
, Novikova N.N., Baklanov M.R.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 48, № 17, с. 175203-(13pp)
DOI
2014
Comparison of H 2 and He carbon cleaning mechanisms in extreme ultraviolet induced and surface wave discharge plasmas
Dolgov A.
,
Lopaev D.
,
Rachimova T.
,
Kovalev A.
,
Vasil’eva A.
,
Lee C.J.
,
Krivtsun V.M.
,
Yakushev O.
,
Bijkerk F.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 47, № 6, с. 065205
DOI
2014
Low-k films modification under EUV and VUV radiation
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Mankelevich Yu A.
,
Lopaev D.V.
,
Kovalev A.S.
,
Vasil’eva A.N.
,
Zyryanov S.M.
,
Kurchikov K.
,
Proshina O.V.
,
Voloshin D.G.
, Novikova N.N.,
Krishtab M.B.
, Baklanov M.R.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 47, № 2, с. 025102
DOI
2014
Specific Features of the Kinetics of H2–O2–O2(a1Δg) Mixtures: II. Quenching of O2(a1Δg) Excited in a Discharge behind the Shock Front at Temperatures of 500–1020 K
Chukalovsky A.A.
,
Rakhimova T.V.
,
Klopovsky K.S.
,
Mankelevich Yu A.
,
Proshina O.V.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 40, № 1, с. 52-64
DOI
2014
Specific features of the kinetics of H2-O2-O2(a1Δg) mixtures: I. Formation and quenching of electronically and vibrationally excited HO2(A') molecules in H2-O2- O2(a1Δg) mixtures at a temperature of 300 K
Chukalovsky A.A.
,
Rakhimova T.V.
,
Klopovsky K.S.
,
Popov N.A.
,
Mankelevich Yu A.
,
Proshina and O.V
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 40, с. 34-51
DOI
2014
Visualization in nanotechnology: low-k materials
Palov A.P.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Journal of Flow Visualization and Image Processing
, издательство
Begell House
(United States)
, том 21, № 1-04, с. 47-50
DOI
2014
ОСОБЕННОСТИ КИНЕТИКИ H2–O2–O2(a1Δg) СМЕСЕЙ. ЧАСТЬ I. ОБРАЗОВАНИЕ И ТУШЕНИЕ ЭЛЕКТРОННО-КОЛЕБАТЕЛЬНО ВОЗБУЖДЕННЫХ МОЛЕКУЛ HO2*(A') в H2–O2–O2(A1Δg) СМЕСЯХ ПРИ ТЕМПЕРАТУРЕ 300 К
Чукаловский А.А.
,
Рахимова Т.В.
,
Клоповский К.С.
,
Попов Н.А.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Прошина О.В.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
Наука
(М.)
, том 40, № 1, с. 44-62
DOI
2014
ОСОБЕННОСТИ КИНЕТИКИ H2–O2–O2(a1Δg) СМЕСЕЙ. ЧАСТЬ II. ТУШЕНИЕ ВОЗБУЖДЕННОГО В РАЗРЯДЕ O2(a1Δg) ЗА ФРОНТОМ УДАРНОЙ ВОЛНЫ ПРИ ТЕМПЕРАТУРЕ 500–1020 К
Чукаловский А.А.
,
Рахимова Т.В.
,
Клоповский К.С.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Прошина О.В.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
Наука
(М.)
, том 40, № 1, с. 63-76
DOI
2013
Equirate magnetron sputtering of mosaic copper-graphite targets
Mankelevich Yu A.
,
Mitin A.V.
,
Mitin V.S.
,
Pal’ A.F.
,
Rakhimova T.V.
,
Ryabinkin A.N.
,
Serov A.O.
,
Luchkin S.Yu
в журнале
Technical Physics Letters
, издательство
Pleiades Publishing, Ltd
(Road Town, United Kingdom)
, том 39, № 1, с. 39-41
DOI
2013
Modification of organosilicate glasses low-k films under extreme and vacuum ultraviolet radiation
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Mankelevich Yu A.
,
Lopaev D.V.
,
Kovalev A.S.
,
Vasil’eva A.N.
,
Proshina O.V.
,
Braginsky O.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Kurchikov K.
, Novikova N.N.,
Baklanov M.R.
в журнале
Applied Physics Letters
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 102, № 11, с. 111902
DOI
2013
Plasma processing of low-k dielectrics
Baklanov Mikhail R.
,
de Marneffe Jean-Francois
, Shamiryan Denis,
Urbanowicz Adam M.
,
Shi Hualiang
,
Rakhimova Tatyana V.
,
Huang Huai
,
Ho Paul S.
в журнале
Journal of Applied Physics
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 113, № 4
DOI
2013
Two-dimensional simulation of an atmospheric-pressure RF DBD in a H2 :O2 mixture: discharge structures and plasma chemistry
Shkurenkov I.A.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 22, с. 015021
DOI
2012
Experimental and theoretical study of dynamic effects in low-frequency capacitively coupled discharges
Braginsky O.
,
Kovalev A.
,
Lopaev D.
,
Proshina O.
,
Rakhimova T.
,
Vasilieva A.
,
Voloshin D.
,
Zyryanov S.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 45, № 1, с. 015201-015201
DOI
2012
Experimental and theoretical study of dynamic effects in low-frequency capacitively coupled discharges,
Kovalev Braginsky O.A,
Lopaev D.
,
Proshina O.
,
Rakhimova T.
, Vasilieva A.,
and S Zyryanov D.Voloshin
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 45, с. 015201-10
DOI
2012
Modelling degradation of PTFE under electron irradiation
Palov A.
, Fujii H.,
Mankelevich Yu
,
Rakhimova T.
, Baklanov M.
в журнале
Polymer Degradation and Stability
, издательство
Elsevier BV
(Netherlands)
, том 97, № 5, с. 802-809
DOI
2012
Removal of amorphous C and Sn on Mo:Si multilayer mirror surface in Hydrogen plasma and afterglow
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Malykhin E.M.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
,
Zyryanov S.M.
,
Koshelev K.N.
,
Krivtsun V.M.
,
van Kaampen Maarten
,
Glushkov D.
в журнале
Journal of Applied Physics
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 111, № 9, с. 093304-093304
DOI
2012
Study of Singlet Delta Oxygen O2(1Δg) Impact on H2–O2 Mixture Ignition in Flow Reactor: 2D Modeling
Chukalovsky A.A.
, Klopovsky K.S.,
Liberman M.A.
,
Mankelevich Yu A.
,
Popov N.A.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Combustion Science and Technology
, издательство
Taylor & Francis
(United Kingdom)
, том 184, № 10-11, с. 1768-1786
DOI
2012
Ultra low-k dielectrics damage under VUV and EUV radiation
Sergey Zyryanov
,
Oleg Braginsky
,
Alexander Kovalev
,
Dmitry Lopaev
,
Yury Mankelevich
,
Tatyana Rakhimova
,
Alexander Rakhimov
,
Anna Vasilieva
,
Mikhail Baklanov
в журнале
Bulletin of the American Physical Society, 65th Annual Gaseous Electronics Conference
, том 57, № 8
2012
Равноскоростное магнетронное распыление мозаичных медно-графитовых мишеней
Манкелевич Ю.А.
,
Митин А.В.
,
Митин В.С.
, Паль А.Ф.,
Рахимова Т.В.
,
Рябинкин А.Н.
, Серов А.О.,
Лучкин С.Ю.
в журнале
Письма в "Журнал технической физики"
, издательство
Наука. С.-Петерб. отд-ние
(СПб.)
, том 38, № 24, с. 60-66
2011
2D gasdynamic simulation of the kinetics of an oxygen-iodine laser with electric-discharge generation of singlet oxygen
Chukalovsky A.A.
,
Rakhimova T.V.
,
Klopovsky K.S.
,
Mankelevich Yu A.
,
Proshina O.V.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 37, № 3, с. 251-262
DOI
2011
Loss of Hydrogen Atoms in H-2 Plasma on the Surfaces of Materials Used in EUV Lithography
Zyryanov S.M.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Malykhin E.M.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Koshelev K.N.
,
Krivtsun V.M.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 37, № 10, с. 881-889
DOI
2011
Plasma Cleaning of Multilayer Mirrors in EUV Lithography from Amorphous Carbon Contaminations
Malykhin E.M.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Braginskii O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Vasil’eva A.N.
,
Zyryanov S.M.
в журнале
Moscow University Physics Bulletin
, издательство
Allerton Press
(New York, N.Y., United States)
, том 66, № 2, с. 184-189
DOI
2011
Simulation of Optical Properties of Silicon Solar Cells Textured with Penetrating VShaped Grooves
Untila G.G.
,
Palov A.P.
,
Poroykov A.Yu
,
Rakhimova T.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Kost T.N.
,
Chebotareva A.B.
,
Dvorkin V.V.
в журнале
Semiconductors
, издательство
Springer
(New York)
, том 45, № 10, с. 1357-1363
DOI
2011
The Effect of He Plasma Treatment on Properties of Organosilicate Glass Low-K Films
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Malykhin E.M.
,
Mankelevich Yu A.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Voloshin D.G.
,
Vasilieva A.N.
,
Zyryanov S.M.
, Smirnov E.A.,
Baklanov M.R.
в журнале
Journal of Applied Physics
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 109, № 4, с. 043303
DOI
2011
The effects of the normal current density and the plasma spatial structuring in argon DBDs
Shkurenkov I.A.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
European Physical Journal D
, издательство
Springer Verlag
(Germany)
, том 61, с. 95-105
2011
The influence of the discharge parameters on the plasma spatial structuring in argon DBDs
Shkurenkov I.A.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
European Physical Journal D
, издательство
Springer Verlag
(Germany)
, том 62, с. 213-217
2011
The structure of thin carbon films deposited at 13.5 nm EUV irradiation
Malykhin E.M.
,
Krivchenko V.A.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Zyryanov S.M.
в журнале
Moscow University Physics Bulletin
, издательство
Allerton Press
(New York, N.Y., United States)
, том 66, № 1, с. 54-58
DOI
2011
Моделирование оптических свойств кремниевых солнечных элементов, текстурированных V-образными проникающими канавками
Унтила Г.Г.
,
Палов А.П.
,
Поройков А.Ю.
,
Рахимова Т.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Кост Т.Н.
,
Чеботарева А.Б.
,
Дворкин В.В.
в журнале
Физика и техника полупроводников
, издательство
Наука. С.-Петерб. отд-ние
(СПб.)
, том 45, № 10, с. 1410-1416
DOI
2010
Charging and the secondary electron-electron emission on a trench surface: broadening and shift of ion energy spectrum at plasma trench etching
Palov A.P.
,
Mankelevich Y.A.
,
Rakhimova T.V.
, Shamiryan D.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 43, № 7, с. 075203 -075210
DOI
2010
Charging of submicron structures during silicon dioxide etching in one- and two-frequency gas discharges
Palov A.P.
,
Mankelevich Y.A.
,
Rakhimova T.V.
, Shamiryan D.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 36, № 10, с. 891-901
DOI
2010
Deflagration-to-detonation transition in highly reactive combustible mixtures
Liberman M.A.
, Ivanov M.F., Kiverin A.D., Kuznetsov M.S.,
Chukalovsky A.A.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Acta Astronautica
, издательство
Pergamon Press Ltd.
(United Kingdom)
, том 67, № 7-8, с. 688-701
DOI
2010
Diffuse, constricted- stratified and constricted modes of a DC discharge in argon Simulation of transitions between these modes
Shkurenkov I.A.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Journal of Physics: Conference Series
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 207, № 012028
2010
Experimental and theoretical study of dynamic effects in low-frequency capacitively coupled discharges
Dmitry Voloshin
,
Oleg Braginsky
,
Alexander Kovalev
,
Dmitry Lopaev
,
Olga Proshina
,
Tatyana Rakhimova
,
Anna Vasilieva
в журнале
Bulletin of the American Physical Society, 63rd Annual Gaseous Electronics Conference and 7th International Conference on Reactive Plasmas
, том 55, № 7
2010
On the mechanism of the deflagration-to-detonation transition in a hydrogen-oxygen mixture
Liberman M.A.
, Ivanov M.F., Kiverin A.D., Kuznetsov M.S.,
Rakhimova T.V.
,
Chukalovskii A.A.
в журнале
Journal of Experimental and Theoretical Physics
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 111, № 4, с. 684-698
DOI
2010
Study of spatial distributions of F, H and CF2 radicals in DF CCP discharge in Ar/CF4 and Ar/CHF3 mixtures
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
,
Zyryanov S.M.
в журнале
THIRD INTERNATIONAL WORKSHOP AND SUMMER SCHOOL ON PLASMA PHYSICS 2008 Book Series: Journal of Physics Conference Series
, том 207, № Article Number: 012014
DOI
2010
The Mechanism of Low-K SiOCH Film Modification by Oxygen Atoms
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Malykhin E.M.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
,
Zyryanov S.M.
,
Baklanov M.R.
в журнале
Journal of Applied Physics
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 108, № 7, с. 073303
DOI
2010
Two modes of capacitively coupled rf discharge in CF4
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Voloshin D.G.
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 19, № 6, с. 065013
DOI
2010
Зарядка субмикронных структур при травлении диоксида кремния в одно и двухчастотном газовом разряде
Палов А.П.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Рахимова Т.В.
, Шамирян Д.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
Наука
(М.)
, том 36, № 10, с. 949-959
2009
Coagulation of dust grains in the plasma of an RF discharge in argon
Mankelevich Yu A.
,
Olevanov M.A.
,
Pal' A.F.
,
Rakhimova T.V.
,
Ryabinkin A.N.
,
Serov A.O.
,
Filippov A.V.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 35, № 3, с. 191-199
DOI
2009
Experimental and Theoretical Studies of Radical Production in RF CCP Discharge at 81-MHz Frequency in Ar/CF4 and Ar/CHF3 Mixtures
Rakhimova Tatyana V.
,
Braginsky Oleg V.
,
Klopovskiy Konstantin S.
,
Kovalev Alexander S.
,
Lopaev Dmitry V.
,
Proshina Olga V.
,
Rakhimov Alexander T.
, Shamiryan Denis,
Vasilieva Anna N.
,
Voloshin Dmitry G.
в журнале
IEEE Transactions on Plasma Science
, издательство
Institute of Electrical and Electronics Engineers
(Piscataway, NJ, United States)
, том 37, № 9, Part 1, с. 1683-1696
DOI
2009
Hysteresis transition between diffuse and constricted modes of dc discharge in argon
Shkurenkov I.A.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Moscow University Physics Bulletin
, издательство
Allerton Press
(New York, N.Y., United States)
, том 64, № 2, с. 187-190
DOI
2009
Recombination of O and H Atoms on the Surface of Nanoporous Dielectrics
Rakhimova Tatyana V.
,
Braginsky Oleg V.
,
Kovalev Alexander S.
,
Lopaev Dmitry V.
,
Mankelevich Yuri A.
,
Malykhin Evdokim M.
,
Rakhimov Alexander T.
,
Vasilieva Anna N.
,
Zyryanov Sergey M.
, Baklanov Mikhail R.
в журнале
IEEE Transactions on Plasma Science
, издательство
Institute of Electrical and Electronics Engineers
(Piscataway, NJ, United States)
, том 37, № 9, с. 1697-1704
DOI
2009
Simulation of diffuse, constricted-stratified, and constricted modes of a DC discharge in argon. Hysteresis transition between diffuse and constricted-stratified modes
Shkurenkov I.A.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Physical Review E - Statistical, Nonlinear, and Soft Matter Physics
, издательство
American Physical Society
(United States)
, том 79, № 046406
DOI
2009
The influence of He plasma pretreatment on O and H atom interaction with low-k nanoporous materials
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Malykhin E.M.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
,
Zyryanov S.M.
,
Baklanov M.R.
в журнале
Bulletin of the American Physical Society, 62nd Annual Gaseous Electronics Conference
, том 54, № 12
2009
Коагуляция пылевых частиц в аргоновой плазме ВЧ разряда
Манкелевич Ю.А.
,
Олеванов М.А.
, Паль А.Ф.,
Рахимова Т.В.
,
Рябинкин А.Н.
,
Серов А.О.
,
Филиппов А.В.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
Наука
(М.)
, том 35, № 3, с. 219-228
2009
Моделирование гистерезисного перехода между диффузионным и контрагированным режимами в аргоне
Шкуренков И.А.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Рахимова Т.В.
в журнале
Вестник Московского университета. Серия 3: Физика, астрономия
, издательство
Изд-во Моск. ун-та
(М.)
, том 2, с. 77
2008
Coagulation of dust particles in argon plasma of RF discharge
Mankelevich Yu A.a.
,
Olevanov M.A.a
,
Pal A.F.a
,
Rakhimova T.V.a
,
Ryabinkin A.N.a
,
Serov A.O.a
,
Filippov A.V.b
в журнале
AIP Conference Proceedings
, том 1041, с. 295-296
DOI
2008
Diffuse and constricted modes of a dc discharge in neon: Simulation of the hysteresis transition
Shkurenkov I.A.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 34, № 9, с. 780-793
DOI
2008
Dust particle coagulation mechanism in low-pressure plasma: rapid growth and saturation stage modeling
Mankelevich Yu A.
,
Olevanov M.A.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 17, № 1, с. 015013
DOI
2008
High Pressure Electro-Discharge Singlet Oxygen Generator (ED SOG) with High Efficiency and Yield
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 41, № 17, с. 172008
DOI
2008
Ion energy distribution function in dual-frequency rf capacitively coupled discharges: analytical model
Olevanov M.
,
Proshina O.
,
Rakhimova T.
,
Voloshin D.
в журнале
Physical Review E - Statistical, Nonlinear, and Soft Matter Physics
, издательство
American Physical Society
(United States)
, том 78, № 2 Pt 2, с. 026404
DOI
2008
Numerical Simulation of the Mixing Kinetics of an Iodine-Containing Flow and the Oxygen Flow Excited in the Electric-Discharge Oxygen-Iodine Laser
Chukalovsky A.A.
,
Klopovsky K.S.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Moscow University Physics Bulletin
, издательство
Allerton Press
(New York, N.Y., United States)
, том 63, № 5, с. 324-328
DOI
2008
Numerical simulation of the effect of atomic oxygen impurity on the formation of population inversion during axisymmetric mixing of iodine and excited oxygen flows
Chukalovskii A.A.
,
Klopovsky K.S.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Technical Physics Letters
, издательство
Pleiades Publishing, Ltd
(Road Town, United Kingdom)
, том 34, № 9, с. 798-802
2008
Диффузионный и контрагированный режимы разряда постоянного тока в неоне: моделирование гистерезисного перехода
Шкуренков И.А.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Рахимова Т.В.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
Наука
(М.)
, том 34, № 8, с. 1-15
2007
Effect of the electric field of the anode sheath on the growth of aligned carbon nanotubes in a glow discharge
Pal' A.F.
,
Rakhimova T.V.
,
Suetin N.V.
,
Timofeev M.A.
,
Filippov A.V.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 33, № 1, с. 43-53
DOI
2007
Experimental and theoretical study of ion energy distribution function in single and dual frequency RF discharges
Rakhimova Tatyana V.
,
Braginsky Oleg V.
,
Ivanov Vladimir V.
,
Kovalev Alexander S.
,
Lopaev Dmitry V.
,
Mankelevich Yuri A.
,
Olevanov Michael A.
,
Proshina Olga V.
,
Rakhimov Alexander T.
,
Vasilieva Anna N.
,
Voloshin Dmitry G.
в журнале
IEEE Transactions on Plasma Science
, издательство
Institute of Electrical and Electronics Engineers
(Piscataway, NJ, United States)
, том 35, № 5, с. 1229-1240
DOI
2007
Pressure Scaling of an Electro-Discharge Singlet Oxygen Generator (ED SOG)
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 40, № 21, с. 6571-6582
DOI
2007
Simulation of gas-phase kinetics in CHF3 : H-2 : O-2 mixtures
Voloshin Dmitry G.
,
Klopovskiy Konstantin S.
,
Mankelevich Yuri A.
,
Popov Nikolay A.
,
Rakhimova Tatyana V.
,
Rakhimov Alexander T.
в журнале
IEEE Transactions on Plasma Science
, издательство
Institute of Electrical and Electronics Engineers
(Piscataway, NJ, United States)
, том 35, № 6, Part 2, с. 1691-1703
DOI
2006
A particle-in-cell Monte Carlo simulation of an rf discharge in methane: frequency and pressure features of the ion energy distribution function
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 15, № 3, с. 402-409
DOI
2006
Development of the electron impact cross section set for CHF3. Monte Carlo simulation of the swarm experiments in pure CHF3 and CHF3/Ar mixtures
Voloshin D.G.
,
Rakhimova T.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Mankelevich Yu A.
в журнале
Journal of Physics: Conference Series
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 44, № 1, с. 121-126
DOI
2006
Discharge Singlet Oxygen Generator for Oxygen-Iodine Laser: I. Experiments with RF Discharges at 13.56 and 81 MHz
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 39, № 24, с. 5183-5190
DOI
2006
Discharge Singlet Oxygen Generator for Oxygen-Iodine Laser: II. Two-Dimensional Modeling of Flow Oxygen RF Plasma at 13.56 and 81 MHz Power Frequency
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 39, № 24, с. 5191-5200
DOI
2006
Discharged Generator of Singlet Oxygen for Oxygen-Iodine Laser. Transport Kinetics of O2(a(1)Delta(g)) and O2(b(1)Sigma(g+)) Molecules, and O(3P) Atoms in Ar:O2 and He:O2 Flows Excited by a 13.56 MHz Discharge
Braginsky O.V.
,
Vasil’eva A.N.
,
Klopovsky K.S.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Laser Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 16, № 8, с. 1161-1174
DOI
2006
Experimental and Theoretical Study of RF Plasma at Low and High Frequency
Rakhimova T.V.
,
Braginsky O.V.
,
Ivanov V.V.
,
Kim T.K.
,
Kong J.T.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Proshina O.V.
,
Vasilieva A.N.
в журнале
IEEE Transactions on Plasma Science
, издательство
Institute of Electrical and Electronics Engineers
(Piscataway, NJ, United States)
, том 34, № 3, с. 867-877
DOI
2006
Experimental and theoretical study of RF plasma at low and high frequency
Rakhimova T.V.
,
Braginsky O.V.
,
Ivanov V.V.
,
Kim T.K.
,
Kong J.T.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Y.A.
,
Proshina O.V.
,
Vasilieva A.N.
в журнале
IEEE Transactions on Plasma Science
, издательство
Institute of Electrical and Electronics Engineers
(Piscataway, NJ, United States)
, том 34, № 3, с. 867-877
DOI
2006
Investigation of H−Production in Plasma of DC Glow Discharge
Belostotsky S.G.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Journal of Physics: Conference Series
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 44, с. 162-168
DOI
2005
Generation of Singlet Oxygen for an Oxygen-Iodine Laser in a Radio-Frequency Discharge
Braginskii O.V.
,
Vasil’eva A.N.
,
Klopovskii K.S.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Popov N.A.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Quantum Electronics
, издательство
Turpion - Moscow Ltd.
(United Kingdom)
, том 35, № 1, с. 21-26
DOI
2005
Kinetics of O-2(b (1)Sigma(+)(g)) in oxygen RF discharges
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Y.A.
, Popov N.A.,
Rakhimova T.V.
,
Poroykov A.Y.
,
Carroll D.L.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 38, № 14, с. 2360-2370
DOI
2005
Kinetics of O2(b (1)Sigma(+)(g)) in Oxygen RF Discharges
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
, Popov N.A.,
Rakhimova T.V.
,
Poroykov A.Yu
,
Carroll D.L.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 38, № 14, с. 2360-2370
DOI
2005
Kinetics of O2(b1Sg) in oxygen RF discharges
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Popov N.A.
,
Rakhimova T.V.
,
Poroykov A.Yu
,
Carroll D.L.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 38, с. 2360-2370
2005
Negative Ion Destruction by O(3P) Atoms and O2(a1Δg) Molecules in an Oxygen Plasma
Belostotsky S.G.
, Economou D.J.,
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 14, № 3, с. 532-542
DOI
2005
Production of Singlet Oxygen in a Non-Self-Sustained Discharge
Vasil’eva A.N.
,
Klopovski K.S.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
, Popov N.A.,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 31, № 4, с. 325-337
DOI
2005
Production of singlet oxygen in a non-self-sustained discharge
Vasil'eva A.N.
,
Klopovskii K.S.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Y.A.
,
Popov N.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 31, № 4, с. 325-337
DOI
2005
Singlet Oxygen Generation in O2 Flow Excited by RF Discharge. II. Inhomogeneous Discharge Mode: ‘Plasma Jet'
Braginskiy O.V.
,
Vasilieva A.N.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 38, № 19, с. 3626-3634
DOI
2005
Singlet Oxygen Generation in O2 Flow Excited by RF Discharge: I. Homogeneous Discharge Mode: Alpha-Mode
Braginskiy O.V.
,
Vasilieva A.N.
,
Klopovskiy К.S.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 38, № 19, с. 3609-3625
DOI
2004
Coagulation and growth mechanisms for dust particles in a low-temperature plasma
Olevanov M.A.
,
Mankelevich Y.A.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Journal of Experimental and Theoretical Physics
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 98, № 2, с. 287-304
DOI
2004
Effect of the Nonlocal Nature of the Electron Energy Spectrum on the Dissociation of Oxygen Molecules in a Discharge
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 30, № 6, с. 542-548
DOI
2004
On the Possibility of O2(a1g) Production by a Non-Selfsustained Discharge for Oxygen-Iodine Laser Pumping
Vasiljeva А.N.,
Klopovskiy К.S.
,
Kovalev А.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Y.A.
,
Popov N.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova Т.V.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 37, № 17, с. 2455-2468
DOI
2004
Singlet oxygen production and quenching mechanisms in travelling microwave discharges
Savin Y.V., Goryachev L.V., Adamenkov Y.A.,
Rakhimova T.V.
,
Mankelevich Y.A.
,
Popov N.A.
,
Adamenkov A.A.
,
Egorov V.V.
,
Ilyin S.P.
,
Kolobyanin Y.V.
,
Kudryashov E.A.
,
Rogozhnikov G.S.
,
Vyskubenko B.A.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 37, № 22, с. 3121-3128
DOI
2003
Coagulation rate of dust grains in a low-temperature plasma
Olevanov M.A.
,
Mankelevich Y.A.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Technical Physics
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 48, № 10, с. 1270-1279
DOI
2003
Effect of dust particles on the properties of low-temperature plasmas
Olevanov M.A.
,
Mankelevich Y.A.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Journal of Experimental and Theoretical Physics
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 96, № 3, с. 444-456
DOI
2003
Structure and Dynamics of a Pulsed DC Discharge in Pure Oxygen
Ivanov V.V.
,
Klopovsky K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Y.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
IEEE Transactions on Plasma Science
, издательство
Institute of Electrical and Electronics Engineers
(Piscataway, NJ, United States)
, том 31, № 4, с. 528-541
DOI
2002
Comparison of a one-dimensional particle-in-cell-Monte Carlo model and a one-dimensional fluid model for a CH4/H-2 capacitively coupled radio frequency discharge
Ivanov V.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.Herrebout D
, Bogaerts A.
в журнале
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS Volume: 91 Issue: 10 Pages: 6296-6302
, том 91, № 10, с. 6296-6302
DOI
2002
Kinetics of the Reactions Involving CF2 and CF in a Pure Tetrafluoromethane Plasma: I. Production of CF2 and CF via Electron-Impact Dissociation
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Rulev G.B.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 28, № 3, с. 229-242
DOI
2002
Kinetics of the Reactions Involving CF2 and CF in a Pure Tetrafluoromethane Plasma: II. Production and Loss of CF2 and CF in the Processes of Fluorocarbon Polymerization
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Rulev G.B.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 28, № 3, с. 243-257
DOI
2002
Mathematical modeling of the plasma-chemical pyrolysis of methane
Slovetskii D.I.,
Mankelevich Y.A.
, Slovetskii S.D.,
Rakhimova T.V.
в журнале
High Energy Chemistry
, издательство
Pleiades Publishing, Ltd
(Road Town, United Kingdom)
, том 36, № 1, с. 44-52
DOI
2002
Polarization mechanism of dust particle interaction in plasma
Mankelevich Y.A.
,
Olevanov M.A.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Journal of Experimental and Theoretical Physics
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 94, № 6, с. 1106-1113
DOI
2001
Current dynamics and mechanisms for the instability of a non-self-sustained glow discharge in nitrogen
Mankelevich Y.A.
,
Pal' A.F.
,
Popov N.A.
,
Rakhimova T.V.
,
Filippov A.V.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 27, № 11, с. 979-989
DOI
2001
Study of the ozone production and loss during oxygen photolysis in a VUV ozonator chamber
Ivanov V.V.
,
Popov N.A.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rulev G.B.
,
Saenko V.B.
в журнале
Technical Physics Letters
, издательство
Pleiades Publishing, Ltd
(Road Town, United Kingdom)
, том 27, № 1, с. 29-31
DOI
2000
Effects of the nonlocal electron distribution in a plasma display cell
Ivanov V.V.
,
Mankelevich Y.A.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Technical Physics Letters
, издательство
Pleiades Publishing, Ltd
(Road Town, United Kingdom)
, том 26, № 12, с. 1061-1064
DOI
2000
Nonlocal Nature of the Electron Energy Spectrum in a Glow-Discharge in Pure O2: I. Nonlocal Character of the Electron Distribution Function
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 26, № 11, с. 972-979
DOI
2000
Nonlocal Nature of the Electron Energy Spectrum in a Glow-Discharge in Pure O2: II. Actinometry of O(3P) Atoms in a Plasma at Low Gas Pressures
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 26, № 11, с. 980-990
DOI
1999
Effect of a dust component on the rates of elementary processes in low-temperature plasmas
Ivanov V.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Serov A.O.
,
Suetin N.V.
,
Pal' A.F.
в журнале
Journal of Experimental and Theoretical Physics
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 88, № 6, с. 1105-1114
DOI
1999
Experimental and Theoretical Investigation of Oxygen Glow Discharge Structure at Low Pressures
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
IEEE Transactions on Plasma Science
, издательство
Institute of Electrical and Electronics Engineers
(Piscataway, NJ, United States)
, том 27, № 5, с. 1279-1287
DOI
1999
Heterogeneous Quenching of O2(a1Delta) Molecules in H2:O2 Mixtures
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Popov N.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 32, № 23, с. 3004-3012
DOI
1999
Heterogeneous quenching of O2(1Deltag) molecules in H2:O2 mixtures
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Popov N.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 32, № 23, с. 3004-3004
DOI
1999
Modeling of a repetitive discharge in the cell of a plasma display panel
Ivanov V.V.
,
Mankelevich Y.A.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 25, № 7, с. 591-598
1999
Production of CF2 radicals in a gas-discharge plasma through the electron-impact dissociation of CF4 molecules
Ivanov V.V.
,
Klopovskii K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Slovetsky D.I.
,
Volynets V.N.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 25, № 8, с. 657-665
1999
Quenching of O2((1)Delta (g)) Molecules in a Hydrogen-Oxygen Mixture in a Fast-Gas-Flow Reactor
Balandin A.A.
,
Lopaev D.V.
,
Klopovsky K.S.
,
Popov N.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 25, № 11, с. 893-904
1997
Anisotropy and nonlocality of the electron distribution function of the low-pressure DC discharge in CF4
Volynets V.N.,
Ivanov V.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
, Slovetskii D.I.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 23, № 1, с. 62-70
1997
Influence of the vibrational excitation of ozone on the rate constant of electron attachment to O-3 molecules
Klopovskii K.S.
,
Popov N.A.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 23, № 2, с. 165-171
1997
The Mechanizm of Singlet Oxygen Emission in the Upper Atmosphere
Vlasov M.N.
,
Klopovsky K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Popov A.M.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Cosmic Research (English translation of Kosimicheskie Issledovaniya)
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 35, № 3, с. 219-225
1997
The influence of anisotropy and non-locality of the electron distribution function as well as non-equilibrium ion diffusion on the electrodynamics of CF4 DC discharge at low pressure
Feoktistov V.A.
,
Ivanov V.V.
,
Popov A.M.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
, Slovetsky D.I., Volynets V.N.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 30, № 3, с. 423-431
1997
The mechanism of singlet oxygen emission in the upper atmosphere
Vlasov M.N.,
Klopovsky K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Popov N.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Cosmic Research (English translation of Kosimicheskie Issledovaniya)
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 35, № 3, с. 219-225
1996
Comparative role of dynamical and chemical processes in formation of the high-latitude ozone layer
Vlasov M.N.a
, Izakova T.M.a,
Klopovsky K.S.b
,
Mankelevich Yu A.b.
,
Popov N.A.b
,
Rakhimova T.V.b
в журнале
Cosmic Research (English translation of Kosimicheskie Issledovaniya)
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 34, № 6, с. 535-540
1996
Experimental Investigation of Nonlocality Effects in the Electron Energy Spectrum in an Electronegative Gas
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Muratov E.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
JETP Letters
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 63, № 7, с. 537-542
DOI
1996
Experimental and theoretical study of the efficiency of an excimer lamp pumped by a pulse distributed discharge in xenon
Ivanov V.V.
,
Klopovskii K.S.
,
Mankelevich Y.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Rulev G.B.
,
Saenko V.B.
в журнале
Laser Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 6, № 4, с. 654-659
1995
Dynamics of HOCl molecule interaction with ice surfaces
Popov AM
,
Popovicheva OB
,
Rakhimova TV
,
Feoktistov VA
в журнале
Химическая физика
, издательство
Наука
(М.)
, том 14, № 6, с. 137-144
1995
Interaction of HCl molecules with ice under conditions modeling the polar stratosphere
Popov A.M.
,
Popovicheva O.B.
,
Rakhimova T.V.
,
Feoktistov V.A.
в журнале
Zhurnal Fizicheskoi Khimii
, том 69, № 11, с. 2003-2008
1995
New Mechanism by Which Singlet Oxygen is Produced in the Processes with the Participation of Electronically-Vibrationally Excited Ozone Molecules
Klopovskii K.S.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Popov N.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Journal of Experimental and Theoretical Physics
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 80, № 4, с. 603-613
1995
New Mechanism of Singlet Oxygen Production in Processes with Participation of Electronically and Vibrationally Excited Ozone Molecules
Klopovskii K.S.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Popov N.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimov T.V.
в журнале
JETF
, том 80, № 4, с. 603-613
1995
New approach to the particle-in-cell method for simulation of low-pressure rf discharge
Ivanov VV,
Popov AM
,
Rakhimova TV
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 21, № 8, с. 692-697
1995
Self-consistent modeling of low-pressure RF discharges in oxygen plasma
Feoktistov VA
,
Mukhovatova AV
,
Popov AM
,
Rakhimova TV
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 28, № 7, с. 1346-1353
DOI
1995
Spatial structure of microwave-discharge in low-pressure argon
Ivanov VV,
Popov AM
,
Rakhimova TV
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 21, № 6, с. 516-521
1995
Новый механизм образования синглетного кислорода в процессах с участием колебательно-возбужденных молекул озона
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Лопаев Д.В.
,
Попов Н.А.
,
Рахимов А.Т.
,
Рахимова Т.В.
в журнале
Журнал экспериментальной и теоретической физики
, том 107, № 4, с. 1080-1099
1994
Ion energy-distribution function features in RF discharge near-electrode sheaths
Mukhovatova AV
,
Popov AM
,
Rakhimova TV
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 20, № 12, с. 981-988
1994
Kinetics of metastable states in high-pressure nitrogen plasma pumped by high-current electron beam
Klopovsky K.S.
,
Mukhovatova A.V.
,
Popov A.M.
,
Popov N.A.
,
Popovicheva O.B.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 27, с. 1399-1405
1994
Kinetics of metastable states in high-pressure nitrogen plasma pumped by high-current electron-beam
Klopovsky KS
,
Mukhovatova AV
,
Popov AM
, Popov NA,
Popovicheva OB
,
Rakhimova TV
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 27, № 7, с. 1399-1405
DOI
1993
Low-pressure RF discharge in electronegative gases for plasma processing
Feoktistov V.A.
,
Lopaev D.V.
,
Klopovsky K.S.
,
Popov A.M.
,
Popovicheva O.B.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Journal of Nuclear Materials
, издательство
Elsevier BV
(Netherlands)
, том 200, № 3, с. 309-314
DOI
1993
Особенности актинометрических измерений заселенности метастабильных состояний в азотной плазме высокого давления, возбуждаемой сильноточным электронным пучком
Клоповский К.С.
, Муховатова А.В.,
Попов А.М.
,
Попов Н.А.
,
Поповичева О.Б.
,
Рахимова Т.В.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
Наука
(М.)
, том 19, № 9, с. 1163-1171
1993
Самосогласованная модель ВЧ разряда низкого давления в кислородной плазме
Клоповский К.С.
,
Попов А.М.
,
Рахимов А.Т.
,
Рахимова Т.В.
, Феоктистов В.А.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
Наука
(М.)
, том 19, № 7, с. 910-918
1993
Самосогласованные модели ВЧ разрядов низкого давления в электроположительных и электроотрицательных газах
Попов А.М.
,
Рахимов А.Т.
,
Рахимова Т.В.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
Наука
(М.)
, том 19, № 10, с. 1241-1267
1992
DISSOCIATION KINETICS OF IODINE IN OXYGEN-CONTAINING ELECTRICAL-DISCHARGE PLASMAS
Zakharov A.I.
,
Klopovskii K.S.
,
Rakhimova T.V.
,
Samorodov V.A.
в журнале
High Energy Chemistry
, издательство
Pleiades Publishing, Ltd
(Road Town, United Kingdom)
, том 26, № 6, с. 432-437
1992
Effect of nonlocality of energy-spectrum of electrons on kinetics of hf discharge in electronegative gases
Volkova EA
,
Popov AM
,
Popovicheva OB
,
Rakhimova TV
,
Feoktistov VA
в журнале
ZHURNAL TEKHNICHESKOI FIZIKI
, том 62, № 4, с. 70-79
1992
The Role of Vibrationally Excited Ozone in the Formation of Singlet Oxygen in a Oxygen-Nitrogen Plasma
Klopovskii K.S.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimov T.V.
в журнале
Sov.J. Plasma Phys. (USA)
, том 18, № 12, с. 834-839
1992
Кинетика диссоциации иода в кислородосодержащей электроразрядной плазме
Захаров А.И.
,
Клоповский К.С.
,
Рахимова Т.В.
,
Самородов В.А.
в журнале
Химия высоких энергий
, издательство
ИКЦ «Академкнига»
(Москва)
, том 26, № 6, с. 540-545
1992
Моделирование резонансного лазерного пробоя вблизи металлической поверхности
Попов А.М.
,
Поповичева О.Б.
,
Рахимова Т.В.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
Наука
(М.)
, том 18, № 5, с. 643-649
1992
Фотохимическое травление непрерывным лазерным излучением
Волкова Е.А.
,
Попов А.М.
,
Поповичева О.Б.
,
Рахимова Т.В.
в журнале
Поверхность. Физика, химия, механика
, № 1, с. 70-77
1992
Функция распределения электронов по энергиям в пространственно неоднородных постоянных и переменных полях
Волкова Е.А.
,
Иванов В.В.
,
Мелкумова Е.Ю.
,
Попов А.М.
,
Поповичева О.Б.
,
Рахимова Т.В.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
Наука
(М.)
, том 18, № 7, с. 911-918
1992
Численный анализ диффузионно-дрейфовой и кинетической моделей ВЧ разряда низкого давления
Волкова Е.А.
,
Попов А.М.
,
Поповичева О.Б.
,
Рахимова Т.В.
,
Феоктистов В.А.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
Наука
(М.)
, том 18, № 11, с. 1452-1459
1991
RF discharge modeling considering time-dependence and spatial nonlocality of the electron-energy spectrum
Feoktistov VA
,
Popov AM
,
Popovicheva OB
,
Rakhimov AT
,
Rakhimova TV
,
Volkova EA
в журнале
IEEE Transactions on Plasma Science
, издательство
Institute of Electrical and Electronics Engineers
(Piscataway, NJ, United States)
, том 19, № 2, с. 163-169
DOI
1991
Моделирование высокочастотного разряда с учетом пространственно-временной нелокальности энергетического спектра электронов
Волкова Е.А.
,
Попов А.М.
,
Поповичева О.Б.
,
Рахимова Т.В.
,
Феоктистов В.А.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
Наука
(М.)
, том 17, № 4, с. 481-488
1990
Effects of nonlocality of electron-energy spectrum in spatially-heterogeneous uhf field
Popov AM
,
Popovicheva OB
,
Rakhimova TV
,
Feoktistov VA
в журнале
ZHURNAL TEKHNICHESKOI FIZIKI
, том 60, № 9, с. 117-121
1990
Влияние пространственно-временной нелокальности энергетического спектра электронов на кинетические коэффициенты в плазме высокочастотного разряда
Волкова Е.А.
,
Попов А.М.
,
Поповичева О.Б.
,
Рахимова Т.В.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
Наука
(М.)
, том 16, № 6, с. 738-742
1990
Исследование возбуждения и диссоциации кислорода в смесях O2:He в тлеющем разряде
Абишев А.Б., Белов М.Л.,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
, Мурато Е.А.,
Попов А.М.
,
Поповичева О.Б.
,
Рахимов А.Т.
,
Рахимова Т.В.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
Наука
(М.)
, том 16, № 7, с. 844-853
1989
On an influence of the self-emission on kinetics of electron-beam-pumped excimer lasers
Popov AM
,
Popovicheva OB
,
Rakhimova TV
в журнале
KVANTOVAYA ELEKTRONIKA
, том 16, № 5, с. 1005-1008
1989
Влияние излучения оптического диапазона частот на развитие пробоя в постоянном электрическом поле
Попов А.М.
,
Поповичева О.Б.
,
Рахимова Т.В.
в журнале
Теплофизика высоких температур
, издательство
Наука
(М.)
, том 27, с. 173-174
1989
Возбуждение метастабильных состояний в кислород-азотной плазме
Васильева А.Н.
,
Гришина И.А.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
, Осипов А.П.,
Попов А.М.
,
Поповичева О.Б.
,
Рахимов А.Т.
,
Рахимова Т.В.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
Наука
(М.)
, том 15, № 2, с. 190-195
1989
Вынужденный тормозной эффект на атомах инертных газов
Попов А.М.
,
Поповичева О.В.
,
Померанцев В.Н.
,
Рахимова Т.В.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
Наука
(М.)
, том 15, № 3, с. 326-329
1989
Потенциальное рассеяние медленных электронов в поле лазерного излучения
Попов А.М.
,
Поповичева О.Б.
,
Померанцев В.Н.
,
Рахимова Т.В.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
Наука
(М.)
, том 15, № 1, с. 69-76
1989
Численное моделирование пробоя газов лазерным излучением
Попов А.М.
,
Поповичева О.Б.
,
Рахимова Т.В.
,
Феотистов В.А.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
Наука
(М.)
, том 15, № 11, с. 1398-1401
1988
Potential scattering of slow-electrons in a weak electromagnetic-field
Pomerantsev VN
,
Popov AM
,
Popovicheva OB
,
Rakhimova TV
,
Horacek J.
в журнале
Journal of Physics B: Atomic, Molecular and Optical Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 21, № 16, с. 2889-2899
DOI
1988
Кинетика процессов, возбуждаемых объемным самостоятельным разрядом в кислороде
Захаров А.И.
,
Клоповский К.С.
,
Осипов А.П.
,
Попов А.М.
,
Поповичева О.Б.
,
Рахимова Т.В.
,
Самородов В.А.
,
Соколов А.П.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
Наука
(М.)
, том 14, № 3, с. 327-333
1988
Теоретическое исследование оптического пробоя паров металлов лазерным излучением с большими квантами
Попов А.М.
,
Поповичева О.Б.
,
Рахимова Т.В.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
Наука
(М.)
, том 14, № 3, с. 373-377
1986
Investigation of kinetic processes in molecular nitrogen by the CARS technique
Devyatov A.A.,
Dolenko S.A.
, Rahkimov A.T.,
Rakhimova T.V.
,
Roi N.N.
,
Suetin N.V.
в журнале
Zhurnal Eksperimentalnoi I Teoreticheskoi Fiziki
, том 90, с. 429-436
1986
Исследование кинетических процессов в молекулярном азоте методом КАРС
Девятов А.А.
,
Доленко С.А.
,
Рахимов А.Т.
,
Рахимова Т.В.
,
Рой Н.Н.
,
Суетин Н.В.
в журнале
Журнал экспериментальной и теоретической физики
, том 90, № 2, с. 429-436
1985
FORMATION OF OZONE IN EXTERNALLY MAINTAINED DISCHARGES IN AIR AND OXYGEN
Klopovskii K.S.
,
Nechaev A.A.
,
Osipov A.P.
,
Persiantsev I.G.
,
Polyshkin V.M.
,
Rakhimova T.V.
,
Suetin N.V.
,
Timofeev M.A.
в журнале
High Energy Chemistry
, издательство
Pleiades Publishing, Ltd
(Road Town, United Kingdom)
, том 19, № 4, с. 305-308
1985
Kinetics of singlet oxygen generation in the low temperature plasma
Vasilieva A.N.
,
Grishina I.A.
,
Klopovsky K.S.
,
Kovalev A.S.
,
Osipov A.P.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Sov.J. Plasma Phys. (USA)
, том 11, № 2, с. 130-133
1985
Исследование процессов образования озона в несамостоятельном разряде в воздухе и кислороде
Клоповский К.С.
,
Нечаев А.А.
,
Осипов А.П.
,
Персианцев И.Г.
,
Полушкин В.М.
,
Рахимова Т.В.
,
Суетин Н.В.
,
Тимофеев М.А.
в журнале
Химия высоких энергий
, издательство
ИКЦ «Академкнига»
(Москва)
, том 19, № 4, с. 379-382
1985
Функция распределения электронов при оптическом пробое в плотном металлическом паре
Попов А.М.
,
Поповичева О.Б.
,
Рахимова Т.В.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
Наука
(М.)
, том 11, № 12, с. 1552-1556
1983
EXCITATION OF METASTABLE STATES OF OXYGEN MOLECULES IN A GAS-DISCHARGE
VELIKHOV EP
,
KLOPOVSKII KS
,
KOVALEV AS
,
OSIPOV AP
,
PERSIANTSEV IG
,
PISMENNYI VD
,
RAKHIMOV AT
,
RAKHIMOVA TV
в журнале
Doklady Akademii nauk SSSR
, издательство
Akademiia Nauk Sssr
(Russian Federation)
, том 273, № 3, с. 600-604
1982
THE EFFECT OF PLASMOCHEMICAL PROCESSES OF ELECTRONEGATIVE MOLECULE FORMATION ON THE PARAMETERS OF NON-SELF-MAINTAINED DISCHARGES
KLOPOVSKII KS
,
OSIPOV AP
,
PERSIANTSEV IG
,
RAKHIMOV AT
,
RAKHIMOVA TV
,
SUETIN NV
,
TIMOFEEV MA
в журнале
Doklady Akademii nauk SSSR
, издательство
Akademiia Nauk Sssr
(Russian Federation)
, том 267, № 3, с. 607-610
1976
EFFECT OF A HIGH-FREQUENCY ELECTROMAGNETIC-FIELD ON DEVELOPMENT OF OVERHEATING INSTABILITY IN A WEAKLY IONIZED GAS-DISCHARGE PLASMA
RAKHIMOVA TV
,
RAKHIMOV AT
в журнале
High Temperature
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 14, № 6, с. 1174-1177
1976
IONIZATION-INSTABILITY OF NON-SELF-SUSTAINED DISCHARGE DUE TO STEP IONIZATION
GOLUBEV SA,
KOVALEV AS
,
PISMENNYI VD
,
RAKHIMOV AT
,
RAKHIMOVA TV
в журнале
Doklady Akademii nauk SSSR
, издательство
Akademiia Nauk Sssr
(Russian Federation)
, том 228, № 1, с. 77-80
1975
Стационарный несамостоятельный газовый разряд в молекулярных смесях повышенного давления
Велихов Е.П.
, Голубев С.А.,
Ковалев A.C.
,
Персианцев И.Г.
,
Письменный В.Д.
,
Рахимов А.Т.
,
Рахимова Т.В.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
Наука
(М.)
, том 1, № 5, с. 847-853
1973
ELECTRON-TEMPERATURE IN A WEAKLY IONIZED PLASMA IN NONLINEAR SKIN EFFECT
Pismenny V.D.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Zhurnal Eksperimentalnoi I Teoreticheskoi Fiziki
, том 64, № 2, с. 498-504
1972
EFFECT OF PROTON BEAM ON GENERATION OF A CO2 GAS-LASER
GOLUBEV SA,
PISMENNY VD
,
RAKHIMOVA TV
,
RAKHIMOV AT
в журнале
Zhurnal Eksperimentalnoi I Teoreticheskoi Fiziki
, том 62, № 2, с. 458-465
Статьи в сборниках
2019
Analysis of nitrogen dissociation in nitrogen direct-current glow discharge
Chukalovsky A.A.
,
Rakhimova T.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Volynets A.V.
,
Lopaev D.V.
,
Popov N.A.
в сборнике
NONEQUILIBRIUM PROCESSES: VOLUME 1 KINETICS AND PLASMA
, место издания
TORUS PRESS Moscow
, том 1, с. 39-50
2019
The analysis of N2 dissociation in nitrogen direct-current glow discharge
Chukalovsky A.A.
,
Rakhimova T.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Volynets A.V.
,
Lopaev D.V.
,
Popov N.A.
в сборнике
NONEQUILIBRIUM PROCESSES: VOLUME 1 KINETICS AND PLASMA
, место издания
TORUS PRESS Moscow
, том 1, с. 39-50
DOI
2017
Reactive mechanisms of F atoms interactions with SiCF3 surface groups
Voronina E.N.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
в сборнике
Труды XXIII Международной конференции "Взаимодействие ионов с поверхностью" (ВИП-2017)
, издательство
НИЯУ МИФИ
(Москва)
, том 3, с. 236-239
2016
Plasma chemistry of ozone in DBD discharges
Abramovskaia E.A.
,
Kozlov K.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Poroykov A.Yu
,
Rakhimova T.V.
,
Voloshin D.G.
в сборнике
Proc. 15 Int. Symp. on High Pressure Low Temperature Plasma Chemistry
, место издания
Muni Press Brno, Czech Republic
, с. 217-220
2016
Влияние азота на энергоэффективность дисковых озонаторов
Зосимов А.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Поройков A.Ю.
,
Рахимова Т.В.
в сборнике
Сборник материалов 33-го Всероссийского научно-практического семинара «Озон и другие экологически чистые окислители: Наука и технологии», Москва, 25-26 июня 2014 г
, место издания
ООО "МАКС Пресс" Москва
, с. 116-124
2016
Плазмохимия озона в барьерном разряде
Абрамовская Е.А.
,
Волошин Д.Г.
,
Козлов К.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Поройков А.Ю.
,
Рахимова Т.В.
в сборнике
материалы 34 Всероссийской конференции "Озон и другие экологически чистые окислители.Наука и технологии"
, серия
ISBN 978-5 -317-05464-9
, издательство
ООО "МАКС Пресс"
(Москва)
, с. 170-176
2015
Peculiarities of O2(a1Δg) kinetics in reactions with H atoms
Chukalovsky A.
,
Klopovsky K.
,
Palov A.
,
Rakhimova T.
в сборнике
Proceedings of the 22nd International Symposium on Plasma Chemistry
, место издания
International Plasma Chemistry Society University of Antwerp, Belgium
, с. P-I-13-3
2013
Comparison of H2 and He carbon cleaning mechanisms in extreme ultraviolet induced and surface wave discharge plasmas
Dolgov A.
,
Lopaev D.
,
Rachimova T.
,
Kovalev A.
,
Vasilyeva A.
, Lee C.J.,
Krivtsun V.
,
Yakushev O.
, Bijkerk F.
в сборнике
arXiv preprint arXiv:1310.4057
2013
Effects of VUV and EUV Radiation on Ultra Low-k Materials Damage
Oleg Braginsky
,
Alexander Kovalev
,
Dmitry Lopaev
,
Yury Mankelevich
,
Olga Proshina
,
Tatyana Rakhimova
,
Alexander Rakhimov
,
Anna Vasilieva
,
Sergey Zyryanov
,
Mikhail Baklanov
в сборнике
MRS Online Proceedings Library
, издательство
Cambridge University Press
(United Kingdom)
, том 1559, с. mrss13-1559-aa03-11
DOI
2012
Magnetron sputtering of mosaic copper graphite cathodes
Pal A.F.
,
Rakhimova T.V.
,
Ryabinkin A.N.
,
Serov A.O.
в сборнике
In: VII Int. Conf. Plasma Physics and Plasma Technology. Contributed Papers
, место издания
Minsk, Belarus
, с. 17-21
2012
STUDY OF SINGLET DELTA OXYGEN O2(1Dg) IMPACT ON H2O2 MIXTURE IGNITION IN FLOW REACTOR
Chukalovsky A.A.
,
Klopovsky K.S.
,
Liberman M.A.
,
Mankelevich Yu A.
,
Popov N.A.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
в сборнике
Nonequilibrium Processes in Plasma, Combustion, and Atmosphere / Edited by A.M. Starik, S.M. Frolov
, место издания
TORUS PRESS Moscow
, с. 39-48
2011
Deflagration-to-Detonation Transition in Highly Reactive Combustible Mixtures
Liberman M.A.
,
Ivanov M.F.
,
Kiverin A.D.
,
Kuznetsov M.S.
,
Chukalovsky A.A.
,
Rakhimova T.V.
в сборнике
ICDERS 2011 Proceedings
, серия
23rd International Colloquium on the Dynamics of Explosions and Reactive Systems
, место издания
University of California, Irvine
, с. Paper #27
2011
Deflagration-to-Detonation Transition in Highly Reactive Combustible Mixtures
LIBERMAN M.A.
,
IVANOV M.F.
,
KIVERIN A.D.
,
KUZNETSOV M.S.
,
CHUKALOVSKY A.A.
,
RAKHIMOVA T.V.
в сборнике
28th International Symposium on Shock Waves
, место издания
Springer Berlin Heidelberg
, том 1, с. 331-336
DOI
2011
Two-dimensional Modeling of the Ignition Length Decrease in Hydrogen Mixture with Oxygen Excited in Electric Discharge
Chukalovsky A.A.
,
Klopovsky K.S.
,
Liberman M.A.
,
Mankelevich Yu A.
,
Popov N.A.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
в сборнике
ICDERS 2011 Proceedings
, серия
23rd International Colloquium on the Dynamics of Explosions and Reactive Systems
, место издания
University of California, Irvine
, с. Paper #206
2010
In-Line Plasma Cleaning of EUV Multilayer Mirrors
Malykhin E.M.
,
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Vasilieva A.N.
,
Zyryanov S.M.
,
Koshelev K.N.
,
Krivtsun V.M.
,
Yakushev O.F.
в сборнике
Bulletin of the American Physical Society, 63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas, October4-8 2010, Paris, France
, серия
7
, место издания
Paris, France
, том 55
2009
Interaction of О and Н Atoms with Low-K SiOCH Films Pretreated in He Plasma
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Y.A.
,
Malykhin E.M.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
,
Voloshin D.G.
,
Zyryanov S.M.
,
Baklanov M.R.
в сборнике
Materials Research Society Symposium Proceedings
, место издания
Materials Research Society
, том 1156
DOI
2009
Radical Production in RF CCP Discharge at 81 MHz Frequency in CHF3/Ar and CF4/Ar Mixtures. Theory and Experiment
Malykhin E.M.
,
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
,
Zyryanov S.M.
в сборнике
Proceedings of International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 19), July 27-31 2009, Bochum, Germany
, место издания
Bochum, Germany
, с. 362
2009
The Spatial Distribution of Radicals in the Dual Frequency (1.76 MHz /81 MHz) Capacitive Discharge in CHF3/Ar and CF4/Ar Mixtures
Braginsky O.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
,
Voloshin D.G.
в сборнике
Proceedings of International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 19), July 27-31 2009, Bochum, Germany
, место издания
Bochum, Germany
, с. 39
2008
Recombination Probabilities of О and Н Atoms on the Surface of Nanoporous Low-K SiOCH Dielectrics
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Malykhin E.M.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
,
Zyryanov S.M.
,
Baklanov M.R.
в сборнике
Proceedings of Advanced Metallization Conference (AMC), September 23-25 2008, San Diego California, USA, and October 8-10 2008, Tokyo, Japan
, место издания
San Diego California, USA, and Tokyo, Japan
2008
Пространственное распределение радикалов в плазме двухчастотного (1.76 МГц / 81 МГц) емкостного разряда в смесях CHF3/Ar и CF4/Ar. V Международный симпозиум по теоретической и прикладной плазмохии (3-8 сентября
Брагинский О.В.
,
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Лопаев Д.В.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Рахимов А.Т.
,
Шамирян Д.
в сборнике
Сборник трудов V Международного симпозиума по теоретической и прикладной плазмохии (3-8 сентября 2008, Иваново)
, место издания
Ивановский государственный химико-тенологический университет Иваново
, том 2, с. 506-509
2007
Mixing of post-discharge o2/he flow with no2/he flow: 3d modeling of experimental data
Rakhimova T.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Popov N.A.
,
Palov A.P.
, Carroll D.L.
в сборнике
Proceedings of SPIE
, серия
PROCEEDINGS OF SPIE - THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING
, место издания
S P I E - International Society for Optical Engineering SPIE, the International Society for Optical Engineering, Bellingham, WA, United States
, том 6346, с. 2
DOI
2006
Capacitive Coupled Single- and Dual-Frequency RF Plasma in Argon
Proshina O.V.
,
Braginsky O.V.
, Ivanov V.V.,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Vasilieva A.N.
в сборнике
59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC), 10-13 October 2006, Columbus, Ohio, USA
, место издания
Columbus, Ohio, USA
2006
Experimental and Theoretical Study of Ion Energy Distribution Function in the Single and Dual Frequency Capacitive Coupled RF Discharge in Argon Plasma
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Olevanov M.A.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Vasilieva A.N.
,
Voloshin D.G.
в сборнике
59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC), 10-13 October 2006, Columbus, Ohio, USA
, место издания
Columbus, Ohio, USA
2006
High Efficiency Singlet Oxygen Generator (SOG) Based on RF Discharge
Proshina O.V.
,
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Olevanov M.A.
,
Rakhimova T.V.
,
Vasilieva A.N.
в сборнике
59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC), 10-13 October 2006, Columbus, Ohio, USA
, место издания
Columbus, Ohio, USA
2006
Investigation of the Spatial Distribution Evolution of Electron Temperature in Capacitive Coupled Single- and Dual-Frequency RF Plasmas in Ar/O2 mixture over the RF Period
Belostotsky S.G.
,
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Vasilieva A.N.
в сборнике
59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC), 10-13 October 2006, Columbus, Ohio, USA
, место издания
Columbus, Ohio, USA
2006
Plasma Cleaning of Multilayer Coatings from Carbon and Tin Contaminations
Ivanov V.V.,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Vasilieva A.N.
,
Braginsky O.V.
в сборнике
International EUVL Symposium, 15 – 18 October 2006, Barcelona, Spain
, место издания
Barcelona, Spain
2006
Possible Mechanism of “Additional” Production of Hydrogen Negative Ions in a H2 Glow Discharge
Belostotsky S.G.
,
Economou D.J.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
в сборнике
59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC), 10-13 October 2006, Columbus, Ohio, USA
, место издания
Columbus, Ohio, USA
2006
Pressure Scaling of an Electro-Discharge Singlet Oxygen Generator (ED SOG)
Rakhimova T.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Vasilieva A.N.
,
Braginsky O.V.
,
Klopovsky K.S.
,
Popov N.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Kolobyanin Yu V.
в сборнике
Proceedings of GCL/HPL, Gmunden, Austria, September 4-8 2006
, место издания
Gmunden, Austria
DOI
2006
Singlet Oxygen Generator Operating at High Oxygen Pressure
Rakhimova T.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Kolobyanin Yu V.
,
Braginsky O.V.
,
Klopovsky K.S.
,
Popov N.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
в сборнике
Proceedings of 37-th AIAA Plasmadynamics and Lasers Conference
, место издания
San-Francisco
DOI
2005
Experimental and Theoretical Study of a Pressure Scaling Possibility of VHF Singlet Oxygen Generator
Rakhimova T.V.
,
Kovalev A.S.
,
Klopovsky K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Vasilieva A.N.
,
Braginsky O.V.
,
Popov N.A.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
в сборнике
Proceedings of 36-th AIAA Plasmadynamics and Lasers Conference
, место издания
AIAA Toronto, Canada
, с. 2005-4918
DOI
2005
Investigation of H- Formation in Plasma of DC Glow Discharge
Belostotsky S.G.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
в сборнике
Proceedings of XXVII International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXVII ICPIG), July 18 - 22 2005, Eindhoven, The Netherlands
, место издания
Eindhoven, The Netherlands
, с. 03-336
2005
New mechanism of O 2(a 1 Δ g) quenching in oxygen contained plasmas
Braginsky O.V.
,
Vasilieva A.N.
,
Klopovsky K.S.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Popov N.A.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
, Savin Yu V.
в сборнике
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
, с. 238-242
DOI
2004
Singlet Oxygen Generation in CW and Pulsed RF Discharges at 13.56 and 81 MHz
Rakhimova T.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Kovalev A.S.
,
Klopovsky K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Braginsky O.V.
,
Vasilieva A.N.
,
Popov N.A.
в сборнике
Proceedings of 35-th AIAA Plasma Dynamics and Lasers Conference, 28 June – 1 July 2004
, место издания
AIAA Portland, Oregon, USA
, с. 2004-2445
DOI
2004
Singlet Oxygen Generation in Gas Discharge for Oxygen-Iodine Laser Pumping
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Klopovsky K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Popov N.A.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
в сборнике
57-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC 2004), 26-29 September 2004, Bunratty, Ireland
, место издания
Bunratty, Ireland
2003
Radio-Frequency Plasma Generation of Singlet Oxygen in O2 and O2:Ar(He) Mixtures
Rakhimova T.V.
,
Kovalev A.S.
,
Braginsky O.V.
,
Klopovsky K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
в сборнике
Proceedings of 34-th AIAA Plasmadynamics and Lasers Conference
, место издания
AIAA Orlando, Florida USA
, с. 23-26
DOI
2002
Efficiency of Singlet Oxygen Pumping in Plasma. I. Production of O2(a(1)Delta(g)) in Non-Selfsustained Discharge Controlled by Electron Beam
Kovalev A.S.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilyeva A.N.
в сборнике
Conference Proceedings of ESCAMPIG 16th – ICRP 5th, 14-18 July 2002, Grenoble, France
, место издания
Grenoble, France Grenoble, France
, том 2, с. 41-42
2002
Efficiency of Singlet Oxygen Pumping in Plasma. II. The O2(a(1)Delta(g)) and O2(b(1)Sigma(+)(g)) Production in Glow Discharge
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
в сборнике
Conference Proceedings of ESCAMPIG 16th – ICRP 5th, 14-18 July 2002, Grenoble, France
, место издания
Grenoble, France Grenoble, France
, том 2, с. 39-40
2002
Polarizational Mechanism of Dusty Particles Interaction in Plasma
Lopaev D.
,
Mankelevich Y.
,
Olevanov M.
,
Rakhimova T.
в сборнике
Conference Proceedings of ESCAMPIG 16th – ICRP 5th, 14-18 July 2002, Grenoble, France
, место издания
Grenoble, France Grenoble, France
, том 2, с. 63-64
2002
Production and Loss of CF2 and CF Radicals at the Polymerization in CF4 Plasma
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Rulev G.B.
в сборнике
Proceedings of SPIE: Selected research papers on “Spectroscopy of Non-equilibrium Plasma at Elevated Pressures” ed. by Vladimir N. Ochkin
, том 4460, с. 74-89
DOI
2002
Surface Recombination of O and H Atoms under the Discharge Conditions
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
, Smirnov A.V.
в сборнике
Conference Proceedings of ESCAMPIG 16th – ICRP 5th, 14-18 July 2002, Grenoble, France
, место издания
Grenoble, France
, том 1, с. 171-172
1999
An investigation of the ozone production at the process of the UV photodecomposition of the oxygen
Ivanov V.V.
,
Klopovsky K.S.
,
Popov N.A.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Rulev G.B.
,
Saenko V.B.
в сборнике
INTERNATIONAL CONFERENCE ON PHENOMENA IN IONIZED GAS, PROCEEDINGS
, место издания
POLISH ACAD SCIENCES, SPACE RESEARCH CENTRE WARSAW, POLAND
, том 1, с. 213-214
1999
CF- and CF2- Radicals Production by the Electron Impact Dissociation of CF4 Molecules in Gas Discharge Plasma
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Rulev G.B.
в сборнике
Proceedings of 14-th International Symposium on Plasma Chemistry, August 2-6 1999, Prague, Czech Republic
, место издания
Prague, Czech Republic
, том 5, с. 2301-2306
1999
CF2 Production by the Electron Impact Dissociation of CF4 Molecules in Gas Discharge Plasma
Ivanov V.V.,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Rulev G.B.
в сборнике
ICPIG XXIV, Proceedings of contributed papers, 11-16 July 1999, Warsaw, Poland
, место издания
Warsaw, Poland
, том 4, с. 39-40
1999
CF2 production by CF4 electron impact dissociation in gas discharge
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в сборнике
ADVANCED TECHNOLOGIES BASED ON WAVE AND BEAM GENERATED PLASMAS
, серия
NATO ADVANCED SCIENCE INSTITUTE SERIES, SUB-SERIES 3, HIGH TECHNOLOGY
, место издания
SPRINGER, PO BOX 17, 3300 AA DORDRECHT, NETHERLANDS
, том 67, с. 471-472
DOI
1999
Heterogeneous Quenching of O2(1Delta(g)) in H2:O2 Mixture
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в сборнике
ICPIG XXIV, Proceedings of contributed papers, 11-16 July 1999, Warsaw, Poland
, место издания
Warsaw, Poland
, том 1, с. 9-10
1999
Production and Decay of CF Radicals in CF4 Discharge
Ivanov V.V.,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Rulev G.B.
в сборнике
ICPIG XXIV, Proceedings of contributed papers, 11-16 July 1999, Warsaw, Poland
, место издания
Warsaw, Poland
, том 4, с. 65-66
1999
Spatial Distribution and Kinetics of Negative Ions in Glow DC Discharge in Pure O2 and H2
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в сборнике
Advanced Technologies Based on Wave and Beam Generated Plasma. NATO Science Series. Subseries 3: High Technology. Ed. by H.Schluter and A.Shivarova
, серия
3. High Technology
, место издания
Springer Netherlands
, том 67, с. 495-496
DOI
1999
Spatial Distribution and Kinetics of Negative Ions in H2 Glow DС Discharge
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Popov N.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в сборнике
ICPIG XXIV, Proceedings of contributed papers, 11-16 July 1999, Warsaw, Poland
, место издания
Warsaw, Poland
, том 3, с. 73-74
1999
The Production of CF Radicals in Plasma of Discharge in Pure CF4
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Rulev G.B.
в сборнике
Proceedings of 12-th Symposium on Application of Plasma Processes, SAPP-12. February 9-13 1999. Liptovsky Jan, Slovakia
, место издания
Liptovsky Jan, Slovakia
, с. 176-177
1999
The Rate Constants of CF4 Dissociation by Electronic Impact with Production of CF2 and CF Radicals
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Rulev G.B.
в сборнике
Proceedings of 12-th Symposium on Application of Plasma Processes, SAPP-12. February 9-13 1999. Liptovsky Jan, Slovakia
, место издания
Liptovsky Jan, Slovakia
, с. 180-181
1998
"Убегающие" электроны как эффективный источник радикалов
Иванов В.В.,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Прошина О.В.
,
Суетин Н.В.
,
Рахимов А.Т.
,
Рахимова Т.В.
в сборнике
Всероссийская научно-техническая конференция МИКРО- И НАНО- ЭЛЕКТРОНИКА 98, Звенигород
, том 1, с. 01-03
1998
CF2 Production by CF4 Electron Impact Dissociation in Gas Discharge
Ivanov V.V.,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в сборнике
Advanced Technologies Based on Wave and Beam Generated Plasma. NATO Science Series. Subseries 3: High Technology. Ed. by H.Schluter and A.Shivarova
, серия
3
, том 67, с. 471-472
1998
CF2 Production by the Electron Impact Dissociation of CF4 Molecules in Gas Discharge Plasma
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Popov N.A.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Slovetskiy D.I.
,
Volynets V.N.
в сборнике
11th Symposium on elementary processes and chemical reactions in low temperature plasma, Book of contributed papers, June 22-26 1998, Low Tatras
, серия
Part 1
, место издания
Low Tatras
, с. 98-101
1998
Investigation of Hetero- And Homogeneous Processes with O2(a1g) at Mixing H2 and O2 in a Fast-Flow Reactor
Balandin A.A.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Popov N.A.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в сборнике
11th Symposium on elementary processes and chemical reactions in low temperature plasma, Book of contributed papers, June 22-26 1998, Low Tatras
, серия
Part 1
, место издания
Low Tatras
, с. 23-26
1998
Nonlocal Effects in Stationary and Non-Stationary Discharges
Ivanov V.V.
,
Klopovsky K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в сборнике
Electron Kinetics and Applications of Glow Discharges, Ed. by U.Kortshagen and L.D.Tsendin
, серия
NATO Science Series B: Physics
, место издания
Springer USA
, том 367, с. 37-58
DOI
1998
Образование радикалов CF2 при диссоциации молекул CF4 в плазме газового разряда
Иванов В.В.
,
Клоповский К.С.
,
Лопаев Д.В.
,
Прошина О.В.
,
Рахимов А.Т.
,
Рахимова Т.В.
,
Словецкий Д.И.
,
Волынец В.Н.
в сборнике
Материалы конференции по физике низкотемпературной плазмы ФНТП-98, Петрозаводск, 22-27 июня 1998
, место издания
Петрозаводск
, том 1, с. 30-34
1997
Experimental and Theoretical Investigation of Negative Ion Spatial Distribution in Oxygen DC Discharge
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Rulev G.B.
в сборнике
ICPIG XXIII, Proceedings of contributed papers, 17-22 July 1997, Toulouse, France
, место издания
Toulouse, France
, том 1, с. 86-87
1997
Experimental and Theoretical Study of the Non-Locality Effects of Electron Energy Spectrum in O2 DC Glow Discharge
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Popov A.M.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в сборнике
ICPIG XXIII, Proceedings of contributed papers, 17-22 July 1997, Toulouse, France
, место издания
Toulouse, France
, том 2, с. 28-29
1997
The Influence of the Low Energy Vibrational Excitation on the Electron Dissociative Attachment Coefficient in Pure Ozone
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Popov N.A.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в сборнике
ICPIG XXIII, Proceedings of contributed papers, 17-22 July 1997, Toulouse, France
, место издания
Toulouse, France
, том 1, с. 88-89
1997
VUV Emission Generation at Helium Plasma Recombination
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Kopytin A.A.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в сборнике
ICPIG XXIII, Proceedings of contributed papers, 17-22 July 1997, Toulouse, France
, место издания
Toulouse, France
, том 3, с. 40-41
1996
Effect of Ion Heating in the Axial Field on the Electron and Ion Radial Profiles in CF4 DC Discharge
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Slovetsky D.I.
,
Volynets V.N.
в сборнике
ESCAMPIG 96, August 27-30 1996
, серия
20E, Part A
, место издания
Poprad, Slovakia
, с. 169-170
1996
Formation of CF2 Radicals in Plasma of Pure CF4
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в сборнике
ESCAMPIG 96, August 27-30 1996
, серия
20E, Part A
, место издания
Poprad, Slovakia
, с. 333-334
1996
Recombination of O(3P) Atoms on the Tube Walls in Oxygen DC Discharge
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в сборнике
ESCAMPIG 96, August 27-30 1996
, серия
20E, Part A
, место издания
Poprad, Slovakia
, с. 77-78
1996
The Experimental and Theoretical Investigation of Low Pressure DC Discharge in Pure Oxygen
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Muratov E.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в сборнике
ESCAMPIG 96, August 27-30 1996
, серия
20E, Part A
, место издания
Poprad, Slovakia
, с. 167-168
1996
The Experimental and Theoretical Investigation of Nonlocality Effects of Electron Energetic Spectrum in Oxygen Glow Discharge
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Muratov E.A.
,
Popov A.M.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в сборнике
ESCAMPIG 96, August 27-30 1996
, серия
20E, Part A
, место издания
Poprad, Slovakia
, с. 121-122
1995
Образование и дезактивация синглетного кислорода в сильно неравновесных условиях
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Лопаев Д.В.
,
Попов Н.А.
,
Рахимов А.Т.
,
Рахимова Т.В.
в сборнике
ФНТП-95, 20-26 июня 1995
, серия
1
, место издания
Петрозаводск
, с. 51-52
1995
Образование синглетного кислорода в процессах с участием электронно- и колебательно-возбужденного озона
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Лопаев Д.В.
,
Попов Н.А.
,
Рахимов А.Т.
,
Рахимова Т.В.
в сборнике
ISTAPC-95, 22-26 мая 1995
, место издания
Иваново
, с. 46-49
1991
Механизм эффективного возбуждения синглетного кислорода в азотно-кислородной плазме
Ковалев А.С.
,
Клоповский К.С.
,
Лопаев Д.В.
,
Рахимова Т.В.
, и др.
в сборнике
VIII Всесоюзная конференция по физике низкотемпературной плазмы
, место издания
Минск
, том 1, с. 41
Книги
2000
Self-consistent numerical model for dc discharge in oxygen
Ivanov V.V.
,
Klopovsky K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
место издания
Preprint of Institute of Nuclear Physics of Moscow State University MSU Press
, ISBN 2000-16/620, 29 с.
2000
Самосогласованная численная модель разряда постоянного тока в кислороде. Препринт НИИЯФ МГУ №2000-16/620
Иванов В.В.
,
Клоповский К.С.
,
Лопаев Д.В.
,
Прошина О.В.
,
Рахимов А.Т.
,
Рахимова Т.В.
место издания
Издательство МГУ Москва
, 29 с.
1997
Исследование генерации в газовых разрядах интенсивного ультрафилднтового излучения для эффективного воэбуждения люминофоров. Препринт НИИЯФ МГУ – № 97- 49/500
Иванов В.В.
, Ивлюшкин А.Н.,
Клоповский К.С.
,
Манкелевич Ю.А.
, Пирогов В.Г.,
Прошина О.В.
,
Рахимов А.Т.
,
Рахимова Т.В.
,
Рой Н.Н.
, Рулев Г.Б.,
Саенко В.Б.
место издания
НИИЯФ МГУ Москва
, 43 с.
1994
2-D zonal averaged model for the polar ozone depletion problem. Part 1. Preprint № 94-32/354
Klopovsky K.S.
,
Mankelevich Yu A.
,
Popov A.M.
,
Popov N.A.
,
Popovicheva O.B.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
место издания
НИИЯФ МГУ Москва
, 56 с.
1994
2-D zonal averaged model for the polar ozone depletion problem. Part 2. Preprint № 94-33/355
Klopovsky K.S.
,
Mankelevich Yu A.
,
Popov A.M.
,
Popov N.A.
,
Popovicheva O.B.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
место издания
НИИЯФ МГУ Москва
, 48 с.
Доклады на конференциях
2021
Теоретическое и экспериментальное исследование кинетических процессов в индукционном разряде в смеси Ar/Cl2
(Устный)
Авторы:
Волошин Д.Г.
,
Кропоткин А.Н.
,
Лопаев Д.В.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Рахимова Т.В.
,
Амиров И.И.
IX Международный симпозиум по теоретической и прикладной плазмохимии
, Иваново, Россия, 13-17 сентября 2021
2021
Filling the Gaps in Our Understanding of Plasmas in Simple Diatomic Gases-Combining a DC Plasma in Pure O2 with Multiple Advanced Diagnostics for Experimental Validation of Simulations
(Устный)
Авторы:
Booth J.P.
,
Chatterjee A.
,
Guaitella O.
,
Lopaev D.
,
Zyryanov S.
,
Rakhimova T.
,
Voloshin D.
,
Oliveira N.
,
Nahon L.
IS Plasma 2021
, Nagoya, Япония, 7-11 марта 2021
2020
КОМПЛЕКСНАЯ ДИАГНОСТИКА ПАРАМЕТРОВ ПЛАЗМЫ АРГОНА ВЧ ИНДУКЦИОННОГО РАЗРЯДА В РЕАКТОРЕ С УДАЛЕННЫМ ИСТОЧНИКОМ ПЛАЗМЫ
(Устный)
Авторы:
Волошин Д.Г.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Лопаев Д.В.
,
Изюмов М.О.
,
Амиров И.И.
,
Рахимова Т.В.
Всероссийская (с международным участием) конференция "Физика низкотемпературной плазмы" (ФНТП – 2020)
, Казань, Россия, 9-13 ноября 2020
2020
A NEW LOOK AT OXYGEN PLASMAS-QUANTITATIVE SPECTROSCOPY FOR RIGOROUS TESTING OF MODELS
(Устный)
Авторы:
Booth J-P
,
Chatterjee A.
,
Guaitella O.
,
Lopaev DV
,
Zyryanov SM
,
Rakhimova TV
,
Voloshin DG
,
de Oliveira N.
,
Nahon L.
International Symposium on the Physics of Ionized Gases
, Белград, Сербия, 24-27 августа 2020
2019
Oxygen atom and negative ion densities and kinetics by cavity ringdown spectroscopy
(Устный)
Авторы:
Booth J.P.
,
Chatterjee A.
,
Guaitella O.
,
Zyryanov S.
,
Lopaev D.
,
Rakhimova T.
,
Ritchie G.
The 72nd Annual Gaseous Electronics conference
, College Station, Texas, США, 28 октября - 1 ноября 2019
2019
Etching of OSG low-k films in CF4 plasma at different temperatures
(Стендовый)
Авторы:
Alexander Palov
,
Ekaterina Voronina
,
Tatyana Rakhimova
,
Olga Proshina
,
Yuri Mankelevich
ADMETA plus 2019
, Токио, Япония, 10-11 октября 2019
2019
Ion composition and energy spectra in Ar/H2 CCP discharges
(Устный)
Авторы:
Bogdanova M.
,
Lopaev D.
,
Voloshin D.
,
Rakhimova T.
,
Zyryanov S.
9th Radio-Frequency Discharge Workshop
, Дублин, Ирландия, 24-25 июня 2019
2019
Vacuum ultraviolet absorption spectroscopy of oxygen discharges
(Устный)
Авторы:
Jean-Paul Booth
,
Chatterjee Abhyuday
,
Guaitella Olivier
,
de Oliveira N.
,
Nahon L.
,
Lopaev Dmitry
,
Zyruyanov S.
,
Rakhimova Tatyana
Journées de la Spectroscopie Moléculaire
, Кретей, Франция, 21-23 мая 2019
2019
Dry Cleaning of Transition-Metal Dichalcogenides Using Reducing Downstream Plasma
(Устный)
Авторы:
Marinov D.
,
de Marneffe J.F.
,
Voronina E.N.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
Plasma Etch and Strip for Microtechnology workshop (PESM 2019)
, Гренобль, Франция, 20-21 мая 2019
2019
Pore sealing in low-k dielectrics by low-energy ions
(Устный)
Авторы:
Voronina E.N.
,
Lopaev D.V.
,
Sycheva A.A.
,
Rakhimova T.V.
,
Mankelevich Yu A.
Plasma Etch and Strip for Microtechnology workshop (PESM 2019)
, Гренобль, Франция, 20-21 мая 2019
2019
Understanding the interaction mechanisms between amorphous carbon sacrificial patterning material and H2 plasma to enable area-selective ALD processes
(Устный)
Авторы:
Zyulkov I.
,
Voronina E.N.
,
Chan BT
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
,
De Gendt S.
,
Armini S.
Plasma Etch and Strip for Microtechnology workshop (PESM 2019)
, Гренобль, Франция, 20-21 мая 2019
2019
A comprehensive diagnostic study of a DC positive column in O2: a test-bed for models of plasmas in a diatomic gas
(Устный)
Авторы:
J-P Booth
,
Chatterjee A.
,
Guaitella O.
,
Drag C.
,
de Oliveira N.
,
Nahon L.
,
Lopaev D.
,
Zyryanov S.
,
Voloshin D.
,
Rakhimova T.
13-th Frontiers in low Temperature plasma diagnostics & 1-th Frontiers in low Temperature plasma simulation
, Bad Honnef, Германия, 13-16 мая 2019
2019
Novel diagnostics to unravel fundamental processes in oxygen plasmas
(Устный)
Авторы:
J-P Booth
,
Chatterjee A.
,
Guaitella O.
,
Drag C.
,
Lopaev D.
,
Zyryanov S.
,
Rakhimova T.
,
de Oliveira N.
,
Nahon L.
,
Western C.
7th International Conference on Advanced Plasma Technologies (ICAPT-7)
, Hue, Вьетнам, 24 февраля - 1 марта 2019
2018
Density of metastable O2 (b1Σ +) molecules in an O2 DC discharge measured by vacuum ultraviolet absorption and optical emission spectroscopy
(Стендовый)
Авторы:
JEAN-PAUL BOOTH
,
ABHYUDAY CHATTERJEE
,
OLIVIER GUAITELLA
,
DMITRY LOPAEV
,
LAURENT NAHON
,
TATYANA RAKHIMOVA
,
DMITRY VOLOSHIN
,
YURI MANKELEVICH
,
OLIVEIRA NELSON DE
,
SERGEY ZYRYANOV
The 71st Annual Gaseous Electronics Conference, Co-Located with the 60th Annual meeting of the APS Division of Plasma Physics, (November 5 - 9, 2018, Portland, USA)
, Portland, США, 5-9 ноября 2018
2018
O atom kinetics in RF CCP oxygen plasma at increased pressures
(Устный)
Авторы:
Волынец А.В.
,
Лопаев Д.В.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Рахимов А.Т.
The 71st Annual Gaseous Electronics Conference, Co-Located with the 60th Annual meeting of the APS Division of Plasma Physics, (November 5 - 9, 2018, Portland, USA)
, Portland, США, 5-9 ноября 2018
2018
Role of VUV emission in etching of OSG low-k film by CF3+
(Стендовый)
Авторы:
Alexander Palov
,
Ekaterina Voronina
,
Yuri Mankelevich
,
Olga Proshina
,
Tatyana Rakhimova
Advanced Metallization Conference 2018
, Пекин, Китай, 10-13 октября 2018
2018
The analysis of N2 dissociation in nitrogen DC glow discharge
(Устный)
Авторы:
Mankelevich Yu A.
,
Volynets A.V.
,
Lopaev D.V.
,
Popov N.A.
,
Chukalovsky A.A.
,
Rakhimova T.V.
The International Symposium on Nonequilibrium Processes, Plasma, Combustion and Atmospheric Phenomena (NEPCAP 2018)
, Sochi, Россия, 1-5 октября 2018
2018
Sputtering of MoS2 by argon atoms
(Устный)
Авторы:
Palov A.
,
Rakhimova T.
,
Voronina E.
16th International Conference on Plasma Surface Engineering
, Garmisch-Partenkirchen, Германия, 17-21 сентября 2018
2018
Direct dynamic DFT simulation of the N atom interaction with Si–CHxNy groups on low-k SiOCH films
(Стендовый)
Авторы:
Rakhimova T.V.
,
Sycheva A.A.
,
Mankelevich Yu A.
,
Voronina E.N.
MOLEC 2018
, Dinard, Франция, 26-31 августа 2018
2018
Dynamic DFT study of interaction of H radicals with MoS2 monolayer
(Стендовый)
Авторы:
Voronina E.N.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
,
Sycheva A.A.
MOLEC 2018
, Dinard, Франция, 26-31 августа 2018
2018
Features of oxygen metastable kinetics in O2 plasma with increasing pressure
(Устный)
Авторы:
Lopaev D.V.
,
Volynets A.V.
,
Chukalovsky A.A.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
International Conference on Combustion Physics and Chemistry
, Самара, Россия, 24-28 июля 2018
2018
N2 dissociation and kinetics of N(4S) atoms in nitrogen DC glow discharge
(Устный)
Авторы:
Volynets A.V.
,
Lopaev D.V.
,
Chukalovsky A.A.
,
Rakhimova T.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Popov N.A.
International Conference on Combustion Physics and Chemistry
, Самара, Россия, 24-28 июля 2018
2018
Role of porosity and pore size in structural changes of nanoporous silicon-based materials under low-energy ion irradiation
(Устный)
Авторы:
Voronina E.N.
,
Sycheva A.A.
,
Rakhimova T.V.
3rd International Summer School on the Physics of Plasma-Surface Interactions
, National Research Nuclear University "MEPhI", Россия, 16-20 июля 2018
2018
Исследование структурных изменений нанопористых Si-содержащих материалов в процессе их физического распыления ионами Ar низких энергий
(Стендовый)
Авторы:
Воронина Е.Н.
,
Сычева А.А.
,
Рахимова Т.В.
XLVIII Международная Тулиновская Конференция по Физике Взаимодействия Заряженных Частиц с Кристаллами
, МГУ им. Ломоносова, Россия, 29-31 мая 2018
2017
O atom kinetics in RF CCP oxygen plasma at increased pressures
(Устный)
Авторы:
Proshina O.
,
Rakhimova T.
,
Rakhimov A.
,
Lopaev D.
,
Volynets A.
70th Annual Gaseous Electronics Conference
, Pittsburgh, Pennsylvania, США, 6-10 ноября 2017
2017
DFT simulations of fluorine and chlorine atoms and molecules interactions with MoS2 monolayer
(Устный)
Авторы:
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
,
de Marneffe J.F.
,
Heyne M.
, Marinov D.,
Voronina E.N.
Plasma Etch and Strip for Microtechnology (PESM) workshop
, Лёвен, Бельгия, 18-20 октября 2017
2017
Direct dynamic DFT study of possible reaction mechanism of low-k SiOCH films with nitrogen atoms
(Стендовый)
Авторы:
Voronina E.N.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
WATOC 2017 - 11th Triennial Congress of the World Association of Theoretical and Computational Chemists
, Мюнхен, Германия, 27 августа - 1 сентября 2017
2017
Reactive mechanisms of F atoms interactions with SiCF3 surface groups
(Стендовый)
Авторы:
Voronina E.N.
,
Rakhimova T.V.
,
Mankelevich Yu A.
23-я Международная конференция "Взаимодействие ионов с поверхностью (ВИП-2017)"
, Москва, Россия, 21-25 августа 2017
2017
3D Monte Carlo model of etching low-k films by F atoms
(Стендовый)
Авторы:
Alexander Palov
,
Yuri Mankelevich
,
Ekaterina Voronina
,
Tatyana Rakhimova
The 14th International Symposium on Sputtering and Plasma Processes (ISSP)
, Kanazawa Institute of Technology, Ishikawa, Япония, 5-7 июля 2017
2017
3D Monte Carlo model of sputtering low-k films by Ar atoms
(Стендовый)
Авторы:
Alexander Palov
,
Tatyana Rakhimova
,
Ekaterina Voronina
The 14th International Symposium on Sputtering and Plasma Processes (ISSP)
, Kanazawa Institute of Technology, Ishikawa, Япония, 5-7 июля 2017
2017
Диссоциация О2 электронным ударом в плазме
(Устный)
Авторы:
Guaitella O.
,
Booth J.P.
,
Chatterjee A.
,
Лопаев Д.В.
,
Зырянов С.М.
,
Рахимова Т.В.
,
Волошин Д.Г.
Всероссийская (с международным участием) конференция "Физика низкотемпературной плазмы ФНТП-2017"
, Казань, Россия, 5-9 июня 2017
2017
Комплексное изучение объемной плазмохимии емкостных ВЧ-разрядов в смесях CF4/Ar и CHF3/Ar
(Устный)
Авторы:
Зотович А.И.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Зырянов С.М.
,
Лопаев Д.В.
Всероссийская (с международным участием) конференция "Физика низкотемпературной плазмы ФНТП-2017"
, Казань, Россия, 5-9 июня 2017
2017
Поток и энергетическое распределение ионов на электроде в двухчастотном ВЧЕ разряде
(Устный)
Авторы:
Зырянов С.М.
,
Богданова М.А.
,
Волошин Д.Г.
,
Рахимова Т.В.
,
Лопаев Д.В.
Всероссийская (с международным участием) конференция "Физика низкотемпературной плазмы ФНТП-2017"
, Казань, Россия, 5-9 июня 2017
2016
Multi-step reactions mechanism of F and N atoms interactions with SiOCH low-k films
(Стендовый)
Авторы:
Mankelevich Yu A.
,
Voronina E.N.
,
Rakhimova T.V.
,
Baklanov M.R.
,
Lopaev D.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Palov A.P.
XXI European Conference on Dynamics of Molecular Systems (MOLEC 2016)
, Toledo, Испания, 11-16 сентября 2016
2016
Plasma chemistry of ozone in DBD discharges.
(Стендовый)
Авторы:
Abramovskaia E.A.
,
Kozlov K.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Poroykov A.Yu
,
Rakhimova T.V.
,
Voloshin D.G.
15 International Symposium on High Pressure Low Temperature Plasma Chemistry (Hakone-XV)
, Brno, Чехия, 11-16 сентября 2016
2016
Quantum-mechanical binary approach: sputtering of amorphous Si by Ar atoms
(Стендовый)
Авторы:
Voronina E.N.
,
Rakhimova T.V.
,
Palov A.P.
XXI European Conference on Dynamics of Molecular Systems (MOLEC 2016)
, Toledo, Испания, 11-16 сентября 2016
2016
Experimental and ab initio study of nitrogen atoms interaction with SiOCH low-k films
(Стендовый)
Авторы:
Mankelevich Yu A.
,
Voronina E.N.
,
Rakhimova T.V.
,
Baklanov M.R.
,
Lopaev D.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Zotovich A.I.
,
Palov A.P.
International Conference on Many Particle Spectroscopy of Atoms, Molecules, Clusters and Surfaces (MPS2016)
, Москва, Россия, 23-26 августа 2016
2016
Fluorine atoms interaction with the nanoporous materials: Experiment and ab initio simulation
(Устный)
Авторы:
Mankelevich Yu A.
,
Voronina E.N.
,
Rakhimova T.V.
,
Baklanov M.R.
,
Lopaev D.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Palov A.P.
International Conference on Many Particle Spectroscopy of Atoms, Molecules, Clusters and Surfaces (MPS2016)
, Москва, Россия, 23-26 августа 2016
2016
Comprehensive study of CF4/Ar and CHF3/Ar DF CCP discharges
(Устный)
Авторы:
Lopaev D.V.
,
Zotovich A.
,
Rakhimova T.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Proshina O.V.
ESCAMPIG XXIII
, Словакия, 12-16 июля 2016
2016
Плазмохимия озона в барьерном разряде
(Стендовый)
Авторы:
Абрамовская Е.А.
,
Волошин Д.Г.
,
Козлов К.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Поройков А.Ю.
,
Рахимова Т.В.
34-ая Всероссийская конференция по озону «Озон и другие экологически чистые окислители. Наука и технологии»
, Москва, Россия, 29-30 июня 2016
2015
Interaction of atomic fluorine with porous low-k SiOCH films: modeling
(Стендовый)
Авторы:
Palov A.
,
Voronina E.
,
Lopaev D.
,
Baklanov M.
,
Rakhimova T.
,
Zyryanov S.
,
Proshina O.
,
Mankelevich Yu
ISPC 2015 22nd International Symposium on Plasma Chemistry
, Антверпен, Бельгия, 5-10 июля 2015
2015
Low-k OSG damage and etching by F atoms at lowered temperatures
(Стендовый)
Авторы:
Zyryanov S.
,
Kurchikov K.
,
Lopaev D.
,
Mankelevich Yu
,
Baklanov M.
,
Rakhimova T.
,
Voronina E.
,
Novikova N.
,
Palov A.
ISPC 2015 22nd International Symposium on Plasma Chemistry
, Антверпен, Бельгия, 5-10 июля 2015
2015
Comparison between Vacuum Ultra-Violet emission of CF4/Ar and CF3I/Ar plasmas in CCP chamber for low-k etching
(Стендовый)
Авторы:
Zotovich Alexey I.
,
Otell Ziad el
,
de Marneffe Jean-Francois
,
Baklanov Mikhail R.
,
Lopaev Dmitry V.
,
Rakhimova Tatyana V.
,
Proshina Olga V.
PESM 2015
, Leuven, Бельгия, 27-28 апреля 2015
2015
Effect of VUV photons on low-k OSG damage and etching by F atoms at the lowered temperature
(Устный)
Авторы:
Rakhimova T.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Lopaev D.V.
,
Baklanov M.R.
,
Zyryanov S.M.
,
Zotovich A.I.
,
Kurchikov K.A.
PESM 2015
, Leuven, Бельгия, 27-28 апреля 2015
2014
Evaluation of plasma density in CCP RF discharges by planar Langmuir probe: experiment and numerical simulation
Авторы:
Voloshin D.
,
Rakhimova T.
,
Mankelevich Yu
,
Kovalev A.
,
Vasilieva A.
,
Proshina O.
The XXII Europhysics Conference on Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases
, Greifswald, Germany, Германия, 2014
2014
Mechanisms of DC magnetron sputtering of copper-graphite mosaic targets
(Стендовый)
Авторы:
Mitin V.S.
,
Mankelevich Yu A.
,
Serov A.O.
,
Rakhimova T.V.
,
Ryabinkin A.N.
,
Pal A.F.
The XXII Europhysics Conference on Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases
, Greifswald, Germany, Германия, 2014
2014
ОПРЕДЕЛЕНИЕ ПЛОТНОСТИ ПЛАЗМЫ В ВЧ ЕМКОСТНЫХ РАЗРЯДАХ ПО ДАННЫМ ИОННОГО ТОКА НА ЛЕНГМЮРОВСКИЙ ЗОНД: ЭКСПЕРИМЕНТ И ЧИСЛЕННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ
Авторы:
Волошин Д.Г.
,
Рахимова Т.В.
,
Ковалев А.С.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Васильева А.Н.
,
Прошина О.В.
XLI Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС, 10 – 14 февраля 2014 г.
, г. Звенигород, 2014
2014
Влияние азота на энергоэффективность дисковых озонаторов
(Стендовый)
Авторы:
Манкелевич Ю.А.
,
Зосимов А.В.
,
Поройков A.Ю.
,
Рахимова Т.В.
33 Всероссийский семинар по озону. Озон и другие экологически чистые окислители. Наука и технологии
, Москва, Россия, 25-26 июня 2014
2014
Упругое рассеяние атома кислорода на атоме кремния в диапазоне энергий 0.01-100 эВ
(Стендовый)
Авторы:
Сычева А.А.
,
Рахимова Т.В.
,
Палов А.П.
XLI Международная Звенигородская конференция по физике плазмы и управляемому термоядерному синтезу, 10-14 февраля 2014, г. Звенигород
, г. Звенигород, Россия, 10-14 февраля 2014
2013
Evaluation of plasma density in CCP RF discharges by Langmuir probe: experiment and numerical simulation
Авторы:
Voloshin D.
,
Rakhimova T.
,
Mankelevich Yu
,
Proshina O.
,
Kovalev A.
,
Vasilieva A.
,
Braginsky O.
4th Workshop on Radio Frequency Discharges
, Presqu'île de Giens France, Франция, 2013
2013
PeculIarities of the kinetics in H2-O2-O2(1Dg) mixtures
(Стендовый)
Авторы:
Chukalovsky A.A.
,
Klopovsky K.S.
,
Rakhimova T.V.
5th Central European Symposium on Plasma Chemistry (CESPC)
, Balatonalmádi, Hungary, Венгрия, 2013
2013
Oxygen Atom Recombination in the Presence of Singlet Molecular Oxygen
(Стендовый)
Авторы:
Azyazov V.N.
,
Chukalovsky A.A.
,
Heaven M.C.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Klopovskiy K.S.
32nd International Symposium on Free Radicals
, Potsdam, Германия, 21-26 июля 2013
2013
1-D model of RF CCP discharge in Ar/CF4/CF3I gas mixtures
(Устный)
Авторы:
Olga Proshina
,
Mihail Baklanov
,
Tatyana Rakhimova
PESM 2013 (14 - 15 March 2013, Leuven Belgium)
, Лёвен, Бельгия, 14-15 марта 2013
2013
1D model of OSG low-k films modification by EUV/VUV emission
(Устный)
Авторы:
Rakhimov A.T.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
,
Lopaev D.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Kovalev A.S.
,
Vasil'eva A.N.
,
Proshina O.V.
,
Braginsky O.V.
,
Kurchikov K.
,
Baklanov M.R.
PESM 2013 (14 - 15 March 2013, Leuven Belgium)
, Лёвен, Бельгия, 14-15 марта 2013
2012
Features of DC magnetron sputtering of mosaic copper-graphite targets
(Стендовый)
Авторы:
Митин В.С.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Паль А.Ф.
,
Рябинкин А.Н.
,
Серов А.О.
,
Krasnobaev N.
,
Рахимова Т.В.
,
Mitin A.
13th International Conference on Plasma Surface Engineering
, Garmisch-Partenkirchen, Germany, Германия, 2012
2012
Study of singlet delta oxygen O2(1Δg) impact on H2‐O2 mixture ignition in flow reactor
(Стендовый)
Авторы:
Chukalovsky A.A.
,
Klopovsky K.S.
,
Liberman M.A.
,
Rakhimova and T.V
,
Popov N.A.
,
Proshina O.V.
,
Mankelevich Yu A.
5th International Symposium on Non‐equilibrium Processes, Plasma, Combustion, and Atmospheric Phenomena (NEPCAP)
, Russia, Sochi (Loo), Россия, 2012
2011
Deflagration-to-Detonation Transition in Highly Reactive Combustible Mixtures
(Устный)
Авторы:
Liberman M.A.
,
Ivanov M.F.
,
Rakhimova T.V.
,
Kuznetsov M.S.
,
Chukalovsky A.A.
,
Kiverin A.D.
23rd International Colloquium on the Dynamics of Explosions and Reactive Systems
, USA, Irvine, 2011
2011
Deflagration-to-Detonation Transition in Highly Reactive Combustible Mixtures
(Устный)
Авторы:
LIBERMAN M.A.
,
IVANOV M.F.
,
KIVERIN A.D.
,
KUZNETSOV M.S.
,
CHUKALOVSKY A.A.
,
RAKHIMOVA T.V.
28th International Symposium on Shock Waves (ISSW-28)
, Manchester, UK, 2011
2011
Two-dimensional Modeling of the Ignition Length Decrease in Hydrogen Mixture with Oxygen Excited in Electric Discharge
(Устный)
Авторы:
Chukalovsky A.A.
,
Klopovsky K.K.
,
Liberman M.A.
,
Rakhimova T.V.
,
Popov N.A.
,
Proshina O.V.
,
Mankelevich Yu A.
23rd International Colloquium on the Dynamics of Explosions and Reactive Systems
, USA, Irvine, 2011
2010
The analysis of OIL with EDSOG on two-dimensional gas-dynamic model
(Устный)
Авторы:
Chukalovsky A.A.
,
Klopovsky K.S.
,
Rakhimova T.V.
,
Mankelevich Y.A.
,
Proshina O.V.
63rd Annual Gaseous Electronics Conference and 7th International Conference on Reactive Plasmas
, France, Paris, Франция, 2010
2010
Исследование дозвукового КИЛ с ЭРГСК на двумерной газодинамической модели с детальной кинетикой
Авторы:
12 Чукаловский А.А.
,
Рахимова Т.В.
,
Прошина О.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Клоповский К.С.
XIII Школа молодых ученых «Актуальные проблемы физики» и IV Всероссийская Школа-семинар «Инновационные аспекты фундаментальных исследований»
, Россия, Звенигород, Россия, 2010
2007
Численное моделирование кинетических процессов в кислород-йодном лазере с элекроразрядным генератором синглетного кислорода
(Стендовый)
Авторы:
Чукаловский А.А.
,
Рахимова Т.В.
,
Клоповский К.С.
Всероссийская конференция по физике низкотемпературной плазмы ФНТП-2007
, Россия, Петрозаводск, Россия, 2007
2006
Возможный механизм «дополнительного» образования отрицательных ионов водорода в тлеющем разряде в H2
Авторы:
Белостоцкий С.Г.
,
Лопаев Д.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Economou A.N.
59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC 2006), 10-13 October 2006
, Columbus, Ohio, USA, 2006
2006
Высокоэффективный генератор синглетного кислорода (SOG) на ВЧ разряде
Авторы:
Прошина О.В.
,
Ковалев А.С.
,
Лопаев Д.В.
,
Олеванов М.А.
,
Рахимова Т.В.
,
Брагинский О.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Васильева А.Н.
59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC 2006), 10-13 October 2006
, Columbus, Ohio, USA, 2006
2006
Изучение процесса изменения пространственного распределения температур электронов в одно- и двухчастотной емкостно-связанной плазме ВЧ разряда в смеси Ar/O2 в течение периода ВЧ колебаний
Авторы:
Белостоцкий С.Г.
,
Брагинский О.В.
,
Ковалев А.С.
,
Лопаев Д.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Васильева А.Н.
59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC 2006), 10-13 October 2006
, Columbus, Ohio, USA, 2006
2006
Одно- и двухчастотная емкостно-связанная плазма ВЧ разряда в аргоне
Авторы:
Брагинский О.В.
,
Иванов В.В.
,
Ковалев А.С.
,
Лопаев Д.В.
,
Васильева А.Н.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC 2006), 10-13 October 2006
, Columbus, Ohio, USA, 2006
2006
Плазменная очистка многослойного покрытия от загрязнений углеродом и оловом
Авторы:
Иванов В.В.
,
Ковалев А.С.
,
Лопаев Д.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Васильева А.Н.
,
Брагинский О.В.
International EUVL Symposium, 15-18 October 2006
, Barcelona, Spain, Испания, 2006
2006
Экспериментальное и теоретическое изучение функции распределения энергии ионов в одно- и двухчастотном емкостно-связанном ВЧ разряде в аргоновой плазме
(Стендовый)
Авторы:
Брагинский О.В.
,
Ковалев А.С.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Олеванов М.А.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC 2006), 10-13 October 2006
, Columbus, Ohio, USA, 2006
2004
Генерация синглетного кислорода в газовом разряде для накачки кислородно-ионного лазера.
Авторы:
Брагинский О.В.
,
Ковалев А.С.
,
Клоповский К.С.
,
Лопаев Д.В.
,
Попов Н.А.
,
Рахимова Т.В.
,
Васильева А.Н.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Рахимов А.Т.
57-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC 2004), 26-29 September 2004
, Bunratty, Ireland, Ирландия, 2004
2004
Изучение распада отрицательных ионов при воздействии атомов O(3P) и молекул O2(a1Δg) в кислородной плазме.
Авторы:
Белостоцкий С.Г.
,
Лопаев Д.В.
,
Рахимова Т.В.
57-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC 2004), 26-29 September 2004
, Bunratty, Ireland, Ирландия, 2004
1991
Mechanism of I2 dissociation in volume self-sustained discharge in O2-containing mixture
Авторы:
Клоповский К.С.
,
Самородов В.А.
,
Рахимова Т.В.
,
ZAKHAROV A.
XX ICPIG, 1, 167
, Piza, Italia, Италия, 15-18 сентября 1991
Тезисы докладов
2021
Теоретическое и экспериментальное исследование кинетических процессов в индукционном разряде в смеси Ar/Cl2
Волошин Д.Г.
,
Кропоткин А.Н.
,
Лопаев Д.В.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Рахимова Т.В.
,
Амиров И.И.
в сборнике
IX Международный симпозиум по теоретической и прикладной плазмохимии: сборник трудов
, место издания
Иваново Иван. гос. хим.-технол
, тезисы, с. 40
2019
Dry cleaning of transition-metal dichalcogenides using reducing downstream plasma
Marinov D.,
de Marneffe J.F.
, Zhang J., With P., Smets Q.,
Arutchelvan G.
,
Voronina E.
,
Mankelevich Yu
,
Rakhimova T.
, et al.
в сборнике
Plasma Etch and Strip in Microthechnology (PESM 2019). Book of abstracts. May 20–21, 2019, Grenoble, France
, место издания
MINATEC Grenoble, France
, тезисы, с. 100-101
2019
Pore sealing in low-k dielectrics by low-energy ions
Voronina E.N.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
,
Sycheva A.A.
в сборнике
Plasma Etch and Strip in Microthechnology (PESM 2019). Book of abstracts. May 20–21, 2019, Grenoble, France
, место издания
MINATEC Grenoble, France
, тезисы, с. 52-53
2019
Understanding the interaction mechanisms between amorphous carbon sacrificial patterning material and H2 plasma to enable area-selective ALD processes
Zyulkov I.
,
Voronina E.N.
,
Chan BT
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
,
De Gendt S.
,
Armini S.
в сборнике
Book of Asbtract "Plasma Etch and Strip for Microtechnology workshop (PESM 2019)"
, место издания
Grenoble
, тезисы
2017
DFT simulations of fluorine and chlorine atoms and molecules interactions with MoS2 monolayer
Voronina E.
,
Mankelevich Yu
,
Rakhimova T.
,
Heyne M.
, Marinov D.,
de Marneffe J.F.
в сборнике
Plasma Etch and Strip in Microthechnology (PESM 2017). Book of abstracts. October 20–21, 2017, Leuven, Belgium
, место издания
IMEC Leuven, Belgium
, тезисы
2012
Features of DC magnetron sputtering of mosaic copper-graphite targets
Mitin Valery
,
Mankelevich Yury
, Pal Alexander,
Rakhimova Tatyana
,
Ryabinkin Alexey
,
Serov Alexander
,
Mitin Alexey
,
Krasnobaev Nikolay
в сборнике
13th International Conference on Plasma Surface Engineering
, место издания
Garmisch-Partenkirchen, Germany
, тезисы, с. 1051
2012
Magnetron Sputtering of Mosaic Copper-Graphite Cathodes
Mankelevich Yu A.
,
Mitin V.S.
,
Pal A.F.
,
Rakhimova T.V.
,
Ryabinkin A.N.
, Serov A.O.
в сборнике
7th International Conference on the Physics of Plasma Physics and Plasma Technology
, место издания
Minsk, Belarus
, тезисы, с. 148-151
2010
The analysis of OIL with EDSOG on two-dimensional gas-dynamic model
Chukalovsky A.A.
,
Klopovsky K.S.
,
Rakhimova T.V.
,
Mankelevich Y.A.
,
Proshina O.V.
в сборнике
Bulletin of the Ameican Physical Society
, серия
2
, место издания
APS physics USA USA
, том 55, тезисы, с. 157
2010
Исследование дозвукового КИЛ с ЭРГСК на двумерной газодинамической модели с детальной кинетикой
Чукаловский А.А.
,
Рахимова Т.В.
,
Клоповский К.С.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Прошина О.В.
в сборнике
Сборник Трудов школы молодых ученых «Актуальные проблемы физики»
, место издания
ФИАН, Москва
, тезисы, с. 242-244
2007
Evolution of Electron Temperature and Density Distributions in the Inter-Electrode Gap of DF CCP Discharge during the RF Period
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
в сборнике
Workshop on Radio-Frequency Discharges
, место издания
All Hallows College, Dublin, Ireland
, тезисы, с. 28
2007
Evolution of Electron Temperature and Density Distributions in the Inter-Electrode Gap of DF CCP Discharge during the RF Period
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Voloshin D.G.
,
Vasilieva A.N.
в сборнике
Book of Abstracts of XXVIII International Conference on Phenomena in Ionized Gases
, место издания
Praha
, тезисы, с. 2133-2136
2007
Experimental Study of Dual Frequency RF Discharge in Argon for Different Gas Pressures
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Voloshin D.G.
,
Vasilieva A.N.
в сборнике
Proceedings of XXVIII International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG), Book of abstracts
, место издания
ICPIG-XXVIII Prague, Czech Republic
, тезисы, с. 2114-2117
2004
Investigation of Negative Ion Destruction by O(3P) Atoms and O2(a(1)Δ(g)) Molecules in Oxygen Plasma
Belostotsky S.G.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
в сборнике
57th Gaseous Electronics Conference, 26-29 September, 2004, Shannon, Republic of Ireland
, место издания
American Physical Society USA
, том 1, тезисы, с. 1004
2004
New Mechanism of O2(a(1)Delta(g)) Quenching in Oxygen Contained Plasmas
Savin Yu V.
,
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Klopovsky K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Popov N.A.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
в сборнике
XV International Simposium on Gas Flow and Chemical Lasers and High Power Laser Conference, 30 August – 3 September 2004, Book of abstracts
, место издания
Prague, Czech Republic
, тезисы, с. 124-124
1992
Low Pressure RF Discharge in Electronegative Gases for Plasma Processing
Feoktistov V.A.
,
Lopaev D.V.
,
Klopovsky K.S.
,
Popov A.M.
,
Popovicheva O.B.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в сборнике
IVC-12 and ICSS-8, Book of Abstracts
, место издания
The Hague, The Netherlands
, тезисы, с. 174
1985
Study of kinetic processes in molecular nitrogen by CARS
Devyatov A.A.
,
Dolenko S.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Suetin N.V.
в сборнике
Contributed papers of XVII International Conference on Phenomena in Ionized Gases
, место издания
Budapest, Hungary
, том 2, тезисы, с. 1076-1077
НИРы
22 апреля 2022 - 30 сентября 2023
Математическое моделирование распределения параметров плазмы, оптимизация конструкции и разработка системы оптического контроля плазмы разряда экспериментального и опытного образца реактора для проведения технологических процессов плазмохимического травления (ПХТ) высокоаспектных диэлектрических структур на пластинах диаметром до 300 мм в микроэлектронном производстве уровня 65 нм
Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Ответственные исполнители:
Волошин Д.Г.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Ковалев А.С.
,
Кропоткин А.Н.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
Участники НИР:
Богданова М.А.
,
Зиганшин И.И.
,
Кожин В.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Минаков П.В.
,
Палов А.П.
,
Поройков А.Ю.
,
Скурихин А.В.
,
Чукаловский А.А.
,
Шибанов Д.Р.
13 августа 2021 - 31 декабря 2022
Соглашение о сотрудничестве между НИИЯФ МГУ и IMEC
Отдел микроэлектроники
Руководитель:
Рахимова Т.В.
Ответственные исполнители:
Волошин Д.Г.
,
Воронина Е.Н.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Прошина О.В.
,
Сычева А.А.
,
Чукаловский А.А.
29 июля 2021 - 30 июня 2024
Исследование согласованной кинетики отрицательных ионов, атомов и возбужденных молекул в импульсной кислородной плазме
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Волошин Д.Г.
Ответственные исполнители:
Зырянов С.М.
,
Кропоткин А.Н.
,
Чукаловский А.А.
Участники НИР:
Зиганшин И.И.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Мележенко Д.Е.
,
Рахимова Т.В.
20 мая 2019 - 31 декабря 2020
Механизм травления и повреждения нанопористых диэлектрических материалов при пониженных температурах
Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
Руководитель:
Манкелевич Ю.А.
Ответственные исполнители:
Воронина Е.Н.
,
Зырянов С.М.
,
Лопаев Д.В.
Участники НИР:
Волошин Д.Г.
,
Зотович А.И.
,
Кропоткин А.Н.
,
Палов А.П.
,
Рахимова Т.В.
,
Сычева А.А.
,
Шибанов Д.Р.
3 декабря 2018 - 3 января 2021
Исследование способов предотвращения деградации материалов с ультранизкой диэлектрической проницаемостью при производстве СБИС на этапе плазмохимического травления
Отдел микроэлектроники
Руководитель:
Лопаев Д.В.
Ответственные исполнители:
Волынец А.В.
,
Палов А.П.
,
Рахимова Т.В.
Участники НИР:
Богданова М.А.
,
Волошин Д.Г.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Манкелевич Ю.А.
2 мая 2017 - 31 декабря 2018
Исследование свойств многочастотной ВЧ плазмы сложного состава, включая потоки и энергетический спектр ионов и фотонов, и их влияние на элементарные процессы на поверхности
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Ответственные исполнители:
Волошин Д.Г.
,
Палов А.П.
,
Рахимова Т.В.
Участники НИР:
Богданова М.А.
,
Волынец А.В.
,
Зотович А.И.
,
Ковалев А.С.
,
Поройков А.Ю.
,
Сычева А.А.
,
Чукаловский А.А.
1 января 2017 - 31 декабря 2019
Кинетика электронно-возбужденных частиц и быстрый нагрев газа в послесвечении импульсных разрядов в азоте и химически активных средах
Отдел микроэлектроники
Руководитель:
Попов Н.А.
Ответственные исполнители:
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Рахимова Т.В.
Участники НИР:
Волынец А.В.
,
Чукаловский А.А.
8 ноября 2016 - 31 декабря 2018
Импульсная вч плазма для поверхностных процессов: контроль потока и энергетического спектра заряженных положительных и отрицательных частиц, ВУФ излучения и процессов возбуждения/диссоциации.
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимова Т.В.
Ответственные исполнители:
Богданова М.А.
,
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Волынец А.В.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Ковалев А.С.
,
Курчиков К.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Прошина О.В.
1 января 2016 - 31 декабря 2018
Контроль вакуумного ультрафиолетового излучения и параметров плазмы в реакторах нового поколения для наноэлектроники.
Отдел микроэлектроники
Руководитель:
Ковалев А.С.
Участники НИР:
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Зырянов С.М.
,
Курчиков К.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Чукаловский А.А.
1 января 2015 - 31 декабря 2025
Экспериментальные и теоретические исследования неравновесных плазменных процессов в газовой фазе и на поверхности
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Алов Н.В.
,
Богацкая А.В.
,
Богданова М.А.
,
Васильева А.Н.
,
Волкова Е.А.
,
Волошин Д.Г.
,
Волынец А.В.
,
Воронина Е.Н.
,
Гаврилов А.В.
,
Дворкин В.В.
,
Евлашин С.А.
,
Зиганшин И.И.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Киреева Е.Д.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Кост Т.Н.
,
Кривченко В.А.
,
Кропоткин А.Н.
,
Курчиков К.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Минаков П.В.
,
Миронович К.В.
,
Намиот В.А.
,
Олеванов М.А.
,
Палов А.П.
,
Паль А.Ф.
,
Персианцева Н.М.
,
Попов А.М.
,
Попов Н.А.
,
Поповичева О.Б.
,
Поройков А.Ю.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Рябинкин А.Н.
,
Самородов В.А.
,
Сень В.В.
,
Серов А.О.
,
Скурихин А.В.
,
Степанов А.С.
,
Суетин Н.В.
,
Сычева А.А.
,
Тимофеев М.А.
,
Тихонова О.В.
,
Унтила Г.Г.
,
Чеботарева А.Б.
,
Чукаловский А.А.
,
Шевнин П.Л.
,
Шибанов Д.Р.
,
Шкуренков И.А.
22 мая 2014 - 30 декабря 2016
Исследование свойств многочастотной ВЧ плазмы сложного состава, включая потоки и энергетический спектр ионов и фотонов, и их влияние на элементарные процессы на поверхности
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Курчиков К.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Палов А.П.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Сычева А.А.
,
Чукаловский А.А.
1 января 2014 - 31 декабря 2016
Исследование кинетики генерации и гибели озона в присутствии азота и гетерогенных катализаторов для повышения энергоэффективности озонаторов
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Манкелевич Ю.А.
Участники НИР:
Абрамовская Е.А.
,
Волошин Д.Г.
,
Зосимов А.В.
,
Иванов А.С.
,
Козлов К.В.
,
Лунин Б.С.
,
Поройков А.Ю.
,
Рахимова Т.В.
,
Савилов С.В.
,
Самойлович В.Г.
,
Чукаловский А.А.
14 октября 2013 - 7 декабря 2013
Разработка и исследование наноструктурированных материалов с трехмерной архитектурой поверхности для тонкопленочных литий-ионных батарей нового поколения
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Кривченко В.А.
Участники НИР:
Воронин П.В.
,
Зырянов С.М.
,
Иткис Д.М.
,
Минаков П.В.
,
Миронович К.В.
,
Пилевский А.А.
,
Поройков А.Ю.
,
Рахимова Т.В.
,
Семененко Д.А.
1 января 2013 - 31 декабря 2015
Физические процессы в плазме магнетронного разряда с неоднородным катодом.
Федеральное государственное унитарное предприятие " Государственный научный центр Российской Федерации Троицкий институт инновационных и термоядерных исследований"
Руководитель:
Паль А.Ф.
Участники НИР:
Волошин Д.Г.
,
Мазалов Д.А.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Митин В.С.
,
Рахимова Т.В.
,
Рябинкин А.Н.
,
Серов А.О.
,
Старостин А.Н.
,
Филиппов А.В.
1 июня 2012 - 31 июля 2015
Механизм образования дефектов в процессе плазменного травления материалов с низким значением диэлектрической постоянной во фторуглеродной плазме
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Волынец А.В.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Ковалев А.С.
,
Курчиков К.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Палов А.П.
,
Поройков А.Ю.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,