ИСТИНА

Васильева Анна Николаевна пользователь

МГУ имени М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына, Отдел микроэлектроники, Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии, ведущий научный сотрудник, с 1 ноября 1968

кандидат физико-математических наук с 1973 года

Соавторы: Ковалев А.С., Лопаев Д.В., Рахимова Т.В., Рахимов А.Т., Брагинский О.В., Манкелевич Ю.А., Прошина О.В., Клоповский К.С., Волошин Д.Г., Зырянов С.М., Попов Н.А., Baklanov M.R., Malykhin E.M. показать полностью..., Гуляев К.С., Braginsky O.V., Braginskii O.V., Krivtsun V.M., Гришина И.А., Курчиков К.А., Yakushev O.F., Иванов В.В., Олеванов М.А., Blyablin A., Grishina I.A., Kim T., Kolobyanin Y.V., Kong J.T., Koshelev K.N., Malykhin E.M., Долгов А.Д., Осипов А.П., Bijkerk F., Glushkov D., KASHEEV A., Krishtab M.B., Lee C.J., Malykhin E.M., PISMENNY V., Savin Y.V., van Kaampen M., Белостоцкий С.Г., Брагинский В.Б., Гришина И.А., Гришина Письменный И.А., Зотович А.И., Ковалев A.C., Ктиторов В.Н., Лемяскин С.Н., Попов А.М., Поповичева О.Б., Поройков А.Ю., Резаев Н.И., Суетин Н.В., СутовскийВ М., Шамирян Д.

85 статей, 16 докладов на конференциях, 10 тезисов докладов, 14 НИР, 3 патента

Количество цитирований статей в журналах по данным Web of Science: 585, Scopus: 667

IstinaResearcherID (IRID): 592666

ResearcherID: E-2170-2012

Деятельность

• Статьи в журналах

  • 
    • 2021 Dynamics of Ar metastable and resonance states in pulsed capacitively coupled plasmas
    • Kovalev A.S., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Proshina O.V., Vasilieva A.N., Voloshin D.G.
    • в журнале Physics of Plasmas, издательство AIP Publishing (United States), том 28, с. 093507 DOI
  • 
    • 2020 Experimental and PIC MCC study of electron cooling - re-heating and plasma density decay in low pressure rf ccp argon afterglow
    • Proshina O.V., Rakhimova T.V., Kovalev A.S., Anna Vasilieva, Alexey Zotovich, Zyryanov S.M., Rakhimov A.T.
    • в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 29, № 1, с. 015015 DOI
  • 
    • 2019 Determination of the excited argon states densities in high-frequency capacitive discharge
    • Kovalev A.S., Kurchikov K.A., Proshina O.V., Rakhimova T.V., Vasilieva A.N., Voloshin D.G.
    • в журнале Physics of Plasmas, издательство AIP Publishing (United States), том 26, № 12, с. 123501 DOI
  • 
    • 2016 Determination of Plasma Density from Data on the Ion Current to Cylindrical and Planar Probes
    • Voloshin D.G., Vasileva A.N., Kovalev A.S., Mankelevich Yu A., Rakhimova T.V.
    • в журнале Plasma Physics Reports, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 42, № 12, с. 1146-1154 DOI
  • • 2016 Определение плотности плазмы по данным ионного тока на цилиндрический и плоский зонд
    • Волошин Д.Г., Васильева А.Н., Ковалев А.С., Манкелевич Ю.А., Рахимова Т.В.
    • в журнале Физика плазмы, издательство Наука (М.), том 42, № 12, с. 1099-1108 DOI
  • 
    • 2015 Evaluation of plasma density in rf ccp discharges from ion current to langmuir probe: experiment and numerical simulation
    • Dmitry Voloshin, Alexander Kovalev, Mankelevich Yuri A., Olga Proshina, Rakhimova Tatyana V., Anna Vasilieva
    • в журнале European Physical Journal D, издательство Springer Verlag (Germany), том 69, № 1, с. 23 DOI
  • 
    • 2015 Measurements of the Populations of Metastable and Resonance Levels in the Plasma of an RF Capacitive Discharge in Argon
    • Vasilieva A.N., Voloshin D.G., Kovalev A.S., Kurchikov K.A.
    • в журнале Plasma Physics Reports, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 41, № 5, с. 426-433 DOI
  • 
    • 2014 Comparison of H 2 and He carbon cleaning mechanisms in extreme ultraviolet induced and surface wave discharge plasmas
    • Dolgov A., Lopaev D., Rachimova T., Kovalev A., Vasil’eva A., Lee C.J., Krivtsun V.M., Yakushev O., Bijkerk F.
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 47, № 6, с. 065205 DOI
  • 
    • 2014 Low-k films modification under EUV and VUV radiation
    • Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Mankelevich Yu A., Lopaev D.V., Kovalev A.S., Vasil’eva A.N., Zyryanov S.M., Kurchikov K., Proshina O.V., Voloshin D.G., Novikova N.N., Krishtab M.B., Baklanov M.R.
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 47, № 2, с. 025102 DOI
  • 
    • 2013 Modification of organosilicate glasses low-k films under extreme and vacuum ultraviolet radiation
    • Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Mankelevich Yu A., Lopaev D.V., Kovalev A.S., Vasil’eva A.N., Proshina O.V., Braginsky O.V., Zyryanov S.M., Kurchikov K., Novikova N.N., Baklanov M.R.
    • в журнале Applied Physics Letters, издательство AIP Publishing (United States), том 102, № 11, с. 111902 DOI
  • 
    • 2012 Experimental and theoretical study of dynamic effects in low-frequency capacitively coupled discharges
    • Braginsky O., Kovalev A., Lopaev D., Proshina O., Rakhimova T., Vasilieva A., Voloshin D., Zyryanov S.
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 45, № 1, с. 015201-015201 DOI
  • 
    • 2012 Removal of amorphous C and Sn on Mo:Si multilayer mirror surface in Hydrogen plasma and afterglow
    • Braginsky O.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Malykhin E.M., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Vasilieva A.N., Zyryanov S.M., Koshelev K.N., Krivtsun V.M., van Kaampen Maarten, Glushkov D.
    • в журнале Journal of Applied Physics, издательство AIP Publishing (United States), том 111, № 9, с. 093304-093304 DOI
  • • 2012 Ultra low-k dielectrics damage under VUV and EUV radiation
    • Sergey Zyryanov, Oleg Braginsky, Alexander Kovalev, Dmitry Lopaev, Yury Mankelevich, Tatyana Rakhimova, Alexander Rakhimov, Anna Vasilieva, Mikhail Baklanov
    • в журнале Bulletin of the American Physical Society, 65th Annual Gaseous Electronics Conference, том 57, № 8
  • 
    • 2011 Plasma Cleaning of Multilayer Mirrors in EUV Lithography from Amorphous Carbon Contaminations
    • Malykhin E.M., Lopaev D.V., Rakhimov A.T., Rakhimova T.V., Braginskii O.V., Kovalev A.S., Vasil’eva A.N., Zyryanov S.M.
    • в журнале Moscow University Physics Bulletin, издательство Allerton Press (New York, N.Y., United States), том 66, № 2, с. 184-189 DOI
  • 
    • 2011 The Effect of He Plasma Treatment on Properties of Organosilicate Glass Low-K Films
    • Braginsky O.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Malykhin E.M., Mankelevich Yu A., Proshina O.V., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Voloshin D.G., Vasilieva A.N., Zyryanov S.M., Smirnov E.A., Baklanov M.R.
    • в журнале Journal of Applied Physics, издательство AIP Publishing (United States), том 109, № 4, с. 043303 DOI
  • • 2010 Experimental and theoretical study of dynamic effects in low-frequency capacitively coupled discharges
    • Dmitry Voloshin, Oleg Braginsky, Alexander Kovalev, Dmitry Lopaev, Olga Proshina, Tatyana Rakhimova, Anna Vasilieva
    • в журнале Bulletin of the American Physical Society, 63rd Annual Gaseous Electronics Conference and 7th International Conference on Reactive Plasmas, том 55, № 7
  • 
    • 2010 Study of spatial distributions of F, H and CF2 radicals in DF CCP discharge in Ar/CF4 and Ar/CHF3 mixtures
    • Braginsky O.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Vasilieva A.N., Zyryanov S.M.
    • в журнале THIRD INTERNATIONAL WORKSHOP AND SUMMER SCHOOL ON PLASMA PHYSICS 2008 Book Series: Journal of Physics Conference Series, том 207, № Article Number: 012014 DOI
  • 
    • 2010 The Mechanism of Low-K SiOCH Film Modification by Oxygen Atoms
    • Braginsky O.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Malykhin E.M., Mankelevich Yu A., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Vasilieva A.N., Zyryanov S.M., Baklanov M.R.
    • в журнале Journal of Applied Physics, издательство AIP Publishing (United States), том 108, № 7, с. 073303 DOI
  • 
    • 2009 Experimental and Theoretical Studies of Radical Production in RF CCP Discharge at 81-MHz Frequency in Ar/CF4 and Ar/CHF3 Mixtures
    • Rakhimova Tatyana V., Braginsky Oleg V., Klopovskiy Konstantin S., Kovalev Alexander S., Lopaev Dmitry V., Proshina Olga V., Rakhimov Alexander T., Shamiryan Denis, Vasilieva Anna N., Voloshin Dmitry G.
    • в журнале IEEE Transactions on Plasma Science, издательство Institute of Electrical and Electronics Engineers (Piscataway, NJ, United States), том 37, № 9, Part 1, с. 1683-1696 DOI
  • 
    • 2009 Recombination of O and H Atoms on the Surface of Nanoporous Dielectrics
    • Rakhimova Tatyana V., Braginsky Oleg V., Kovalev Alexander S., Lopaev Dmitry V., Mankelevich Yuri A., Malykhin Evdokim M., Rakhimov Alexander T., Vasilieva Anna N., Zyryanov Sergey M., Baklanov Mikhail R.
    • в журнале IEEE Transactions on Plasma Science, издательство Institute of Electrical and Electronics Engineers (Piscataway, NJ, United States), том 37, № 9, с. 1697-1704 DOI
  • • 2009 The influence of He plasma pretreatment on O and H atom interaction with low-k nanoporous materials
    • Braginsky O.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Malykhin E.M., Mankelevich Yu A., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Vasilieva A.N., Zyryanov S.M., Baklanov M.R.
    • в журнале Bulletin of the American Physical Society, 62nd Annual Gaseous Electronics Conference, том 54, № 12
  • 
    • 2008 High Pressure Electro-Discharge Singlet Oxygen Generator (ED SOG) with High Efficiency and Yield
    • Braginsky O.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Proshina O.V., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Vasilieva A.N.
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 41, № 17, с. 172008 DOI
  • 
    • 2007 Experimental and theoretical study of ion energy distribution function in single and dual frequency RF discharges
    • Rakhimova Tatyana V., Braginsky Oleg V., Ivanov Vladimir V., Kovalev Alexander S., Lopaev Dmitry V., Mankelevich Yuri A., Olevanov Michael A., Proshina Olga V., Rakhimov Alexander T., Vasilieva Anna N., Voloshin Dmitry G.
    • в журнале IEEE Transactions on Plasma Science, издательство Institute of Electrical and Electronics Engineers (Piscataway, NJ, United States), том 35, № 5, с. 1229-1240 DOI
  • 
    • 2007 Pressure Scaling of an Electro-Discharge Singlet Oxygen Generator (ED SOG)
    • Braginsky O.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Proshina O.V., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Vasilieva A.N.
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 40, № 21, с. 6571-6582 DOI
  • 
    • 2006 Discharge Singlet Oxygen Generator for Oxygen-Iodine Laser: I. Experiments with RF Discharges at 13.56 and 81 MHz
    • Braginsky O.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Mankelevich Yu A., Proshina O.V., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Vasilieva A.N.
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 39, № 24, с. 5183-5190 DOI
  • 
    • 2006 Discharge Singlet Oxygen Generator for Oxygen-Iodine Laser: II. Two-Dimensional Modeling of Flow Oxygen RF Plasma at 13.56 and 81 MHz Power Frequency
    • Braginsky O.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Mankelevich Yu A., Proshina O.V., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Vasilieva A.N.
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 39, № 24, с. 5191-5200 DOI
  • 
    • 2006 Discharged Generator of Singlet Oxygen for Oxygen-Iodine Laser. Transport Kinetics of O2(a(1)Delta(g)) and O2(b(1)Sigma(g+)) Molecules, and O(3P) Atoms in Ar:O2 and He:O2 Flows Excited by a 13.56 MHz Discharge
    • Braginsky O.V., Vasil’eva A.N., Klopovsky K.S., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T.
    • в журнале Laser Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 16, № 8, с. 1161-1174 DOI
  • 
    • 2006 Experimental and Theoretical Study of RF Plasma at Low and High Frequency
    • Rakhimova T.V., Braginsky O.V., Ivanov V.V., Kim T.K., Kong J.T., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Mankelevich Yu A., Proshina O.V., Vasilieva A.N.
    • в журнале IEEE Transactions on Plasma Science, издательство Institute of Electrical and Electronics Engineers (Piscataway, NJ, United States), том 34, № 3, с. 867-877 DOI
  • 
    • 2006 Experimental and theoretical study of RF plasma at low and high frequency
    • Rakhimova T.V., Braginsky O.V., Ivanov V.V., Kim T.K., Kong J.T., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Mankelevich Y.A., Proshina O.V., Vasilieva A.N.
    • в журнале IEEE Transactions on Plasma Science, издательство Institute of Electrical and Electronics Engineers (Piscataway, NJ, United States), том 34, № 3, с. 867-877 DOI
  • 
    • 2005 Generation of Singlet Oxygen for an Oxygen-Iodine Laser in a Radio-Frequency Discharge
    • Braginskii O.V., Vasil’eva A.N., Klopovskii K.S., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Mankelevich Yu A., Popov N.A., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T.
    • в журнале Quantum Electronics, издательство Turpion - Moscow Ltd. (United Kingdom), том 35, № 1, с. 21-26 DOI
  • 
    • 2005 Production of Singlet Oxygen in a Non-Self-Sustained Discharge
    • Vasil’eva A.N., Klopovski K.S., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Mankelevich Yu A., Popov N.A., Rakhimov A.T., Rakhimova T.V.
    • в журнале Plasma Physics Reports, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 31, № 4, с. 325-337 DOI
  • 
    • 2005 Production of singlet oxygen in a non-self-sustained discharge
    • Vasil'eva A.N., Klopovskii K.S., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Mankelevich Y.A., Popov N.A., Rakhimov A.T., Rakhimova T.V.
    • в журнале Plasma Physics Reports, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 31, № 4, с. 325-337 DOI
  • 
    • 2005 Singlet Oxygen Generation in O2 Flow Excited by RF Discharge. II. Inhomogeneous Discharge Mode: ‘Plasma Jet'
    • Braginskiy O.V., Vasilieva A.N., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Mankelevich Yu A., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T.
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 38, № 19, с. 3626-3634 DOI
  • 
    • 2005 Singlet Oxygen Generation in O2 Flow Excited by RF Discharge: I. Homogeneous Discharge Mode: Alpha-Mode
    • Braginskiy O.V., Vasilieva A.N., Klopovskiy К.S., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Proshina O.V., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T.
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 38, № 19, с. 3609-3625 DOI
  • 
    • 2002 Helicon Plasma Source
    • Braginskii O.V., Vasilieva A.N., Kovalev A.S.
    • в журнале RUSSIAN MICROELECTRONICS C/C OF MIKROELEKTRONIKA, том 31, № 6, с. 341-348
  • 
    • 2001 Helicon Plasma in Nonuniform Magnetic Field
    • Braginskii O.V., Vasilieva A.N., Kovalev A.S.
    • в журнале Plasma Physics Reports, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 27, № 8, с. 699-707
  • 
    • 2000 A Helicon Plasma Source
    • Braginskii O.V., Vasilieva A.N., Kovalev A.S.
    • в журнале RUSSIAN MICROELECTRONICS C/C OF MIKROELEKTRONIKA, том 29, № 6, с. 380-390
  • 
    • 1998 Characteristics of Plasma Excited by Helicon Waves
    • Braginskii O.V., Vasilieva A.N., Kovalev A.S.
    • в журнале Plasma Physics Reports, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 24, № 9, с. 762-766
  • • 1996 Пространственная структура плазмы СВЧ разряда в магнитном поле
    • Васильева А.Н., Гуляев К.С., Ковалев А.С.
    • в журнале Микроэлектроника, издательство Общество с ограниченной ответственностью Интеграция: Образование и Наука (Москва), том 25, № 4, с. 316-320
  • • 1995 Особенности СВЧ источника плазмы с резонаторным вводом энергии
    • Васильева А.Н., Гуляев К.С., Ковалев А.С., Лемяскин С.Н.
    • в журнале Микроэлектроника, издательство Общество с ограниченной ответственностью Интеграция: Образование и Наука (Москва), том 24, № 6, с. 467-471
  • 
    • 1994 Investigation of in-resonator gas-breakdown for electron-cyclotron-resonance conditions
    • GULYAEV KS, KASHEEV AV, KOVALEV AS, SUETIN NV, VASILIEVA AN
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 27, № 11, с. 2349-2353
  • • 1994 Влияние конфигурации магнитного поля в резонаторе на зажигание и горение ЭЦР
    • Васильева А.Н., Гуляев К.С., Ковалев А.С., Лемяскин С.Н.
    • в журнале Труды Физико-технологического института, издательство Физико-технологический институт РАН (Москва), том 8, с. 22-29
  • 
    • 1994 Исследование режимов горения ЭЦР плазмы в СВЧ резонаторе
    • Васильева А.Н., Гуляев К.С., Ковалев А.С., ЛемяскинС Н.
    • в журнале Микроэлектроника, издательство Общество с ограниченной ответственностью Интеграция: Образование и Наука (Москва), том 23, № 2, с. 82-90
  • • 1993 Два режима СВЧ разряда в магнитном поле
    • Васильева А.Н., Гуляев К.С., Ковалев А.С.
    • в журнале Микроэлектроника, издательство Общество с ограниченной ответственностью Интеграция: Образование и Наука (Москва), том 22, № 4, с. 22-28
  • • 1991 Effectiveness of the formation of singlet oxygen in a non-self-maintaining discharges in mixtures of O2 with noble gases
    • Vasil'eva A.N., Gulayev K.S., Kovalev A.S., Lopaev D.V.
    • в журнале High Temperature, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 29, № 1, с. 54-57
  • • 1991 Эффективность образования синглетного кислорода в несамостоятельном разряде в смесях O2 с благородными газами
    • Васильева А.Н., Гуляев К.С., Ковалев А.С., Лопаев Д.В.
    • в журнале ТВТ, том 29, № 1, с. 56-59
  • • 1989 Formation of Singlet Oxygen in Oxygen-Nitrogen Plasma of Beam-Driven Discharge
    • Blyablin A.A., Vasilieva A.N., Kovalev A.S., Lopaev D.V.
    • в журнале Soviet journal of plasma physics, том 15, № 8, с. 587-589
  • • 1989 Возбуждение метастабильных состояний в кислород-азотной плазме
    • Васильева А.Н., Гришина И.А., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Осипов А.П., Попов А.М., Поповичева О.Б., Рахимов А.Т., Рахимова Т.В.
    • в журнале Физика плазмы, издательство Наука (М.), том 15, № 2, с. 190-195
  • • 1989 Образование синглетного кислорода в кислородно - азотной плазме несамостоятельного разряда
    • Бляблин А.А., Васильева А.Н., Ковалев А.С., Лопаев Д.В.
    • в журнале Физика плазмы, издательство Наука (М.), том 15, № 8, с. 1012-1015
  • • 1985 Kinetics of singlet oxygen generation in the low temperature plasma
    • Vasilieva A.N., Grishina I.A., Klopovsky K.S., Kovalev A.S., Osipov A.P., Rakhimov A.T., Rakhimova T.V.
    • в журнале Sov.J. Plasma Phys. (USA), том 11, № 2, с. 130-133
  • • 1980 Несамостоятельный высокочастотный разряд в газе
    • Васильева А.Н., Гришина И.А., Ковалев А.С., Рахимов А.Т., Розанов В.Б.
    • в журнале Письма в "Журнал технической физики", издательство Наука. С.-Петерб. отд-ние (СПб.), том 6, с. 551-554
  • 
    • 1979 3-BODY ELECTRON-ATTACHMENT TO OXYGEN IN THE PLASMA OF A NON-SELF-MAINTAINED DISCHARGE
    • VASILIEVA AN, GRISHINA IA, KTITOROV VI, KOVALEV AS, RAKHIMOV AT
    • в журнале JOURNAL DE PHYSIQUE II, том 40, № 7, с. 103-104
  • • 1979 О трехтельном прилипании электронов к кислороду в плазме несамостоятельного разряда
    • Васильева А.Н., Гришина И.А., Ктиторов В.И., Ковалев А.С., Рахимов А.Т.
    • в журнале Физика плазмы, издательство Наука (М.), том 5, № 5, с. 1135-1139
  • • 1979 Процессы установления и релаксации тока в плазме несамостоятельного разряда
    • Васильева А.Н., Гришина И.А., Ковалев А.С., Ктиторов В.Н., Рахимов А.Т., Осипов А.П.
    • в журнале Физика плазмы, издательство Наука (М.), том 5, № 3, с. 639
  • • 1977 Распад плазмы в смесях О2 и СО2
    • Васильева А.Н., Гришина И.А., Ковалев А.С., Ктиторов В.И.
    • в журнале Физика плазмы, издательство Наука (М.), том 3, № 2
  • 
    • 1972 OBSERVATION OF SUPERHEAT INSTABILITY IN A FULLY IONIZED CURRENT-CARRYING PLASMA
    • VASILEVA AN, PISMENNY VD, RAKHIMOV AT, GRISHINA IA
    • в журнале JETP Letters, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 15, № 10, с. 433
  • • 1971 Температура плазмы в начальной стадии импульсного ксенонового разряда
    • Васильева А.Н., Гришина Письменный И.А.В.Д
    • в журнале Теплофизика высоких температур, издательство Наука (М.), том 9, № 5, с. 865-868
  • • 1969 Вынужденное излучение в пинч разряде
    • Васильева А.Н., Лихачев В.М., СутовскийВ М.
    • в журнале Журнал технической физики, издательство Наука. С.-Петерб. отд-ние (СПб.), том 39, № 2
  • • 1966 Исследование межмолекулярного взаимодействия пиридина в растворах по контурам линий комбинационного рассеяния
    • Васильева А.Н., Резаев Н.И.
    • в журнале Вестник Московского университета, издательство Ред. журн. (М.), том 1, № 15

• Статьи в сборниках

  • • 2013 Comparison of H2 and He carbon cleaning mechanisms in extreme ultraviolet induced and surface wave discharge plasmas
    • Dolgov A., Lopaev D., Rachimova T., Kovalev A., Vasilyeva A., Lee C.J., Krivtsun V., Yakushev O., Bijkerk F.
    • в сборнике arXiv preprint arXiv:1310.4057
  • • 2013 Effects of VUV and EUV Radiation on Ultra Low-k Materials Damage
    • Oleg Braginsky, Alexander Kovalev, Dmitry Lopaev, Yury Mankelevich, Olga Proshina, Tatyana Rakhimova, Alexander Rakhimov, Anna Vasilieva, Sergey Zyryanov, Mikhail Baklanov
    • в сборнике MRS Online Proceedings Library, издательство Cambridge University Press (United Kingdom), том 1559, с. mrss13-1559-aa03-11 DOI
  • • 2010 In-Line Plasma Cleaning of EUV Multilayer Mirrors
    • Malykhin E.M., Braginsky O.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Rakhimov A.T., Rakhimova T.V., Vasilieva A.N., Zyryanov S.M., Koshelev K.N., Krivtsun V.M., Yakushev O.F.
    • в сборнике Bulletin of the American Physical Society, 63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas, October4-8 2010, Paris, France, серия 7, место издания Paris, France, том 55
  • • 2009 Interaction of О and Н Atoms with Low-K SiOCH Films Pretreated in He Plasma
    • Braginsky O.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Mankelevich Y.A., Malykhin E.M., Proshina O.V., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Vasilieva A.N., Voloshin D.G., Zyryanov S.M., Baklanov M.R.
    • в сборнике Materials Research Society Symposium Proceedings, место издания Materials Research Society, том 1156 DOI
  • • 2009 Radical Production in RF CCP Discharge at 81 MHz Frequency in CHF3/Ar and CF4/Ar Mixtures. Theory and Experiment
    • Malykhin E.M., Braginsky O.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Proshina O.V., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Vasilieva A.N., Zyryanov S.M.
    • в сборнике Proceedings of International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 19), July 27-31 2009, Bochum, Germany, место издания Bochum, Germany, с. 362
  • • 2009 The Spatial Distribution of Radicals in the Dual Frequency (1.76 MHz /81 MHz) Capacitive Discharge in CHF3/Ar and CF4/Ar Mixtures
    • Braginsky O.V., Klopovskiy K.S., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Proshina O.V., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Vasilieva A.N., Voloshin D.G.
    • в сборнике Proceedings of International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 19), July 27-31 2009, Bochum, Germany, место издания Bochum, Germany, с. 39
  • • 2008 Recombination Probabilities of О and Н Atoms on the Surface of Nanoporous Low-K SiOCH Dielectrics
    • Braginsky O.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Malykhin E.M., Mankelevich Yu A., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Vasilieva A.N., Zyryanov S.M., Baklanov M.R.
    • в сборнике Proceedings of Advanced Metallization Conference (AMC), September 23-25 2008, San Diego California, USA, and October 8-10 2008, Tokyo, Japan, место издания San Diego California, USA, and Tokyo, Japan
  • • 2008 Пространственное распределение радикалов в плазме двухчастотного (1.76 МГц / 81 МГц) емкостного разряда в смесях CHF3/Ar и CF4/Ar. V Международный симпозиум по теоретической и прикладной плазмохии (3-8 сентября
    • Брагинский О.В., Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Лопаев Д.В., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Рахимов А.Т., Шамирян Д.
    • в сборнике Сборник трудов V Международного симпозиума по теоретической и прикладной плазмохии (3-8 сентября 2008, Иваново), место издания Ивановский государственный химико-тенологический университет Иваново, том 2, с. 506-509
  • • 2006 Capacitive Coupled Single- and Dual-Frequency RF Plasma in Argon
    • Proshina O.V., Braginsky O.V., Ivanov V.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Rakhimova T.V., Vasilieva A.N.
    • в сборнике 59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC), 10-13 October 2006, Columbus, Ohio, USA, место издания Columbus, Ohio, USA
  • • 2006 Experimental and Theoretical Study of Ion Energy Distribution Function in the Single and Dual Frequency Capacitive Coupled RF Discharge in Argon Plasma
    • Braginsky O.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Mankelevich Yu A., Olevanov M.A., Proshina O.V., Rakhimova T.V., Vasilieva A.N., Voloshin D.G.
    • в сборнике 59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC), 10-13 October 2006, Columbus, Ohio, USA, место издания Columbus, Ohio, USA
  • • 2006 High Efficiency Singlet Oxygen Generator (SOG) Based on RF Discharge
    • Proshina O.V., Braginsky O.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Mankelevich Yu A., Olevanov M.A., Rakhimova T.V., Vasilieva A.N.
    • в сборнике 59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC), 10-13 October 2006, Columbus, Ohio, USA, место издания Columbus, Ohio, USA
  • • 2006 Investigation of the Spatial Distribution Evolution of Electron Temperature in Capacitive Coupled Single- and Dual-Frequency RF Plasmas in Ar/O2 mixture over the RF Period
    • Belostotsky S.G., Braginsky O.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Rakhimova T.V., Vasilieva A.N.
    • в сборнике 59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC), 10-13 October 2006, Columbus, Ohio, USA, место издания Columbus, Ohio, USA
  • • 2006 Plasma Cleaning of Multilayer Coatings from Carbon and Tin Contaminations
    • Ivanov V.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Rakhimova T.V., Vasilieva A.N., Braginsky O.V.
    • в сборнике International EUVL Symposium, 15 – 18 October 2006, Barcelona, Spain, место издания Barcelona, Spain
  • • 2006 Pressure Scaling of an Electro-Discharge Singlet Oxygen Generator (ED SOG)
    • Rakhimova T.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Proshina O.V., Mankelevich Yu A., Vasilieva A.N., Braginsky O.V., Klopovsky K.S., Popov N.A., Rakhimov A.T., Kolobyanin Yu V.
    • в сборнике Proceedings of GCL/HPL, Gmunden, Austria, September 4-8 2006, место издания Gmunden, Austria DOI
  • • 2006 Singlet Oxygen Generator Operating at High Oxygen Pressure
    • Rakhimova T.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Proshina O.V., Mankelevich Yu A., Kolobyanin Yu V., Braginsky O.V., Klopovsky K.S., Popov N.A., Rakhimov A.T., Vasilieva A.N.
    • в сборнике Proceedings of 37-th AIAA Plasmadynamics and Lasers Conference, место издания San-Francisco DOI
  • • 2005 Experimental and Theoretical Study of a Pressure Scaling Possibility of VHF Singlet Oxygen Generator
    • Rakhimova T.V., Kovalev A.S., Klopovsky K.S., Lopaev D.V., Mankelevich Yu A., Vasilieva A.N., Braginsky O.V., Popov N.A., Proshina O.V., Rakhimov A.T.
    • в сборнике Proceedings of 36-th AIAA Plasmadynamics and Lasers Conference, место издания AIAA Toronto, Canada, с. 2005-4918 DOI
  • 
    • 2005 New mechanism of O 2(a 1 Δ g) quenching in oxygen contained plasmas
    • Braginsky O.V., Vasilieva A.N., Klopovsky K.S., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Mankelevich Yu A., Popov N.A., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Savin Yu V.
    • в сборнике Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, с. 238-242 DOI
  • • 2004 Singlet Oxygen Generation in CW and Pulsed RF Discharges at 13.56 and 81 MHz
    • Rakhimova T.V., Mankelevich Yu A., Kovalev A.S., Klopovsky K.S., Lopaev D.V., Rakhimov A.T., Braginsky O.V., Vasilieva A.N., Popov N.A.
    • в сборнике Proceedings of 35-th AIAA Plasma Dynamics and Lasers Conference, 28 June – 1 July 2004, место издания AIAA Portland, Oregon, USA, с. 2004-2445 DOI
  • • 2004 Singlet Oxygen Generation in Gas Discharge for Oxygen-Iodine Laser Pumping
    • Braginsky O.V., Kovalev A.S., Klopovsky K.S., Lopaev D.V., Mankelevich Yu A., Popov N.A., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Vasilieva A.N.
    • в сборнике 57-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC 2004), 26-29 September 2004, Bunratty, Ireland, место издания Bunratty, Ireland
  • • 2003 Radio-Frequency Plasma Generation of Singlet Oxygen in O2 and O2:Ar(He) Mixtures
    • Rakhimova T.V., Kovalev A.S., Braginsky O.V., Klopovsky K.S., Lopaev D.V., Mankelevich Yu A., Proshina O.V., Rakhimov A.T., Vasilieva A.N.
    • в сборнике Proceedings of 34-th AIAA Plasmadynamics and Lasers Conference, место издания AIAA Orlando, Florida USA, с. 23-26 DOI
  • • 2002 Efficiency of Singlet Oxygen Pumping in Plasma. I. Production of O2(a(1)Delta(g)) in Non-Selfsustained Discharge Controlled by Electron Beam
    • Kovalev A.S., Klopovskiy K.S., Lopaev D.V., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Vasilyeva A.N.
    • в сборнике Conference Proceedings of ESCAMPIG 16th – ICRP 5th, 14-18 July 2002, Grenoble, France, место издания Grenoble, France Grenoble, France, том 2, с. 41-42
  • • 1997 Helicon Plasmas in Various Magnetic Field Configurations
    • Braginskiy O.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Vasilieva A.N.
    • в сборнике ICPIG XXIII, Proceedings of contributed papers, 17-22 July 1997, Toulouse, France, место издания Toulouse, France, том 3, с. 76-77
  • • 1995 Investigation of gas discharges sustained by mw radiationin magnetic fields
    • Васильева А.Н., Гуляев К.С., Ковалев А.С., Лемяскин С.Н.
    • в сборнике ISTAPC-95, 22-26 мая 1995, место издания Иваново, с. 443-445
  • • 1990 Образование синглетного кислорода в N2:O2 плазме несамостоятельного разряда
    • Васильева А.Н., Ковалев А.С., Лопаев Д.В.
    • в сборнике V Всесоюзная конференция по физике газового разряда, место издания Омск, том 1, с. 72-73
  • • 1990 Эффективность образования синглетного кислорода в несамостоятельном разряде в смесях кислорода с благородными газами
    • Васильева А.Н., Гуляев К.С., Ковалев А.С., Лопаев Д.В.
    • в сборнике V Всесоюзная конференция по физике газового разряда, место издания Омск, том 1, с. 70-71
  • • 1988 The Singlet Oxygen Generation in a Plasma of Non-self-sustained Discharge
    • Vasilieva A.N., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Poroykov A.Y.
    • в сборнике ESCAMPIG IX, Abstracts of invited talks and contributed papers, 12H, место издания ESCAMPIG IX Lisbon, Portugal, с. 163-164

• Доклады на конференциях

  • • 2015 Determination of the metastable and resonance excited atomic states populations in CCP Ar discharge using OES techniques.
    • Авторы: Kurchikov K.A., Vasilieva A.N., Kovalev A.S.
    • 2015 Joint ICTP-IAEA Advanced School and Workshop on Modern Methods in Plasma Spectroscopy, ICTP - Miramare, Trieste, Италия, 16-27 марта 2015
  • • 2014 Evaluation of plasma density in CCP RF discharges by planar Langmuir probe: experiment and numerical simulation
    • Авторы: Voloshin D., Rakhimova T., Mankelevich Yu, Kovalev A., Vasilieva A., Proshina O.
    • The XXII Europhysics Conference on Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases, Greifswald, Germany, Германия, 2014
  • • 2014 ОПРЕДЕЛЕНИЕ ПЛОТНОСТИ ПЛАЗМЫ В ВЧ ЕМКОСТНЫХ РАЗРЯДАХ ПО ДАННЫМ ИОННОГО ТОКА НА ЛЕНГМЮРОВСКИЙ ЗОНД: ЭКСПЕРИМЕНТ И ЧИСЛЕННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ
    • Авторы: Волошин Д.Г., Рахимова Т.В., Ковалев А.С., Манкелевич Ю.А., Васильева А.Н., Прошина О.В.
    • XLI Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС, 10 – 14 февраля 2014 г., г. Звенигород, 2014
  • • 2013 Evaluation of plasma density in CCP RF discharges by Langmuir probe: experiment and numerical simulation
    • Авторы: Voloshin D., Rakhimova T., Mankelevich Yu, Proshina O., Kovalev A., Vasilieva A., Braginsky O.
    • 4th Workshop on Radio Frequency Discharges, Presqu'île de Giens France, Франция, 2013
  • • 2013 Spectroscopic determination of excited atomic states populatons in CCP Ar discharge
    • Авторы: Konstantin Kurchikov, Oleg Braginsky, Anna Vasilieva, Alexander Kovalev
    • 66th Annual Gaseous Electronics Conference, Princeton, New Jersey, США, 30 сентября - 4 октября 2013
  • • 2013 1D model of OSG low-k films modification by EUV/VUV emission (Устный)
    • Авторы: Rakhimov A.T., Mankelevich Yu A., Rakhimova T.V., Lopaev D.V., Zyryanov S.M., Baklanov M.R., Vasil'eva A.N., Proshina O.V., Braginsky O.V., Kurchikov K., Kovalev A.S.
    • PESM 2013 (14 - 15 March 2013, Leuven Belgium), Лёвен, Бельгия, 14-15 марта 2013
  • • 2006 Высокоэффективный генератор синглетного кислорода (SOG) на ВЧ разряде
    • Авторы: Прошина О.В., Ковалев А.С., Лопаев Д.В., Олеванов М.А., Рахимова Т.В., Брагинский О.В., Манкелевич Ю.А., Васильева А.Н.
    • 59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC 2006), 10-13 October 2006, Columbus, Ohio, USA, 2006
  • • 2006 Изучение процесса изменения пространственного распределения температур электронов в одно- и двухчастотной емкостно-связанной плазме ВЧ разряда в смеси Ar/O2 в течение периода ВЧ колебаний
    • Авторы: Белостоцкий С.Г., Брагинский О.В., Васильева А.Н., Лопаев Д.В., Рахимова Т.В., Ковалев А.С.
    • 59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC 2006), 10-13 October 2006, Columbus, Ohio, USA, 2006
  • • 2006 Одно- и двухчастотная емкостно-связанная плазма ВЧ разряда в аргоне
    • Авторы: Брагинский О.В., Ковалев А.С., Лопаев Д.В., Васильева А.Н., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Иванов В.В.
    • 59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC 2006), 10-13 October 2006, Columbus, Ohio, USA, 2006
  • • 2006 Плазменная очистка многослойного покрытия от загрязнений углеродом и оловом
    • Авторы: Иванов В.В., Ковалев А.С., Брагинский О.В., Рахимова Т.В., Васильева А.Н., Лопаев Д.В.
    • International EUVL Symposium, 15-18 October 2006, Barcelona, Spain, Испания, 2006
  • • 2006 Экспериментальное и теоретическое изучение функции распределения энергии ионов в одно- и двухчастотном емкостно-связанном ВЧ разряде в аргоновой плазме (Стендовый)
    • Авторы: Брагинский О.В., Ковалев А.С., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Олеванов М.А., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Васильева А.Н., Волошин Д.Г.
    • 59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC 2006), 10-13 October 2006, Columbus, Ohio, USA, 2006
  • • 2004 Генерация синглетного кислорода в газовом разряде для накачки кислородно-ионного лазера.
    • Авторы: Брагинский О.В., Клоповский К.С., Лопаев Д.В., Попов Н.А., Рахимова Т.В., Васильева А.Н., Манкелевич Ю.А., Рахимов А.Т., Ковалев А.С.
    • 57-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC 2004), 26-29 September 2004, Bunratty, Ireland, Ирландия, 2004
  • • 1992 Two regimes of MW discharge in magnetic field
    • Авторы: Vasilieva A.N., Kovalev A.S., Gavrilov K.L., Gulyev K.S.
    • ESCAMPIG 92: Eleventh European Sectional Conference on the Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases,, St Peterburg, Россия, 25-27 августа 1992
  • • 1988 The singlet oxygen generation in a plasma of nonselfsustained discharge
    • Авторы: Vaslieva A.N., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Poroykov A.Yu
    • ESCAMPIG IX, 1988
  • • 1986 Excitation of the oxygen state b1Eg+ in gas discharge plasma
    • Авторы: Vasilieva A.N., Kovalev A.S., Grishina I.A.
    • ESCAMPIG 86: eighth European Sectional Conference on the Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases, Greifswald, Германия, 26-29 августа 1986
  • • 1986 Kinetics of formation of singlet oxygen in gas discharge plasma
    • Авторы: Vasilieva A.N., Kovalev A.S., Klopovsky K.S., Grishina I.A.
    • ESCAMPIG 86: eighth European Sectional Conference on the Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases, Greifswald, Германия, 26-29 августа 1986

• Тезисы докладов

  • • 2007 Evolution of Electron Temperature and Density Distributions in the Inter-Electrode Gap of DF CCP Discharge during the RF Period
    • Braginsky O.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Vasilieva A.N.
    • в сборнике Workshop on Radio-Frequency Discharges, место издания All Hallows College, Dublin, Ireland, тезисы, с. 28
  • • 2007 Evolution of Electron Temperature and Density Distributions in the Inter-Electrode Gap of DF CCP Discharge during the RF Period
    • Braginsky O.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Voloshin D.G., Vasilieva A.N.
    • в сборнике Book of Abstracts of XXVIII International Conference on Phenomena in Ionized Gases, место издания Praha, тезисы, с. 2133-2136
  • • 2007 Experimental Study of Dual Frequency RF Discharge in Argon for Different Gas Pressures
    • Braginsky O.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Voloshin D.G., Vasilieva A.N.
    • в сборнике Proceedings of XXVIII International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG), Book of abstracts, место издания ICPIG-XXVIII Prague, Czech Republic, тезисы, с. 2114-2117
  • • 2004 New Mechanism of O2(a(1)Delta(g)) Quenching in Oxygen Contained Plasmas
    • Savin Yu V., Braginsky O.V., Kovalev A.S., Klopovsky K.S., Lopaev D.V., Mankelevich Yu A., Popov N.A., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Vasilieva A.N.
    • в сборнике XV International Simposium on Gas Flow and Chemical Lasers and High Power Laser Conference, 30 August – 3 September 2004, Book of abstracts, место издания Prague, Czech Republic, тезисы, с. 124-124
  • • 2001 Геликонный источник плазмы
    • Васильева А.Н., Ковалев А.С.
    • в сборнике Тезисы Всероссийской научно технической конференции Микро и наноэлектроника-2001 Звенигород, том 2, тезисы, с. 48-49
  • • 1998 Геликонный источник плазмы
    • Васильева А.Н., Ковалев А.С.
    • в сборнике Труды Всесоюзной научно-технической конференции Микро и наноэлектроника -98Звенигород, тезисы, с. 1-2
  • • 1998 Исследование возбуждения геликонных волн в плазме
    • Брагинский О.В., Васильева А.Н., Ковалев А.С.
    • в сборнике Труды IXВсероссийской конференции по физике газового разряда, место издания Рязань, том 1, тезисы, с. 82-84
  • • 1994 ЭЦР источник с регулируемыми параметрами плазмы
    • Брагинский О.В., Васильева А.Н., Гуляев К.С., Ковалев А.С., Лемяскин С.Н.
    • в сборнике Труды Российской конференции МЭ-94 звенигород, том 1, тезисы, с. 223-224
  • • 1990 The Efficiency of the Singlet Oxygen Generation in the Non-Self-sustained Discharge Noble Gas Plasma
    • Vasilieva A.N., Gulyaev K.S., Kovalev A.S., Lopaev D.V.
    • в сборнике Abstracts of invited talks and contributed papers, серия 14E, место издания Orleans, France, тезисы, с. 264-265
  • • 1983 Особенности распада плазмы О2 в постоянном электрическом поле
    • Васильева А.Н., Гришина И.А., Клоповский К.С., Ковалев А.С.
    • в сборнике Тез. док. 5- Всесоюзной конф. «Физика низкотемпературной плазмы», место издания НИИЭФА, Ленинград, тезисы, с. 98-100

• НИРы

  • • 3 декабря 2018 - 3 декабря 2021 Исследование способов функционализации нанопористых пленок с низкой диэлектрической проницаемостью и нанесения диффузионных барьеров на их поверхность
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Ответственные исполнители: Минаков П.В., Прошина О.В., Сычева А.А. Участники НИР: Васильева А.Н., Зырянов С.М., Ковалев А.С., Рябинкин А.Н., Серов А.О., Чукаловский А.А.
  • • 8 ноября 2016 - 31 декабря 2018 Импульсная вч плазма для поверхностных процессов: контроль потока и энергетического спектра заряженных положительных и отрицательных частиц, ВУФ излучения и процессов возбуждения/диссоциации.
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимова Т.В. Ответственные исполнители: Богданова М.А., Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Волынец А.В., Зотович А.И., Зырянов С.М., Ковалев А.С., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Прошина О.В.
  • • 1 января 2016 - 31 декабря 2018 Контроль вакуумного ультрафиолетового излучения и параметров плазмы в реакторах нового поколения для наноэлектроники.
    • Отдел микроэлектроники
    • Руководитель: Ковалев А.С. Участники НИР: Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Зырянов С.М., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Чукаловский А.А.
  • • 1 января 2015 - 31 декабря 2025 Экспериментальные и теоретические исследования неравновесных плазменных процессов в газовой фазе и на поверхности
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Алов Н.В., Богацкая А.В., Богданова М.А., Васильева А.Н., Волкова Е.А., Волошин Д.Г., Волынец А.В., Воронина Е.Н., Гаврилов А.В., Дворкин В.В., Евлашин С.А., Зиганшин И.И., Зотович А.И., Зырянов С.М., Киреева Е.Д., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кост Т.Н., Кривченко В.А., Кропоткин А.Н., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Миронович К.В., Намиот В.А., Олеванов М.А., Палов А.П., Паль А.Ф., Персианцева Н.М., Попов А.М., Попов Н.А., Поповичева О.Б., Поройков А.Ю., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Рябинкин А.Н., Самородов В.А., Сень В.В., Серов А.О., Скурихин А.В., Степанов А.С., Суетин Н.В., Сычева А.А., Тимофеев М.А., Тихонова О.В., Унтила Г.Г., Чеботарева А.Б., Чукаловский А.А., Шевнин П.Л., Шибанов Д.Р., Шкуренков И.А.
  • • 22 мая 2014 - 30 декабря 2016 Исследование свойств многочастотной ВЧ плазмы сложного состава, включая потоки и энергетический спектр ионов и фотонов, и их влияние на элементарные процессы на поверхности
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Зотович А.И., Зырянов С.М., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Палов А.П., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Сычева А.А., Чукаловский А.А.
  • • 1 июня 2012 - 31 июля 2015 Механизм образования дефектов в процессе плазменного травления материалов с низким значением диэлектрической постоянной во фторуглеродной плазме
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Волынец А.В., Зотович А.И., Зырянов С.М., Ковалев А.С., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Палов А.П., Поройков А.Ю., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Чукаловский А.А.
  • • 12 марта 2012 - 19 июня 2013 Исследование процессов взаимодействия плазмы с поверхностью при формировании наноразмерных структур в материалах с ультра низкой константой диэлектрической проницаемости с участием межуниверситетского микроэлектронного центра IMEC
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Брагинский О.В., Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Воронин П.В., Дворкин В.В., Евлашин С.А., Зырянов С.М., Киреева Е.Д., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кривченко В.А., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Миронович К.В., Палов А.П., Пащенко П.В., Пилевский А.А., Попов Н.А., Поройков А.Ю., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Самородов В.А., Селезнев Б.В., Сень В.В., Степанов А.С., Чукаловский А.А., Шевнин П.Л., Ястребов А.А.
  • • 1 января 2012 - 31 декабря 2014 Исследование объемных и поверхностных процессов в неравновесной низкотемпературной плазме
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Аванесов А.В., Брагинский О.В., Васильева А.Н., Волкова Е.А., Волошин Д.Г., Гаврилов А.В., Дворкин В.В., Дзбановский Н.Н., КЛАВДИЕВ В.В., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кост Т.Н., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Намиот В.А., Паль А.Ф., Персианцева Н.М., Пилевский А.А., Попов А.М., Попов Н.А., Поповичева О.Б., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Рябинкин А.Н., Самородов В.А., Сень В.В., Серов А.О., Скурихин А.В., Суетин Н.В., Тимофеев М.А., Тихонова О.В., Унтила Г.Г., Чеботарева А.Б.
  • • 1 января 2012 - 31 декабря 2014 Исследование фундаментальных механизмов возникновения дефектов в процессе травления материалов с ультра низкой константой диэлектрической проницаемости (ultra low-k, ULK) в двухчастотной ВЧ плазме фторуглеводородов
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимова Т.В. Участники НИР: Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Зырянов С.М., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Палов А.П., Прошина О.В.
  • • 28 июня 2010 - 15 декабря 2012 Экспериментальное и теоретическое исследование механизмов образования дефектов в современных для наноэлектроники материалах с низкой (low-k, LK) и ультра-низкой (ultra low-k, ULK) константой диэлектрической проницаемости при их взаимодействии с плазмой
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Богданова М.А., Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Волынец А.В., Воронин П.В., Дворкин В.В., Евлашин С.А., Зотович А.И., Зырянов С.М., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кривченко В.А., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Миронович К.В., Намиот В.А., Олеванов М.А., Палов А.П., Паль А.Ф., Попов А.М., Попов Н.А., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Сень В.В., Чукаловский А.А., Шарапова П.Р., Шевнин П.Л.
  • • 5 октября 2009 - 15 сентября 2010 Исследование фундаментальных процессов ламинарного и турбулентного горения и возможности контролирования процессов горения с помощью возбужденных молекул и радикалов кислорода, генерируемых в неравновесной плазме
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Либерман М.А. Участники НИР: Белоусов М.Э., Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Евлашин С.А., Зырянов С.М., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кожин В.А., Кривченко В.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Намиот В.А., Палов А.П., Паль А.Ф., Попов А.М., Попов Н.А., Прошина О.В., Рахимов А.Т., Рахимова Т.В., Сень В.В., Чукаловский А.А.
  • • 7 июля 2009 - 1 сентября 2011 Исследование неравновесных процессов в плазме многочастотных плазменных реакторов с прецизионным управлением для травления перспективных материалов наноэлектроники
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Богданова М.А., Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Волынец А.В., Воронин П.В., Дворкин В.В., Евлашин С.А., Зотович А.И., Зырянов С.М., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кривченко В.А., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Миронович К.В., Намиот В.А., Олеванов М.А., Палов А.П., Паль А.Ф., Попов А.М., Попов Н.А., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Сень В.В., Степанов А.С., Суетин Н.В., Харин В.Ю., Чукаловский А.А., Шарапова П.Р., Шевнин П.Л.
  • • 1 января 2009 - 31 декабря 2011 Экспериментальное и теоретическое исследование механизмов образования дефектов при взаимодействии плазмы с новыми пористыми материалами с низкой диэлектрической константой
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Ковалев А.С. Участники НИР: Брагинский О.В., Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Зырянов С.М., Клоповский К.С., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Прошина О.В., Рахимова Т.В.
  • • 1 января 2008 - 31 декабря 2010 Исследование процессов в плазме многочастотных емкостных разрядов при масштабировании по мощности и размерам плазменных реакторов третьего поколения для наноэлектроники
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимова Т.В. Участники НИР: Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Зырянов С.М., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Лопаев Д.В., Малыхин Е.М., Манкелевич Ю.А., Прошина О.В.

• Патенты

  • • 2009 SINGLET OXYGEN GENERATOR BASED ON HIGH-FREQUENCY DISCHARGE IN GAS STREAM
    • Авторы: Kovalev A.S., Rakhimov A.T., Rakhimova T.V., Vasileva A.N., Braginskij O.V., Lopaev D.V., Proshina O.V., Mankelevich J.A.
    • #RU2369950 (C2) , 10 октября
  • • 2009 METHOD FOR MEASUREMENT OF RADICAL CONCENTRATION IN GAS FLOW
    • Авторы: Kovalev A.S., Rakhimov A.T., Rakhimova T.V., Vasileva A.N., Braginskij O.V., Lopaev D.V.
    • #RU2363941 (C1) , 10 августа
  • • 1981 Способ осуществления несамостоятельного разряда
    • Авторы: Васильева А.Н., Гришина И.А., Ковалев А.С., Ктиторов В.И., Рахимов А.С., Розанов В.Б.
    • #911647, 9 ноября