ИСТИНА

Зотович Алексей Иванович пользователь

МГУ имени М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына, Отдел микроэлектроники, Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии, старший научный сотрудник, с 1 октября 2020

МГУ имени М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына, Отдел микроэлектроники, Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии, ведущий научный сотрудник, с 1 июля 2022

кандидат физико-математических наук с 2018 года

Прежние места работы (Нажмите для отображения)

Соавторы: Лопаев Д.В., Зырянов С.М., Рахимова Т.В., Рахимов А.Т., Baklanov M.R., Манкелевич Ю.А., Богданова М.А., Воронина Е.Н., Волынец А.В., Прошина О.В., Волошин Д.Г., Мележенко Д.Е., Astakhov D.I. показать полностью..., Krivtsun V.M., de Marneffe J., el O.Z., Палов А.П., Резванов А.А., Attallah A.G., Bijkerk F., Butterling M., Chanson R., Clemente I., Felim V., Goedheer W.J., Gubarev V., Heyne M.H., Hirschmann E., IVANOV V.V., Koshelev K., Krainov P.V., Krishtab M.B., Lazzarino F., Lee C.J., Liedke M.O., Lin Z., Liping Z., Naumov S., Nigel H., Novikova N.N., Otell Z.e., Samara V., Seregin D.S., Sergej, Shi X., Vishnevskiy A., Vishnevskiy A.S., Vorotilov K.A., Vorotilov K., Vorotyntsev D.A., Wagner A., Yiting S., de Gendt S., de Marneffe J.F., Амиров И.И., Васильева А.Н., Ковалев А.С., Корнев В.К., Кропоткин А.Н., Курчиков К.А., Маслаков К.И., Медведев В.В., Мяконьких А.В., Попов Н.А., Серегин Д.С., Сычева А.А., Чукаловский А.А.

27 статей, 17 докладов на конференциях, 2 тезисов докладов, 17 НИР, 1 награда, 1 стажировка, 1 диссертация, 1 дипломная работа, 1 курсовая работа

Количество цитирований статей в журналах по данным Web of Science: 167, Scopus: 205

IstinaResearcherID (IRID): 7739740

ResearcherID: J-7113-2015

Scopus Author ID: 56521706300

ORCID: 0000-0002-0811-6994

Деятельность

---

• Статьи в журналах

  • • 2022 Dynamics of H atoms surface recombination in low-temperature plasma
    • Gubarev V., Lopaev D., Zotovich A., Medvedev V., Krainov P., Astakhov D., Zyryanov S.
    • в журнале Journal of Applied Physics, издательство AIP Publishing (United States), том 132, № 19, с. 193301 DOI
  • 
    • 2022 Effect of H atoms and UV wideband radiation on cured low-k OSG films
    • Lopaev Dmitry, Zotovich Alexey, Zyryanov S.M., Bogdanova Maria, Rakhimova T.V., Mankelevich Yu A., Novikova N.N., Seregin Dmitry S., Vishnevskiy Alexey, Vorotilov Konstantin, Shi Xiaoping, Baklanov Mikhail
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 55, № 25, с. 255206 DOI
  • • 2022 Effect of an electron beam on a dual-frequency capacitive rf plasma: experiment and simulation
    • Bogdanova Maria, Lopaev Dmitry, Zotovich Alexey, Proshina O.V., Rakhimova T.V., Zyryanov S.M., Rakhimov A.T.
    • в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) DOI
  • • 2022 Experimental study of transition from electron beam to rf power controlled plasma in DF CCP in argon with additional ionization by an electron beam
    • Zotovich Alexey, Lopaev Dmitry, Bogdanova Maria, Zyryanov S.M., Rakhimov A.T.
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) DOI
  • 
    • 2022 Modification of Porous Ultralow-k Film by Vacuum Ultraviolet Emission
    • Zotovich Alexey I., Zyryanov Sergey M., Lopaev Dmitry V., Rezvanov Askar A., Attallah Ahmed G., Liedke Maciej O., Butterling Maik, Bogdanova Maria A., Vishnevskiy Alexey S., Seregin Dmitry S., Vorotyntsev Dmitry A., Palov Alexander P., Hirschmann Eric, Wagner Andreas, Naumov Sergej, Vorotilov Konstantin A., Rakhimova Tatyana V., Rakhimov Alexander T., Baklanov Mikhail R.
    • в журнале ACS Applied Electronic Materials, издательство American Chemical Society (United States), том 4, № 6, с. 2760-2776 DOI
  • • 2022 Study of H, N, and O atom interaction with quasi-two-dimensional molybdenum disulfide
    • Melezhenko D.E., Lopaev D.V., Zotovich A.I., Voronina E.N.
    • в журнале Technical Physics Letters, издательство Pleiades Publishing, Ltd (Road Town, United Kingdom), том 48, № 11, с. 65 DOI
  • • 2022 Исследование воздействия атомов H, N и O на квазидвумерный дисульфид молибдена
    • Мележенко Д.Е., Лопаев Д.В., Зотович А.И., Воронина Е.Н.
    • в журнале Письма в "Журнал технической физики", издательство Наука. С.-Петерб. отд-ние (СПб.), том 48, № 22, с. 28 DOI
  • 
    • 2021 “Virtual IED sensor” for df rf CCP discharges
    • Bogdanova M., Lopaev D., Rakhimova T., Voloshin D., Zotovich A., Zyryanov S.
    • в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 30, с. 075020 DOI
  • 
    • 2020 Damage of porous SiCOH low-k dielectrics by O, N and F atoms at lowered temperatures
    • Lopaev D.V., Zyryanov S.M., Zotovich A.I., Rakhimova T.V., Mankelevich Yu A., Voronina E.N.
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 53, с. 175203 DOI
  • 
    • 2020 Electron energy probability function in plasma controlled by high-energy run-away electrons
    • Lopaev D.V., Bogdanova M.A., Volynets A.V., Zotovich A.I., Zyryanov S.M.
    • в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 29, № 2, с. 025026-1-025026-8 DOI
  • 
    • 2020 Experimental and PIC MCC study of electron cooling - re-heating and plasma density decay in low pressure rf ccp argon afterglow
    • Proshina O.V., Rakhimova T.V., Kovalev A.S., Anna Vasilieva, Alexey Zotovich, Zyryanov S.M., Rakhimov A.T.
    • в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 29, № 1, с. 015015 DOI
  • 
    • 2020 Pore sealing mechanism in OSG low- k films under ion bombardment
    • Voronina E.N., Sycheva A.A., Lopaev D.V., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Proshina O.V., Voloshin D.G., Zyryanov S.M., Zotovich A.I., Mankelevich Y.A.
    • в журнале Plasma Processes and Polymers, издательство Wiley - V C H Verlag GmbbH & Co. (Germany), № 2, с. e1900165 DOI
  • 
    • 2018 Low-k protection from F radicals and VUV photons by multilayer pore grafting approach
    • Zotovich Alexey, Rezvanov Askar, Chanson Romain, Zhang Lin, Hacker Nigel, Kurchikov Konstantin Alekseevich, Klimin Sergey, Zyryanov S.M., Lopaev D., Gornev Evgeny, Clemente Iosif, Miakonkikh Andrew, Maslakov K.I.
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 51, № 32, с. 325202 DOI
  • 
    • 2018 N2 dissociation and kinetics of N(4S) atoms in nitrogen DC glow discharge
    • Volynets A.V., Lopaev D.V., Rakhimova T.V., Chukalovsky A.A., Mankelevich Yu A., Popov N.A., Zotovich A.I., Rakhimov A.T.
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 51, № 36, с. 364002 DOI
  • 
    • 2018 Silicon dioxide and low-k material sputtering in dual frequency inductive discharge by argon ions with energies from 16 to 200 eV
    • Lopaev D.V., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Zotovich A.I., Zyryanov S.M., Baklanov M.R.
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 51, № 2, с. 02LT02 DOI
  • 
    • 2018 Synergistic effect of VUV photons and F atoms on damage and etching of porous organosilicate film
    • Lopaev D.V., Zyryanov S.M., Zotovich A.I., Rakhimova T.V., Mankelevich Yu A., Rakhimov A.T., Baklanov M.R.
    • в журнале Plasma Processes and Polymers, издательство Wiley - V C H Verlag GmbbH & Co. (Germany), с. e1700213 DOI
  • 
    • 2017 Actinometry of O, N and F atoms
    • Lopaev D.V., Volynets A.V., Zyryanov S.M., Zotovich A.I., Rakhimov A.T.
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 50, № 7, с. 075202 DOI
  • 
    • 2017 Damage and etching of ultra low-k materials in fluorocarbon plasma at lowered temperatures
    • Lopaev D., Mankelevich Yu A., Rakhimova T.V., Zotovich Alexey, Zyryanov S.M., Baklanov Mikhail R.
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 50, с. 485202 DOI
  • 
    • 2017 Experimental and DFT study of nitrogen atoms interactions with SiOCH low-k films
    • Voronina E.N., Mankelevich Yu A., Rakhimova T.V., Palov A.P., Lopaev D.V., Zyryanov S.M., Zotovich A.I., Baklanov M.R.
    • в журнале European Physical Journal D, издательство Springer Verlag (Germany), том 71, с. 111 DOI
  • 
    • 2017 Multifold study of volume plasma chemistry in Ar/CF4 and Ar/CHF3 CCP discharges
    • Proshina O., Rakhimova T., Zotovich Alexey, Lopaev D., Zyryanov S., Rakhimov A.
    • в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 26, с. 075005 DOI
  • 
    • 2016 Comparison of vacuum ultra-violet emission of Ar/CF4and Ar/CF3I capacitively coupled plasmas
    • Zotovich A., Proshina O., el Otell Z., Lopaev D., Rakhimova T., Rakhimov A., de Marneffe J.F., Baklanov M.R.
    • в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 25, № 5, с. 055001 DOI
  • 
    • 2015 Plasma probe characteristics in low density hydrogen pulsed plasmas
    • Astakhov D.I., Goedheer W.J., Lee C.J., Ivanov V.V., Krivtsun V.M., Zotovich A.I., Zyryanov S.M., Lopaev D.V., Bijkerk F.
    • в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 24, № 5, с. 055018 DOI
  • 
    • 2015 Vacuum ultra-violet emission of CF4 and CF3I containing plasmas and Their effect on low-k materials
    • el Otell Z., Šamara V., Zotovich A., Hansen T., de Marneffe J.F., Baklanov M.R.
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 48, № 39, с. 395202 DOI
  • 
    • 2014 Improved Plasma Resistance for Porous Low-k Dielectrics by Pore Stuffing Approach
    • Liping Zhang, de Marneffe Jean-Francois, Heyne Markus H., Sergej Naumov, Yiting Sun, Alexey Zotovich, Otell Ziad el, Felim Vajda, Stefan De Gendt, Baklanov Mikhail R.
    • в журнале ECS Journal of Solid State Science and Technology, издательство Electrochemical Society, Inc. (United States), том 4, № 1, с. 3098-3107 DOI
  • • 2013 Nitrogen atoms influence on associative ionization in nitrogen plasma
    • Volynets A., Zotovich A., Lopaev D., Ziryanov S., Popov N.
    • в журнале Bulletin of the American Physical Society, 66th Annual Gaseous Electronics Conference, том 58, № 8
  • • 2013 Space--time evolution of low-pressure H2 plasma induced by runaway photoelectrons produced by KrF laser pulse
    • Zotovich A., Volynets A., Lopaev D., Zyryanov S., Koshelev K., Krivtsun V., Astakhov D.
    • в журнале Bulletin of the American Physical Society, 66th Annual Gaseous Electronics Conference, том 58, № 8

• Статьи в сборниках

  • 
    • 2014 The chemistry screening for ultra low-k dielectrics plasma etching
    • Zotovich A., Krishtab M., Lazzarino F., Baklanov M.R.
    • в сборнике Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, с. 944002-1-944002-10 DOI

• Доклады на конференциях

  • • 2022 Investigation of the interaction of ultrathin MoS2 films with H2, O2, and N2 plasma (Устный)
    • Авторы: Melezhenko D.E., Lopaev D.V., Zotovich A.I., Voronina E.N.
    • X International Conference "Plasma Physics and Plasma Technology" (PPPT-10), Минск, Беларусь, 12-16 сентября 2022
  • • 2021 SiO2 sputtering by low energy ions (Стендовый)
    • Авторы: Shibanov D., Lopaev D., Zyryanov S., Zotovich A., Bogdanova M., Rakhimov A.
    • Micro- and nano engineering (MNE - 2021), Турин, Италия, 20-24 сентября 2021
  • • 2021 Теоретическое и экспериментальное исследование кинетических процессов в индукционном разряде в смеси Ar/Cl2 (Устный)
    • Авторы: Волошин Д.Г., Кропоткин А.Н., Лопаев Д.В., Зотович А.И., Зырянов С.М., Рахимова Т.В., Амиров И.И.
    • IX Международный симпозиум по теоретической и прикладной плазмохимии, Иваново, Россия, 13-17 сентября 2021
  • • 2020 КОМПЛЕКСНАЯ ДИАГНОСТИКА ПАРАМЕТРОВ ПЛАЗМЫ АРГОНА ВЧ ИНДУКЦИОННОГО РАЗРЯДА В РЕАКТОРЕ С УДАЛЕННЫМ ИСТОЧНИКОМ ПЛАЗМЫ (Устный)
    • Авторы: Волошин Д.Г., Зотович А.И., Зырянов С.М., Лопаев Д.В., Изюмов М.О., Амиров И.И., Рахимова Т.В.
    • Всероссийская (с международным участием) конференция "Физика низкотемпературной плазмы" (ФНТП – 2020), Казань, Россия, 9-13 ноября 2020
  • • 2017 Актинометрия атомов O, N и F (Стендовый)
    • Авторы: Зотович А.И., Зырянов С.М., Рахимов А.Т., Волынец А.В., Лопаев Д.В.
    • Всероссийская (с международным участием) конференция "Физика низкотемпературной плазмы ФНТП-2017", Казань, Россия, 5-9 июня 2017
  • • 2017 Комплексное изучение объемной плазмохимии емкостных ВЧ-разрядов в смесях CF4/Ar и CHF3/Ar (Устный)
    • Авторы: Зотович А.И., Прошина О.В., Лопаев Д.В., Зырянов С.М., Рахимова Т.В.
    • Всероссийская (с международным участием) конференция "Физика низкотемпературной плазмы ФНТП-2017", Казань, Россия, 5-9 июня 2017
  • • 2017 Pore Surface Grafting of Porous Low-K Dielectrics by Selective Polymers (Устный)
    • Авторы: Askar Rezvanov, Liping Zhang, Mitsuhiro Watanabe, Mikhail Krishtab, Lin Zhang, Alexey Zotovich, Sergey Zyryanov, Dmitriy Lopaev, Nigel Hacker, Patrick Verdonck, Silvia Armini, Evgeny Gornev, de Marneffe Jean-Francois
    • 2017 MRS Spring Meeting, Phoenix, Arizona, США, 17-21 апреля 2017
  • • 2016 Actinometry of O, N and F atoms (Устный)
    • Авторы: ANDREY VOLYNETS, DMITRY LOPAEV, ALEXEY ZOTOVICH, SERGEY ZYRYANOV, ALEXANDER RAKHIMOV
    • 69th Annual Gaseous Electronics Conference, Bochum, Германия, 10-14 октября 2016
  • • 2016 Advanced Etching for Nano-devices and 2D materials (Устный)
    • Авторы: de Marneffe Jean-Francois, Ivo Rangelow, Andy Goodyear, Braithwaite N.St, Yvonne Sutton, Mark Bowden, Efrain Altamirano-Sanchez, Alexey Zotovich, Otell Zaid El, Boon Teik Chan, Knoll Armin W., Colin Rawlings, Duerig U., Martin Spieser, Kesthner M., Christian Neuber, Mike Cooke
    • MNE 2016, Вена, Австрия, 19-23 сентября 2016
  • • 2016 Experimental and ab initio study of nitrogen atoms interaction with SiOCH low-k films (Стендовый)
    • Авторы: Mankelevich Yu A., Voronina E.N., Rakhimova T.V., Palov A.P., Lopaev D.V., Zyryanov S.M., Zotovich A.I., Baklanov M.R.
    • International Conference on Many Particle Spectroscopy of Atoms, Molecules, Clusters and Surfaces (MPS2016), Москва, Россия, 23-26 августа 2016
  • • 2016 Comprehensive study of CF4/Ar and CHF3/Ar DF CCP discharges (Устный)
    • Авторы: Lopaev D.V., Zotovich A., Proshina O.V., Zyryanov S.M., Rakhimova T.V.
    • ESCAMPIG XXIII, Словакия, 12-16 июля 2016
  • • 2016 Ultra low-k etching by neutral beams produced from CF4/Ar and SF6/Ar ICP plasmas (Стендовый)
    • Авторы: Mikhail Baklanov, Alexey Zotovich, Otell Ziad el, Yvonne Sutton, Braithwaite N.St J, de Marneffe Jean-Francois
    • PESM 2016, Франция, 9-10 мая 2016
  • • 2015 Comparison between Vacuum Ultra-Violet emission of CF4/Ar and CF3I/Ar plasmas in CCP chamber for low-k etching (Стендовый)
    • Авторы: Zotovich Alexey I., Otell Ziad el, de Marneffe Jean-Francois, Proshina Olga V., Lopaev Dmitry V., Rakhimova Tatyana V., Baklanov Mikhail R.
    • PESM 2015, Leuven, Бельгия, 27-28 апреля 2015
  • • 2015 Effect of VUV photons on low-k OSG damage and etching by F atoms at the lowered temperature (Устный)
    • Авторы: Rakhimova T.V., Mankelevich Yu A., Lopaev D.V., Kurchikov K.A., Zyryanov S.M., Zotovich A.I., Baklanov M.R.
    • PESM 2015, Leuven, Бельгия, 27-28 апреля 2015
  • • 2014 Comparative analysis of the factors leading to low-k degradation during the integration process (Устный)
    • Авторы: Baklanov M.R., Zotovich A., Krishtab M., Lazzarino F.
    • IC MNE 2014, Россия, Звенигород, Россия, 2014
  • • 2014 The chemistry screening for ultra low-k dielectrics plasma etching (Устный)
    • Авторы: Krishtab M., Zotovich A., Lazzarino F., Baklanov M.R.
    • IC MNE 2014, Россия, Звенигород, Россия, 2014
  • • 2013 Пространственно-временная эволюция водородной плазмы, индуцированной импульсным ультрафиолетовым KrF лазером (Устный)
    • Автор: Зотович А.И.
    • XX международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых "Ломоносов", Москва, Россия, 2013

• Тезисы докладов

  • • 2022 Investigation of the interaction of ultrathin MoS2 films with H2, O2, and N2 plasma
    • Melezhenko D.E., Lopaev D.V., Zotovich A.I., Voronina E.N.
    • в сборнике Proceedings of the X International Conference "Plasma Physics and Plasma Technology" (PPPT-10), место издания Kovcheg Minsk, тезисы, с. 390-393
  • • 2021 Теоретическое и экспериментальное исследование кинетических процессов в индукционном разряде в смеси Ar/Cl2
    • Волошин Д.Г., Кропоткин А.Н., Лопаев Д.В., Зотович А.И., Зырянов С.М., Рахимова Т.В., Амиров И.И.
    • в сборнике IX Международный симпозиум по теоретической и прикладной плазмохимии: сборник трудов, место издания Иваново Иван. гос. хим.-технол, тезисы, с. 40

• НИРы

  • • 22 апреля 2022 - 30 сентября 2023 Математическое моделирование распределения параметров плазмы, оптимизация конструкции и разработка системы оптического контроля плазмы разряда экспериментального и опытного образца реактора для проведения технологических процессов плазмохимического травления (ПХТ) высокоаспектных диэлектрических структур на пластинах диаметром до 300 мм в микроэлектронном производстве уровня 65 нм
    • Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Ответственные исполнители: Волошин Д.Г., Зотович А.И., Зырянов С.М., Ковалев А.С., Кропоткин А.Н., Прошина О.В., Рахимова Т.В. Участники НИР: Богданова М.А., Зиганшин И.И., Кожин В.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Палов А.П., Поройков А.Ю., Скурихин А.В., Чукаловский А.А., Шибанов Д.Р.
  • • 1 января 2022 - 15 декабря 2023 Воздействие ВУФ излучения плазмы на пористые материалы с низкой диэлектрической проницаемостью в процессе нанесения диффузионных барьеров методом физического газофазного осаждения с ионизацией.
    • Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
    • Руководитель: Рябинкин А.Н. Ответственный исполнитель: Серов А.О. Участники НИР: Зотович А.И., Шибанов Д.Р.
  • • 20 мая 2019 - 31 декабря 2020 Механизм травления и повреждения нанопористых диэлектрических материалов при пониженных температурах
    • Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
    • Руководитель: Манкелевич Ю.А. Ответственные исполнители: Воронина Е.Н., Зырянов С.М., Лопаев Д.В. Участники НИР: Волошин Д.Г., Зотович А.И., Кропоткин А.Н., Палов А.П., Рахимова Т.В., Сычева А.А., Шибанов Д.Р.
  • • 3 декабря 2018 - 3 января 2021 Исследование и разработка многостадийных, циклических процессов плазмохимического травления материалов с атомарным разрешением для формирования многоуровневых систем металлизации суб-10 нм технологии изготовления интегральных схем
    • Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физико-технологический институт имени К.А. Валиева Российской академии наук
    • Руководитель: Амиров И.И. Ответственные исполнители: Воронина Е.Н., Зотович А.И., Лопаев Д.В. Участники НИР: Волошин Д.Г., Волынец А.В., Горлачев Е.С., Изюмов М.О., Куприянов А.Н., Наумов В.В., Чукаловский А.А.
  • • 3 декабря 2018 - 3 января 2021 Исследование способов предотвращения деградации материалов с ультранизкой диэлектрической проницаемостью при производстве СБИС на этапе плазмохимического травления
    • Отдел микроэлектроники
    • Руководитель: Лопаев Д.В. Ответственные исполнители: Волынец А.В., Палов А.П., Рахимова Т.В. Участники НИР: Богданова М.А., Волошин Д.Г., Зотович А.И., Зырянов С.М., Манкелевич Ю.А.
  • • 10 октября 2018 - 1 октября 2020 Исследование высокочастотной плазмы, контролируемой электронным пучком, для новейших реакторов современной микротехнологии
    • Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
    • Руководитель: Зырянов С.М. Ответственные исполнители: Богданова М.А., Зотович А.И., Чукаловский А.А. Участники НИР: Волошин Д.Г., Волынец А.В., Лопаев Д.В.
  • • 2 мая 2017 - 31 декабря 2018 Исследование свойств многочастотной ВЧ плазмы сложного состава, включая потоки и энергетический спектр ионов и фотонов, и их влияние на элементарные процессы на поверхности
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Ответственные исполнители: Волошин Д.Г., Палов А.П., Рахимова Т.В. Участники НИР: Богданова М.А., Волынец А.В., Зотович А.И., Ковалев А.С., Поройков А.Ю., Сычева А.А., Чукаловский А.А.
  • • 8 ноября 2016 - 31 декабря 2018 Импульсная вч плазма для поверхностных процессов: контроль потока и энергетического спектра заряженных положительных и отрицательных частиц, ВУФ излучения и процессов возбуждения/диссоциации.
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимова Т.В. Ответственные исполнители: Богданова М.А., Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Волынец А.В., Зотович А.И., Зырянов С.М., Ковалев А.С., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Прошина О.В.
  • • 16 мая 2016 - 31 декабря 2018 Механизм травления и повреждения нанопористых диэлектрических материалов при пониженных температурах
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Манкелевич Ю.А. Ответственные исполнители: Зырянов С.М., Лопаев Д.В., Прошина О.В. Участники НИР: Богданова М.А., Волошин Д.Г., Воронина Е.Н., Зотович А.И., Иванов А.С., Кропоткин А.Н., Курчиков К.А., Палов А.П., Сычева А.А.
  • • 12 февраля 2016 - 31 декабря 2017 Пространственно-временная динамика импульсных ЭУФ и УФ – индуцированных плазм
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Абрикосов А.А. Участники НИР: Астахов Д.И., Зотович А.И.
  • • 1 января 2015 - 31 декабря 2025 Экспериментальные и теоретические исследования неравновесных плазменных процессов в газовой фазе и на поверхности
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Алов Н.В., Богацкая А.В., Богданова М.А., Васильева А.Н., Волкова Е.А., Волошин Д.Г., Волынец А.В., Воронина Е.Н., Гаврилов А.В., Дворкин В.В., Евлашин С.А., Зиганшин И.И., Зотович А.И., Зырянов С.М., Киреева Е.Д., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кост Т.Н., Кривченко В.А., Кропоткин А.Н., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Миронович К.В., Намиот В.А., Олеванов М.А., Палов А.П., Паль А.Ф., Персианцева Н.М., Попов А.М., Попов Н.А., Поповичева О.Б., Поройков А.Ю., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Рябинкин А.Н., Самородов В.А., Сень В.В., Серов А.О., Скурихин А.В., Степанов А.С., Суетин Н.В., Сычева А.А., Тимофеев М.А., Тихонова О.В., Унтила Г.Г., Чеботарева А.Б., Чукаловский А.А., Шевнин П.Л., Шибанов Д.Р., Шкуренков И.А.
  • • 22 мая 2014 - 30 декабря 2016 Исследование свойств многочастотной ВЧ плазмы сложного состава, включая потоки и энергетический спектр ионов и фотонов, и их влияние на элементарные процессы на поверхности
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Зотович А.И., Зырянов С.М., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Палов А.П., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Сычева А.А., Чукаловский А.А.
  • • 10 февраля 2014 - 31 декабря 2015 Энергетический спектр ионов на поверхности электрода в многочастотной вч плазме
    • Физический факультет
    • Руководитель: Зырянов С.М. Участники НИР: Волошин Д.Г., Зотович А.И.
  • • 1 июня 2012 - 31 июля 2015 Механизм образования дефектов в процессе плазменного травления материалов с низким значением диэлектрической постоянной во фторуглеродной плазме
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Волынец А.В., Зотович А.И., Зырянов С.М., Ковалев А.С., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Палов А.П., Поройков А.Ю., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Чукаловский А.А.
  • • 1 февраля 2012 - 30 ноября 2013 Механизм модификации нанопористых диэлектрических материалов при травлении во фторуглеродной плазме
    • Физический факультет
    • Руководитель: Зырянов С.М. Участники НИР: Волошин Д.Г., Волынец А.В., Зотович А.И., Курчиков К.А., Шкуренков И.А.
  • • 28 июня 2010 - 15 декабря 2012 Экспериментальное и теоретическое исследование механизмов образования дефектов в современных для наноэлектроники материалах с низкой (low-k, LK) и ультра-низкой (ultra low-k, ULK) константой диэлектрической проницаемости при их взаимодействии с плазмой
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Богданова М.А., Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Волынец А.В., Воронин П.В., Дворкин В.В., Евлашин С.А., Зотович А.И., Зырянов С.М., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кривченко В.А., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Миронович К.В., Намиот В.А., Олеванов М.А., Палов А.П., Паль А.Ф., Попов А.М., Попов Н.А., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Сень В.В., Чукаловский А.А., Шарапова П.Р., Шевнин П.Л.
  • • 7 июля 2009 - 1 сентября 2011 Исследование неравновесных процессов в плазме многочастотных плазменных реакторов с прецизионным управлением для травления перспективных материалов наноэлектроники
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Богданова М.А., Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Волынец А.В., Воронин П.В., Дворкин В.В., Евлашин С.А., Зотович А.И., Зырянов С.М., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кривченко В.А., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Миронович К.В., Намиот В.А., Олеванов М.А., Палов А.П., Паль А.Ф., Попов А.М., Попов Н.А., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Сень В.В., Степанов А.С., Суетин Н.В., Харин В.Ю., Чукаловский А.А., Шарапова П.Р., Шевнин П.Л.

• Награды и премии

  • • 2021 Премия по Программе развития МГУ
    • Лауреат: Зотович Алексей Иванович
    • НИИЯФ МГУ, Россия

• Стажировки в организациях

  • • 1 марта 2014 - 28 августа 2014 IMEC, Бельгия

• Диссертация

  • • 2018 Деградация нанопористых диэлектриков в высокочастотной плазме и способы ее уменьшения
    • Кандидатская диссертация по специальности 01.04.15 - Физика и технология наноструктур, атомная и молекулярная физика (физ.-мат. науки)
    • Автор: Зотович Алексей Иванович, к.ф.-м.н., МГУ имени М.В. Ломоносова
    • Научный руководитель: Рахимов Александр Турсунович, д.ф.-м.н., проф., МГУ имени М.В. Ломоносова
    • Защищена в совете МГУ.01.05 МГУ имени М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Организация, в которой выполнялась работа: МГУ имени М.В. Ломоносова
    • Оппоненты: Александров Николай Леонидович, Филиппов Анатолий Васильевич, Амиров Ильдар Искандерович

• Руководство дипломными работами

  • • 2021 Калибровка актинометрических сечений атомов O и N методом NO титрования
    • Научный руководитель: Зотович А.И.
    • Автор: Сухов Вадим Александрович (Бакалавр)

• Руководство курсовыми работами

  • • 2019 Плазмохимические методы травления в современной микроэлектронике. Атомно-слоевое травление.
    • Научный руководитель: Зотович А.И.
    • Автор: Сухов Вадим Александрович (Бакалавр)

---