Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИСТИНА ИНХС РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
В связи с техническими работами в центре обработки данных, возможность загрузки и скачивания файлов временно недоступна.
скрыть
отправить сообщение
Мяконьких Андрей Валерьевич
пользователь
кандидат физико-математических наук с 2009 года
Физико-технологический институт им. К.А. Валиева Российской академии наук
Соавторы:
Татаринцев А.А.
,
Руденко К.В.
,
Руденко К.В.
,
Рогожин А.Е.
,
Руденко К.В.
,
Шишлянников А.В.
,
Kuzmenko V.O.
,
Крупенин В.А.
,
Ломов А.А.
,
Орешко А.П.
,
Преснов Д.Е.
,
Gornev E.S.
,
Божьев И.В.
показать полностью...
,
Резванов А.А.
,
Трифонов А.С.
,
Шемухин А.А.
,
Chernomyrdin N.V.
,
Clemente I.
,
Fu D.J.
,
Kalnov V.A.
,
LUKICHEV V.
,
Nozdrin V.S.
,
ORLIKOVSKII A.
,
Tikhonenko F.V.
,
Rudenko K.
,
Белых С.Ф.
,
Дроздов М.Н.
,
Иешкин А.Е.
,
Коробейщиков Н.Г.
,
Лагов П.Б.
,
Орликовский Н.А.
,
Павлов Ю.С.
,
Пеленович В.О.
,
Рогожин А.Е.
,
Толстогузов А.Б.
,
Andalashvili M.
,
Baklanov M.R.
,
Chanson R.
,
Domaratskiy I.
,
Kochkova A.
,
Lebedev A.A.
,
Lee I.H.
,
Lin Z.
,
Maslovsky V.M.
,
Nigel H.
,
Orlikovsky N.A.
,
Pearton S.J.
,
Shahsenov I.S.
,
Shchemerov I.V.
,
Tikhonenko F.
,
Zarubanov A.A.
,
Zhevnerov E.V.
,
Rudakov V.
,
Амиров И.И.
,
Баширян Б.А.
,
Гаджиева О.А.
,
Грушин Б.А.
,
Дедкова А.А.
,
Дюжев Н.А.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Иваненко И.П.
,
Киреев В.Ю.
,
Киселев Д.А.
,
Клементе И.Э.
,
Кобец У.А.
,
Корнев В.К.
,
Кузьменко В.О.
,
Курчиков К.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Лубенченко А.В.
,
Лукичев В.Ф.
,
Маслаков К.И.
,
Миннебаев Д.К.
,
Назаров А.В.
,
Поляков А.Я.
,
Рудаков В.И.
,
Симакин С.Г.
,
Усачев Д.Ю.
,
Циняйкин И.И.
,
Чесноков Ю.М.
,
Чесноков Ю.Н.
,
Шиманский В.Н.
47 статей
,
10 докладов на конференциях
,
13 тезисов докладов
,
1 НИР
Количество цитирований статей в журналах по данным Web of Science: 51, Scopus: 77
РИНЦ:
IstinaResearcherID (IRID): 301115263
ResearcherID:
B-1357-2016
Scopus Author ID:
57203712756
ORCID:
0000-0002-9547-1619
Деятельность
Статьи в журналах
2023
Conducting Surface Layers Formed by Hydrogenation of O-Implanted $upBeta$-Ga2o3
Polyakov Alexander Y.
, Vasilev A.,
Shchemerov I.
, Chernyk A., Shetinin I.,
Zhevnerov E.V.
,
Kochkova A.I.
,
Lagov P.B.
,
Miakonkich A.V.
,
Pavlov Yuri
,
Kobets U.A.
,
Lee In-Hwan
, Kuznetsov A.,
Pearton Stephen
в журнале
SSRN Electronic Journal
, издательство
Elsevier B.V.
(Netherlands)
DOI
2022
Cobalt subtractive etch for advanced interconnects
Rogozhin A.
,
Miakonkikh A.
,
Tatarintsev A.
,
Amirov I.
,
Rudenko K.
в журнале
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
, издательство
SPIE, the International Society for Optical Engineering
(Bellingham, WA, United States)
, № 12157
DOI
2022
Dielectric permittivity of organosilicate glass thin films on a sapphire substrate determined using time-domain THz and Fourier IR spectroscopy
Komandin G.A.,
Nozdrin V.S.
,
Chernomyrdin N.V.
, Seregin D.S., Vishnevskiy A.S., Kurlov V.N., Vorotilov K.A.,
Miakonkikh A.V.
, Lomov A.A., Rudenko K.V., Spektor I.E.
в журнале
Journal of Physics D
, том 55, № 2
DOI
2022
Dielectric permittivity of organosilicate glass thin films on a sapphire substrate determined using time-domain THz and Fourier IR spectroscopy
Komandin G.A.,
Nozdrin V.S.
,
Chernomyrdin N.V.
, Seregin D.S., Vishnevskiy A.S., Kurlov V.N., Vorotilov K.A.,
Miakonkikh A.V.
, Lomov A.A., Rudenko K.V., Spektor I.E.
в журнале
Journal of Physics D
, том 55, № 2
DOI
2022
Investigation of plasma resistance of the HSQ electronic resist for prototyping of nanoelectronic devices
Miakonkikh A.V.
,
Shishlyannikov A.V.
,
Tatarintsev A.A.
,
Kuzmenko V.O.
,
Rudenko K.V.
,
Gornev E.S.
в журнале
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
, издательство
SPIE, the International Society for Optical Engineering
(Bellingham, WA, United States)
, № 12157
DOI
2022
Parallel nanowire sensors with a high-k gate oxide for the sensitive operation in liquids
Popov V.P.,
Tikhonenko F.V.
, Antonov V.A.,
Zarubanov A.A.
, Gluhov A.V.,
Tatarintsev A.A.
,
Miakonkikh A.V.
,
Rudenko K.V.
в журнале
Solid-State Electronics
, издательство
Pergamon Press Ltd.
(United Kingdom)
, том 194
DOI
2021
Application of the Spectral Ellipsometry Method to Study the Processes of Atomic Layer Deposition
Miakonkikh A.V.
, Smirnova E.A.,
Clemente I.E.
в журнале
Russian Microelectronics
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 50, № 4, с. 230-238
DOI
2021
Diode‐like current leakage and ferroelectric switching in silicon sis structures with hafnia‐alumina nanolaminates
Popov V.P., Tikhonenko F.V., Antonov V.A., Tyschenko I.E.,
Miakonkikh A.V.
, Simakin S.G., Rudenko K.V.
в журнале
Nanomaterials
, издательство
MDPI
(Basel, Switzerland)
, том 11, № 2, с. 1-14
DOI
2021
Excitation of localized graphene plasmons by aperiodic self-assembled arrays of metallic antennas
Kaydashev V., Khlebtsov B.,
Miakonkikh A.
, Zhukova E., Zhukov S., Mylnikov D.,
Domaratskiy I.
, Svintsov D.
в журнале
Nanotechnology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 32, № 3
DOI
2021
Low-Pressure Inductively Coupled CF3Br Plasma Studied by the Langmuir Probe and Optical Emission Spectroscopy Techniques
Kuzmenko V.O.
,
Miakonkikh A.V.
в журнале
Technical Physics Letters
, издательство
Pleiades Publishing, Ltd
(Road Town, United Kingdom)
, том 47, № 1, с. 99-102
DOI
2021
Micro-raman characterization of structural features of high-k stack layer of soi nanowire chip, designed to detect circular rna associated with the development of glioma
Ivanov Y.D., Malsagova K.A., Popov V.P., Kupriyanov I.N., Pleshakova T.O., Galiullin R.A., Ziborov V.S., Dolgoborodov A.Yu, Petrov O.F.,
Miakonkikh A.V.
, Rudenko K.V., Glukhov A.V., Smirnov A.Yu,
Usachev D.Yu
,
Gadzhieva O.A.
,
Bashiryan B.A.
,
Shimansky V.N.
, Enikeev D.V., Potoldykova N.V., Archakov A.I.
в журнале
Molecules
, издательство
MDPI
(Basel, Switzerland)
, том 26, № 12, с. 1-13
DOI
2021
Numerical Simulation of Cryogenic Etching: Model with Delayed Desorption
Rudenko M.K.,
Myakon’kikh A.V.
, Lukichev V.F.
в журнале
Russian Microelectronics
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 50, № 1, с. 54-62
DOI
2021
Plasma enhanced atomic layer deposition of ruthenium films using ru(Etcp)2 precursor
Rogozhin A.,
Miakonkikh A.
, Smirnova E., Lomov A., Simakin S., Rudenko K.
в журнале
Coatings
, издательство
MDPI
(Basel, Switzerland)
, том 11, № 2, с. 1-11
DOI
2021
Robust semiconductor-on-ferroelectric structures with hafnia-zirconia-alumina UTBOX stacks compatible with CMOS technology
Popov V.P., Antonov V.A.,
Tikhonenko F.V.
, Tarkov S.M., Gutakovskii A.K., Tyschenko I.E.,
Miakonkikh A.V.
, Lomov A.A., Rogozhin A.E., Rudenko K.V.
в журнале
Journal of Physics D
, том 54, № 22
DOI
2021
Study of the Plasma Resistance of a High Resolution e-Beam Resist HSQ for Prototyping Nanoelectronic Devices
Miakonkikh A.V.
,
Shishlyannikov A.V.
,
Tatarintsev A.A.
,
Kuzmenko V.O.
,
Rudenko K.V.
,
Gornev E.S.
в журнале
Russian Microelectronics
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 50, № 5, с. 297-302
DOI
2021
Исследование плазмостойкости электронного резиста HSQ высокого разрешения для прототипирования приборов наноэлектроники
Мяконьких А.В.
,
Шишлянников А.В.
,
Татаринцев А.А.
,
Кузьменко В.О.
,
Руденко К.В.
, Горнев Е.С.
в журнале
Микроэлектроника
, издательство
Общество с ограниченной ответственностью Интеграция: Образование и Наука
(Москва)
, том 49, № 5
DOI
2020
Hafnia and alumina stacks as UTBOXs in silicon-on insulator
Popov V.P., Antonov V.A., Gutakovskiy A.K., Tyschenko I.E., Vdovin V.I.,
Miakonkikh A.V.
,
Rudenko K.V.
в журнале
Solid-State Electronics
, издательство
Pergamon Press Ltd.
(United Kingdom)
, том 168, с. 107734
DOI
2020
Influence of the Finite-Size Effect on the Cluster Ion Emission of Silicon Nanostructures
Tolstoguzov A.B.
,
Drozdov M.N.
,
Ieshkin A.E.
,
Tatarintsev A.A.
,
Myakonkikh A.V.
,
Belykh S.F.
,
Korobeishchikov N.G.
,
Pelenovich V.O.
,
Fu D.J.
в журнале
JETP Letters
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 111, № 8, с. 467-471
DOI
2020
Влияние размерного эффекта на кластерную ионную эмиссию наноструктур кремния
Толстогузов А.Б.
,
Дроздов М.Н.
,
Иешкин А.Е.
,
Татаринцев А.А.
,
Мяконьких А.В.
,
Белых С.Ф.
,
Коробейщиков Н.Г.
,
Пеленович В.О.
,
Фу Д.
в журнале
Письма в "Журнал экспериментальной и теоретической физики"
, том 111, № 8, с. 531-535
DOI
2020
ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССА ФОРМИРОВАНИЯ ЛИНИЙ В ПОРИСТЫХ ДИЭЛЕКТРИКАХ ДЛЯ СИСТЕМЫ МЕТАЛЛИЗАЦИИ С ПРОЕКТНЫМИ НОРМАМИ 28 НМ И НИЖЕ
Орлов А.А.,
Резванов А.А.
,
Мяконьких А.В.
в журнале
Наноиндустрия
, издательство
АО "Рекламно-издательский центр "Техносфера"
(Москва)
, том 96, № 3s, с. 684-687
DOI
2019
Atomic layer etching of Silicon Oxide
Kuzmenko V.,
Miakonkikh A.
,
Rudenko K.
в журнале
Journal of Physics: Conference Series
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 1410, с. 012023
2019
Fabrication and properties of SOI-based planar silicon nanowire arrays
Rogozhin Alexander E.
,
Miakonkikh Andrey V.
,
Tatarintsev Andrey A.
,
Rudenko K.V.
в журнале
Proc. SPIE, International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2018
, том 11022, с. 1102222
DOI
2018
Dependence of the Resistance of the Negative e-Beam Resist HSQ Versus the Dose in the RIE and Wet Etching Processes
Miakonkikh A.V.
,
Orlikovskiy N.A.
,
Rogozhin A.E.
,
Tatarintsev A.A.
,
Rudenko K.V.
в журнале
Russian Microelectronics
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 47, № 3, с. 157-19
DOI
2018
Investigation of the Process of Open Plasma-Chemical Etching of HkMG Stack Nanoscale Transistor with a 32-nm Critical Dimension
Myakonkikh A.V.
, Kuvaev K.Yu,
Tatarintsev A.A.
,
Orlikovskii N.A.
,
Rudenko K.V.
, Guschin O.P., Gornev E.S.
в журнале
Russian Microelectronics
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 47, № 5, с. 325-333
DOI
2018
Local sensor based on nanowire field effect transistor from inhomogeneously doped silicon on insulator
Presnov Denis E.
,
Bozhev Ivan V.
,
Miakonkikh Andrew V.
,
Simakin Sergey G.
,
Trifonov Artem S.
,
Krupenin Vladimir A.
в журнале
Journal of Applied Physics
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 123, № 5, с. 054503
DOI
2018
Low-k protection from F radicals and VUV photons by multilayer pore grafting approach
Zotovich Alexey
,
Rezvanov Askar
,
Chanson Romain
,
Zhang Lin
,
Hacker Nigel
,
Kurchikov Konstantin Alekseevich
, Klimin Sergey,
Zyryanov S.M.
,
Lopaev D.
,
Gornev Evgeny
,
Clemente Iosif
,
Miakonkikh Andrew
,
Maslakov K.I.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 51, № 32, с. 325202
DOI
2018
Micro-Raman Spectroscopy for Monitoring of Deposition Quality of High-k Stack Protective Layer onto Nanowire FET Chips for Highly Sensitive miRNA Detection
Malsagova Kristina, Pleshakova Tatyana, Kozlov Andrey, Shumov Ivan, Ilnitskii Mikhail,
Miakonkikh Andrew
, Popov Vladimir,
Rudenko Konstantin
, Glukhov Alexander, Kupriyanov Igor, Ivanova Nina, Rogozhin Alexander, Archakov Alexander, Ivanov Yuri
в журнале
Biosensors
, издательство
MDPI
(Basel, Switzerland)
, том 8, № 3, с. 72
DOI
2018
Microstructure and electrical properties of thin HfO2 deposited by plasma-enhanced atomic layer deposition
Chesnokov Yu M.,
Miakonkikh A.V.
, Rogozhin A.E.,
Rudenko K.V.
, Vasiliev A.L.
в журнале
Journal of Materials Science
, издательство
Springer Nature
(Switzerland)
, том 53, № 10, с. 7214-7223
DOI
2018
Зависимость стойкости негативного электронного резиста HSQ от дозы облучения в процессе плазмохимического и химического травления
Мяконьких А.В.
,
Орликовский Н.А.
,
Рогожин А.Е.
,
Татаринцев А.А.
,
Руденко К.В.
в журнале
Микроэлектроника
, издательство
Общество с ограниченной ответственностью Интеграция: Образование и Наука
(Москва)
, том 47, № 3, с. 179-186
DOI
2018
Исследования воздействия лазерного излучения на параметры пленок оксида алюминия, осаждаемых в процессе атомно-слоевого осаждения
Дедкова А.А.
,
Дюжев Н.А.
,
Киреев В.Ю.
,
Клементе И.Э.
,
Мяконьких А.В.
, Руденко К.В.
в журнале
Российские нанотехнологии
, издательство
Парк-медиа
(М.)
, том 13, № 9-10, с. 51-57
DOI
2017
Cryogenic etching of porous low-k dielectrics in CF3Br and CF4 plasmas
Rezvanov Askar
,
Miakonkikh Andrey V.
, Vishnevskiy Alexey S.,
Rudenko Konstantin V.
,
Baklanov Mikhail R.
в журнале
Journal of Vacuum Science & Technology B, Nanotechnology and Microelectronics
, том 35, № 2, с. 021204
DOI
2017
Комплементарные исследования внутренних пористых слоев кремния, образованных при высокодозной имплантации ионов гелия
Ломов А.А.
,
Мяконьких А.В.
,
Чесноков Ю.Н.
,
Шемухин А.А.
,
Орешко А.П.
в журнале
Кристаллография
, издательство
ФГУП Издательство «Наука»
(Москва)
, том 62, № 2, с. 196-201
DOI
2016
Silicon ohmic lateral-contact MEMS switch for RF applications
Rogozhin A.
,
Miakonkikh A.
,
Tatarintsev A.
, Lebedev K.,
Kalnov V.
,
Rudenko K.
,
Lukichev V.
в журнале
Proc. SPIE, International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2016
, том 10224, с. 1022419-1-1022419-7
DOI
2016
Исследования процесса аморфизации имплантированных низкоэнергетичными ионами гелия приповерхностных слоев кремния
Ломов А.А.
,
Мяконьких А.В.
,
Орешко А.П.
,
Шемухин А.А.
в журнале
Кристаллография
, издательство
ФГУП Издательство «Наука»
(Москва)
, том 61, № 2, с. 195-202
DOI
2014
X-ray reflectometry of the specific features of structural distortions of He+-implanted Si(001) surface layers
Lomov A.A.,
Myakonkikh A.V.
,
Rudenko K.V.
, Chesnokov Yu M.
в журнале
Crystallography Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 59, № 3, с. 331-337
DOI
Статьи в сборниках
2021
Application of Langmuir probe and optical emission spectroscopy for bromofluorocarbon plasma diagnostics
Kuzmenko V.,
Miakonkikh A.
, Rudenko K.
в сборнике
Journal of Physics: Conference Series
, том 1870
DOI
2021
Excitation of localized graphene plasmons by using non-periodical self-assembled arrays of metallic antennas
Kaydashev V., Khlebtsov B.,
Miakonkikh A.
, Zhukov S., Zhukova E., Svintsov D.
в сборнике
AIP Conference Proceedings
, том 2359
DOI
2021
Excitation of localized graphene plasmons by using non-periodical self-assembled arrays of metallic antennas
Kaydashev V., Khlebtsov B.,
Miakonkikh A.
, Zhukov S., Zhukova E., Svintsov D.
в сборнике
AIP Conference Proceedings
, том 2359
DOI
2021
Thermal Stability of Ferroelectricity in Hafnia-Zirconia-Alumina Buried Oxide Stacks
Tikhonenko F.
, Antonov V., Popov V.,
Miakonkikh A.
, Rudenko K.
в сборнике
2021 Joint International EUROSOI Workshop and International Conference on Ultimate Integration on Silicon, EuroSOI-ULIS 2021
DOI
2020
The effect of plasma immersion ion implantation of Ne+or Ar+or Kr+on the forming voltage of the resistive switching in the structure Ni/Pt/HfO2(10nm)/TaN(5nm)/TiN
Permyakova O.O.,
Miakonkikh A.V.
, Rudenko K.V., Rogozhin A.E.
в сборнике
Journal of Physics: Conference Series
, том 1695
DOI
2018
Технологии формирования затворного HkMG-стека с MIPS-структурой для МДП-транзистора с критическими размерами 32/28 нм
Мяконьких А.В.
,
Рогожин А.Е.
,
Татаринцев А.А.
,
Руденко К.В.
, Гущин О.П.
в сборнике
Труды ФТИАН
, издательство
Наука
(М.)
, том 28, с. 42-59
2018
Электронная литография и анизотропное плазмохимическое травление кремниевых FIN-структур для FINFET и SiNW транзисторов с размерами 11-22 нм
Мяконьких А.В.
,
Татаринцев А.А.
,
Руденко К.В.
в сборнике
Труды ФТИАН
, издательство
Наука
(М.)
, том 28, с. 59-65
2017
Влияние термического отжига на структуру скрытых слоев кремния с гелиевыми порами-пузырями
Ломов А.А.
,
Мяконьких А.В.
,
Чесноков Ю.М.
,
Киселев Д.А.
,
Орешко А.П.
в сборнике
XXVII международная конференция "Радиационная физика твердого тела"
, серия
Радиационная физика твёрдого тела
, место издания
ФГБНУ «НИИ ПМТ»
, с. 78-88
2015
Исследование Si (001) подложек, подвергнутых плазменно-иммерсионно ионной имплантации He+ методом рентгеновской рефлектометрии
Ломов А.А.
,
Мяконьких А.В.
,
Орешко А.П.
,
Шемухин А.А.
,
Назаров А.В.
в сборнике
Современные методы анализа дифракционных данных и актуальные проблемы рентгеновской оптики
, место издания
Великий Новгород
, с. 135-138
2014
Carbon and fluorine co-implantation for boron diffusion suppression in extremely ultra shallow junctions
Miakonkikh A.V.
, Rogozhin A.E., Rudakov V.I.,
Rudenko K.V.
, Lukichev V.F.
в сборнике
-
, том 9440
DOI
2014
Monte Carlo simulation of boron doping profile of fin and trench structures by plasma immersion ion implantation
Shahsenov I.S.
,
Miakonkikh A.V.
,
Rudenko K.V.
в сборнике
-
, том 9440
DOI
2012
Instrumented wafer as a Langmuir multiprobe tool for lateral plasma homogeneity measurements in processing plasma reactors
Miakonkikh A.
, Lisovsky S., Rudenko M.,
Rudenko K.
в сборнике
-
, том 8700
DOI
Доклады на конференциях
2021
Electron beam lithography on the surface with 3D relief
(Устный)
Авторы:
Myakonkikh A.
,
Tatarintsev A.
,
Rudenko K.
ICMNE-2021
, г. Звенигород, РФ, Россия, 4-8 октября 2021
2021
Investigation of plasma resistance of the HSQ electronic resist for prototyping of nanoelectronic devices
(Устный)
Авторы:
Myakonkikh A.
,
Shishlyannikov A.
,
Tatarintsev A.
,
Kuzmenko V.O.
,
Rudenko K.
,
Gornev E.
ICMNE-2021
, г. Звенигород, РФ, Россия, 4-8 октября 2021
2021
Study of silicon carbide surface at different stages of doping by nitrogen atoms
(Стендовый)
Авторы:
Andalashvili M.Z.
,
Presnov D.E.
,
Minnebaev D.K.
,
Rogozin A.E.
,
Miakonkikh A.V.
,
Lubenchenko A.V.
,
Tsiniaikin I.I.
,
Krupenin V.A.
,
Trifonov A.S.
ICMNE-2021
, г. Звенигород, РФ, Россия, 4-8 октября 2021
2019
Chlorine-Based Plasma Etch in GaAs Triple-Junction Solar Cells Technology
(Стендовый)
Авторы:
Lagov P.B.
,
Maslovsky V.M.
,
Miakonkikh A.V.
,
Pavlov Yu S.
,
Lebedev A.A.
11th International Conference New Electrical and Electronic Technologies and their Industrial Implementation (NEET 2019)
, Zakopane, Польша, 25-28 июня 2019
2018
E-beam lithography of dense 10 nm line/space pattern using the HSQ mask
(Устный)
Авторы:
Rudenko K.V.
,
Shishlyannikov A.
,
Tatarintsev A.A.
,
Miakonkikh A.V.
International Conference "Micro- and Nanoelectronics — 2018" (ICMNE-2018)
, Звенигород, Московская область, Россия, 1-5 октября 2018
2017
Влияние термического отжига на структуру скрытых слоев кремния с гелиевыми порами-пузырями
(Устный)
Авторы:
Ломов А.А.
,
Мяконьких А.В.
,
Орешко А.П.
,
Киселев Д.А.
,
Чесноков Ю.М.
XXVII международная конференция "Радиационная физика твердого тела"
, Севастополь, Россия, 10 июля - 15 августа 2017
2015
Полевой транзистор с каналом-нанопроводом как локальный сенсор с высоким пространственным разрешением
(Устный)
Авторы:
Крупенин В.А.
,
Божьев И.В.
,
Преснов Д.Е.
,
Мяконьких А.В.
,
Рудаков В.И.
Семнадцатая всероссийская молодежная конференция по физике полупроводников и наноструктур, полупроводниковой опто- и наноэлектронике, Санкт-Петербург, 23 ноября - 27 ноября 2015 г.
, Санкт-Петербург, Россия, 23-27 ноября 2015
2015
Исследование Si (001) подложек, подвергнутых плазменно-иммерсионно ионной имплантации He+ методом рентгеновской рефлектометрии
(Устный)
Авторы:
Ломов А.А.
,
Мяконьких А.В.
,
Орешко А.П.
,
Шемухин А.А.
,
Назаров А.В.
Седьмой международный научный семинар и Пятая международная научная школа-семинар "Современные методы анализа дифракционных данных и актуальные проблемы рентгеновской оптики", Великий Новгород, 24-29 августа 2015 г.
, Великий Новгород, судно «Господин Великий Новгород», Россия, 24-29 августа 2015
2015
Исследование состава тонких диэлектрических слоев с помощью ионно-пучковых технологий
(Стендовый)
Авторы:
Рогожин А.Е.
,
Руденко К.В.
,
Мяконьких А.В.
,
Черныш В.С.
,
Шемухин А.А.
,
Балакшин Ю.В.
,
Рудаков В.И.
XLV Международная Тулиновская конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами
, Москва, Россия, 26-30 мая 2015
2014
Non-uniformly doped SOI based FETransistor with nanowire channel
(Стендовый)
Авторы:
Presnov D.
,
Miakonkikh A.
,
Bozhjev I.
,
Rudakov V.
,
Trifonov A.
,
Krupenin V.
International conference «Micro- and Nanoelectronics - 2014» (ICMNE-2014)
, Moscow-Zvenigirod, Russia, Россия, 2014
Тезисы докладов
2021
Electron beam lithography on the surface with 3D relief
Myakonkikh A.
,
Tatarintsev A.
,
Rudenko K.
в сборнике
Proceedings of International Confernce "Micro- and Nanoelectronics - 2021" (ICMNE-2021): Book of abstracts
, издательство
ООО "МАКС Пресс"
(Москва)
, тезисы, с. O1-08
редакторы
Лукичев Владимир Федорович
,
Руденко Константин Васильевич
2021
Investigation of plasma resistance of the HSQ electronic resist for prototyping of nanoelectronic devices
Myakonkikh A.
,
Shishlyannikov A.
,
Tatarintsev A.
,
Kuzmenko V.
,
Rudenko K.
,
Gornev E.
в сборнике
Proceedings of International Confernce "Micro- and Nanoelectronics - 2021" (ICMNE-2021): Book of abstracts
, издательство
ООО "МАКС Пресс"
(Москва)
, тезисы, с. O1-07
редакторы
Лукичев Владимир Федорович
,
Руденко Константин Васильевич
2021
Study of silicon carbide surface at different stages of doping by nitrogen atoms
Andalashvili M.Z.
,
Presnov D.E.
,
Minnebaev D.K.
,
Rogozin A.E.
,
Miakonkikh A.V.
,
Lubenchenko A.V.
,
Tsiniaikin I.I.
,
Krupenin V.A.
,
Trifonov A.S.
в сборнике
Proceedings of International Confernce "Micro- and Nanoelectronics - 2021" (ICMNE-2021): Book of abstracts
, издательство
ООО "МАКС Пресс"
(Москва)
, тезисы, с. P2-05-167
DOI
редакторы
Лукичев Владимир Федорович
,
Руденко Константин Васильевич
2019
Chlorine-Based Plasma Etch in GaAs Triple-Junction Solar Cells Technology
Lagov P.B.
,
Maslovsky V.M.
,
Miakonkikh A.V.
,
Pavlov Yu S.
,
Lebedev A.A.
в сборнике
11th International Conference New Electrical and Electronic Technologies and their Industrial Implementation (NEET 2019)
, место издания
Lublin University of Technology, Lublin, Poland
, тезисы
2018
E-beam lithography of dense 10 nm line/space pattern using the HSQ mask
Tatarintsev A.A.
,
Miakonkikh A.V.
,
Rudenko K.V.
,
Shishlyannikov A.
в сборнике
Proceedings of the Inernational Conference "Micro- and Nanoelectronics - 2018"
, место издания
Maks press Moscow
, тезисы, с. 48-48
2018
Fabrication and properties of SOI-based planar silicon nanowire arrays
Rogozhin A.
,
Miakonkikh A.
,
Tatarintsev A.A.
,
Rudenko K.V.
в сборнике
Proceedings of the Inernational Conference "Micro- and Nanoelectronics - 2018"
, место издания
Maks press Moscow
, тезисы, с. 196-196
2017
Deep Silicon etching in cryo process for TSV 3D integration
Miakonkikh A.V.
,
Rogozhin A.E.
,
Tatarintsev A.A.
,
Gushin O.P.
,
Rudenko K.V.
,
Lukichev V.F.
в сборнике
Materials for advanced metallisation International workshop, Dresden, Germany, March 26-29, 2017
, тезисы
2016
Etching/oxidation technology for sub-30nm Silicon nanowire array manifacturing
Miakonkikh A.
,
Tatarintsev A.А.
, Rogozhin A.,
Rudenko K.
,
Orlikovsky A.
в сборнике
Book of abstract PESM 2016, May 9-10, Grenoble, France
, тезисы, с. P08
2016
Silicon ohmic lateral-contact MEMS switch for RF applications
Rogozhin A.,
Miakonkikh A.
,
Tatarintsev A.
, Lebedev K., Kalnov V.,
Rudenko K.
,
Lukichev V.
в сборнике
International Conference “Micro- and nanoelectronics – 2016”
, тезисы, с. 156
2016
Technology for fabrication of sub-20 nm silicon planar nanowires array
Miakonkikh A.
,
Tatarintsev A.
, Rogozhin A.,
Rudenko K.
в сборнике
International Conference “Micro- and nanoelectronics – 2016”
, тезисы, с. 136
2015
Полевой транзистор с каналом-нанопроводом как локальный сенсор с высоким пространственным разрешением
Божьев И.В.
,
Крупенин В.А.
,
Преснов Д.Е.
,
Мяконьких А.В.
,
Рудаков В.И.
в сборнике
Тезисы докладов 17-й всероссийской молодежной конференции
, серия
Физика полупроводников и наностурктур, полупроводниковая опто- и наноэлектроника
, место издания
Издательство Политехнического университета Санкт-Петербург
, тезисы, с. 108
2014
Impact of structural changes in e-beam negative resist hydrogen silsesquioxane (HSQ) to ecth-resistance at different doses of exposure
Ivanenko I.P.
,
Kalnov V.A.
,
Miakonkikh A.V.
,
Orlikovsky N.A.
,
Tatarintsev A.A.
в сборнике
International Conference "Micro- and Nanoelectronics - 2014". Book of abstracts
, место издания
Moscow-Zvenigorod, Russia
, тезисы, с. O1-13
2014
Non-uniformly doped SOI based FETransistor with nanowire channel
Presnov D.
,
Miakonkikh A.
,
Bozhjev I.
,
Rudakov V.
,
Trifonov A.
,
Krupenin V.
в сборнике
Intenational Conference "Micro- and Nanoelectronics - 2014", ICMNE 2014, October 6-10, “Ershovo” resort, Moscow - Zvenigorod, Russia, Book of Abstracts,
, место издания
Institute of Physics and Technology of the RAS,
, тезисы, с. P1-33
НИРы
1 мая 2016 - 31 декабря 2018
Создание источников и приемников терагерцового излучения на основе низкоразмерных пролетных диодов для контроля объектов
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физико-технологический институт Российской академии наук
Руководитель:
Руденко К.В.
Участники НИР:
Вьюрков В.В.
,
Давыдов Ф.С.
,
Мяконьких А.В.
,
Орликовский Н.А.
,
Рогожин А.Е.
,
Руденко К.В.
,
Руденко М.К.
,
Солянкин П.М.