Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИСТИНА ИНХС РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
В связи с техническими работами в центре обработки данных, часть прикреплённых файлов в настоящее время недоступна.
скрыть
отправить сообщение
открыть новую версию профиля
Рахимов Александр Турсунович
пользователь
ответственный
МГУ имени М.В. Ломоносова
,
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
,
Отдел микроэлектроники
,
Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
, заведующий отделом, с 3 апреля 1967
МГУ имени М.В. Ломоносова
,
Физический факультет
,
Отделение ядерной физики
,
Кафедра атомной физики, физики плазмы и микроэлектроники
, заведующий кафедрой, с 1 января 1988, по совместительству
доктор физико-математических наук с 1978 года
профессор по специальности № 01.04.08 с 20 сентября 1985 г.
МГУ имени М.В. Ломоносова
,
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
,
Отдел микроэлектроники
, ответственный по системе
Соавторы:
Рахимова Т.В.
,
Лопаев Д.В.
,
Суетин Н.В.
,
Ковалев А.С.
,
Клоповский К.С.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Прошина О.В.
,
Васильева А.Н.
,
Иванов В.В.
,
Брагинский О.В.
,
Зырянов С.М.
,
Персианцев И.Г.
,
Попов Н.А.
показать полностью...
,
Попов А.М.
,
Тимофеев М.А.
,
PISMENNY V.
,
Кривченко В.А.
,
Волошин Д.Г.
,
Baklanov M.R.
,
Велихов Е.П.
,
Зотович А.И.
,
Muratov E.A.
,
Pis'mennyi V.D.
,
Rulev G.B.
,
Паль А.Ф.
,
Пилевский А.А.
,
Саенко В.Б.
,
Дзбановский Н.Н.
,
Malykhin E.M.
,
Saenko V.B.
,
Ребрик С.П.
,
Серов А.О.
,
Воронина Е.Н.
,
Евлашин С.А.
,
Минаков П.В.
,
Поповичева О.Б.
,
POLSACHEV V.
,
Seleznev B.V.
,
Богданова М.А.
,
Девятов А.А.
,
Доленко С.А.
,
Рой Н.Н.
,
Рубин А.Б.
,
Сычева А.А.
,
Braginsky O.V.
,
Feoktistov V.
,
Самородов В.А.
,
Солдатов Е.С.
,
Степанов А.С.
,
Трифонов А.С.
,
LUKYANOVA A.
,
SLOVETSKY D.
,
Аванесов А.В.
,
Земцов Ю.К.
,
Либерман М.А.
,
Осипов А.П.
,
Палов А.П.
,
Письменный И.Г.
,
Поройков А.Ю.
,
Сень В.В.
,
Khanin V.V.
,
Koshelev K.N.
,
Krivtsun V.M.
,
POLUSHKIN V.
,
Samorodov V.A.
,
Volynets V.N.
,
Белостоцкий С.Г.
,
Волынец А.В.
,
Гришина И.А.
,
Дамбраускас С.Г.
,
Егоров А.В.
,
Курчиков К.А.
,
Муратов Е.А.
,
Нечаев А.А.
,
Озеренко А.А.
,
Орлов Ю.В.
,
Поляков С.Н.
,
Рябинкин А.Н.
,
Селезнев Б.В.
,
Словецкий Д.И.
,
Шибанов Д.Р.
,
ABARENOV A.
,
ANDRIYAK V.
,
Balandin A.A.
,
Bespalov A.P.
,
Borisov V.V.
,
Grishina I.A.
,
Kolobyanin Y.V.
,
Malykhin E.M.
,
Ханин В.В.
,
Волкова Е.А.
,
Воронин П.В.
,
Голикова О.А.
,
Гусев В.Ю.
,
Дворкин В.В.
,
Иткис Д.М.
,
Кашко Д.А.
,
Миронович К.В.
,
Перевознов А.Ф.
,
Полушкин В.М.
,
Свяховский С.Е.
,
Семененко Д.А.
,
Соловых А.А.
,
Филиппов А.В.
,
Шугай Ю.С.
,
Ястребов А.А.
,
Яшина Л.В.
,
APONIN G.
,
Attallah A.G.
,
BOIKO V.
,
Belousov M.E.
,
Blyablin A.
,
Busta H.H.
,
Butterling M.
,
Bystrov S.A.
,
Dem'yanov A.V.
,
Espinosa R.J.
,
Fields J.R.
,
Fridrikhovich P.A.
,
Glushkov D.
,
Hirschmann E.
,
IVANOV V.V.
,
KOVALEV A.
,
KRASILNI S.
,
Kandidov A.V.
,
Khropov S.
,
Kogan B.V.
,
Kopytin A.A.
,
Kordesch M.E.
,
Krishtab M.B.
,
Liedke M.O.
,
MYSHETSKAYA E.
,
Malykhin E.M.
,
NOVOBRAN I.
,
Nadezhda N.
,
Naumov S.
,
Nefedov A.
,
PROKHOROV A.
,
Pastchenko P.V.
,
Pirogov V.G.
,
Popov A.M.
,
SHACHKIN L.
,
Samarodov V.A.
,
Savin Y.V.
,
Schramme M.
,
Schweigert I.V.
,
Silzars A.
,
TUGAREV V.
,
Tsendin L.D.
,
ULINICH F.
,
Vilkov O.
,
Vishnevskiy A.S.
,
Vlasov M.N.
,
Vorotilov K.A.
,
Vorotyntsev D.A.
,
Vyalikh D.V.
,
Wagner A.
,
Wöll C.
,
Yakushev O.F.
,
Yur’ev A.Y.
,
ZAKHAROV A.
,
Zaseev Y.G.
,
de Marneffe J.F.
,
el O.Z.
,
van Kaampen M.
,
Арделян Н.В.
,
Ахманов (мл) С.А.
,
Ахманов А.С.
,
Богацкая А.В.
,
Бойко В.В.
,
Борисов В.В.
,
Бочкарь Е.П.
,
Вербицкий Н.И.
,
Волынец В.Н.
,
Гаврилов А.В.
,
Гибалов В.И.
,
Гришина И.А.
,
Гудилин Е.А.
,
Кленов Н.В.
,
Ковалев A.C.
,
Ковалев С.П.
,
Коган Б.В.
,
Козьменкова А.Я.
,
Костюк С.В.
,
Ктиторов В.Н.
,
Максимов Ю.М.
,
Маслаков К.И.
,
Мурзина Т.В.
,
Назаров А.И.
,
Назаров В.С.
,
Новиков Л.С.
,
Олеванов М.А.
,
Павлов Г.Я.
,
Подловченко Б.И.
,
Райзер Ю.П.
,
Резванов А.А.
,
Серегин Д.С.
,
Скурихин А.В.
,
Старостин А.Н.
,
Улинич Ф.Р.
,
Феоктистов В.А.
,
Чукаловский А.А.
,
Шамирян Д.
,
Шевнин П.Л.
303 статьи
,
20 книг
,
40 докладов на конференциях
,
13 тезисов докладов
,
20 НИР
,
20 патентов
,
5 научных отчётов
,
4 награды
,
1 членство в редколлегии журнала
,
3 членства в диссертационных советах
,
19 диссертаций
,
3 дипломные работы
,
4 курсовые работы
,
2 учебных курса
Количество цитирований статей в журналах по данным Web of Science: 2129, Scopus: 1922
IstinaResearcherID (IRID): 438851
ResearcherID:
D-8469-2012
Scopus Author ID:
7005319497
Деятельность
Статьи в журналах
2023
Sputtering of amorphous Si by low-energy Ar+, Kr+, and Xe+ ions
Shibanov D.R.
,
Lopaev D.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Zotovich A.I.
,
Maslakov K.I.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Journal of Applied Physics
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 134, № 6, с. 1-15
DOI
2023
Анализ возможности независимого регулирования различных параметров плазмы ВЧ несамостоятельного разряда с дополнительной ионизацией электронным пучком
Богданова М.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Рахимов А.Т.
в журнале
Вестник Российского фонда фундаментальных исследований
, издательство
РФФИ
(М.)
, том 118, № 2, с. 95-104
DOI
2023
Исследование ВУФ-излучения плазмы и структуры магнетронного разряда постоянного тока
Паль А.Ф.
,
Рябинкин А.Н.
,
Серов А.О.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Рахимов А.Т.
,
Рахимова Т.В.
в журнале
Вестник Российского фонда фундаментальных исследований
, издательство
РФФИ
(М.)
, том 118, № 2, с. 105-113
DOI
2022
Effect of an electron beam on a dual-frequency capacitive rf plasma: experiment and simulation
Bogdanova Maria
,
Lopaev Dmitry
,
Zotovich Alexey
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 31, № 9, с. 1-30
DOI
2022
Experimental study of transition from electron beam to rf power controlled plasma in DF CCP in argon with additional ionization by an electron beam
Zotovich Alexey
,
Lopaev Dmitry
,
Bogdanova Maria
,
Zyryanov S.M.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 55, № 31
DOI
2022
Helium electron beam rf plasma for low-k surface functionalization
Voronina E.N.
,
Sycheva A.A.
,
Solovykh A.A.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Palov A.P.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 40, № 6, с. 1-14
DOI
2022
Modification of Porous Ultralow-k Film by Vacuum Ultraviolet Emission
Zotovich Alexey I.
,
Zyryanov Sergey M.
,
Lopaev Dmitry V.
,
Rezvanov Askar A.
,
Attallah Ahmed G.
,
Liedke Maciej O.
,
Butterling Maik
,
Bogdanova Maria A.
,
Vishnevskiy Alexey S.
,
Seregin Dmitry S.
,
Vorotyntsev Dmitry A.
,
Palov Alexander P.
,
Hirschmann Eric
,
Wagner Andreas
,
Naumov Sergej
,
Vorotilov Konstantin A.
,
Rakhimova Tatyana V.
,
Rakhimov Alexander T.
,
Baklanov Mikhail R.
в журнале
ACS Applied Electronic Materials
, издательство
American Chemical Society
(United States)
, том 4, № 6, с. 2760-2776
DOI
2021
Dynamics of Ar metastable and resonance states in pulsed capacitively coupled plasmas
Kovalev A.S.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Proshina O.V.
,
Vasilieva A.N.
,
Voloshin D.G.
в журнале
Physics of Plasmas
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 28, с. 1-11
DOI
2021
Non‐self‐sustained electron beam RF‐generated plasma in application for functional surface pretreatment
Palov A.P.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Voronina E.N.
в журнале
Plasma Processes and Polymers
, издательство
Wiley - V C H Verlag GmbbH & Co.
(Germany)
, том 18, № 7, с. 1-15
DOI
2021
Structure of DC magnetron sputtering discharge at various gas pressures: a two-dimensional particle-in-cell Monte Carlo collision study
Ryabinkin A.N.
,
Serov A.O.
,
Pal A.F.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 30, № 5, с. 1-16
DOI
2020
Experimental and PIC MCC study of electron cooling - re-heating and plasma density decay in low pressure rf ccp argon afterglow
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Kovalev A.S.
,
Anna Vasilieva
,
Alexey Zotovich
,
Zyryanov S.M.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 29, № 1, с. 1-14
DOI
2020
Irradiation of nanoporous structures with light and heavy low-energy ions: Sputtering enhancement and pore sealing
Sycheva A.A.
,
Voronina E.N.
,
Rakhimova T.V.
,
Novikov L.S.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Journal of Vacuum Science and Technology A
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 38, № 5, с. 1-14
DOI
2020
Pore sealing mechanism in OSG low- k films under ion bombardment
Voronina E.N.
,
Sycheva A.A.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Proshina O.V.
,
Voloshin D.G.
,
Zyryanov S.M.
,
Zotovich A.I.
,
Mankelevich Y.A.
в журнале
Plasma Processes and Polymers
, издательство
Wiley - V C H Verlag GmbbH & Co.
(Germany)
, № 2, с. 1-15
DOI
2020
VUV radiation flux from argon DC magnetron plasma
Fridrikhovich Pal Alexander
,
Ryabinkin Alexey Nikolaevich
,
Serov Alexander Olegovich
,
Lopaev Dmitry
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Baklanov Mikhail
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 53, № 29, с. 1-11
DOI
2019
Influence of porosity and pore size on sputtering of nanoporous structures by low-energy Ar ions: Molecular dynamics study
Sycheva A.A.
,
Voronina E.N.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Applied Surface Science
, издательство
Elsevier BV
(Netherlands)
, том 475, с. 1021-1032
DOI
2019
Volume and surface loss of O(3P) atoms in O2 RF discharge in quartz tube at intermediate pressures (10–100 Torr)
Volynets A.V.
,
Lopaev D.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Bogdanova M.A.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 52, № 39, с. 395203
DOI
2018
Argon clustering in silicon under low-energy irradiation: Molecular dynamics simulation with different Ar–Si potentials
Sycheva A.A.
,
Voronina E.N.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Journal of Vacuum Science and Technology A
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 36, № 6, с. 1-11
DOI
2018
N2 dissociation and kinetics of N(4S) atoms in nitrogen DC glow discharge
Volynets A.V.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Chukalovsky A.A.
,
Mankelevich Yu A.
,
Popov N.A.
,
Zotovich A.I.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 51, № 36
DOI
2018
Silicon dioxide and low-k material sputtering in dual frequency inductive discharge by argon ions with energies from 16 to 200 eV
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Zotovich A.I.
,
Zyryanov S.M.
,
Baklanov M.R.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 51, № 2
DOI
2018
Synergistic effect of VUV photons and F atoms on damage and etching of porous organosilicate film
Lopaev D.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Zotovich A.I.
,
Rakhimova T.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimov A.T.
,
Baklanov M.R.
в журнале
Plasma Processes and Polymers
, издательство
Wiley - V C H Verlag GmbbH & Co.
(Germany)
, том 15, № 4, с. 1-9
DOI
2017
Actinometry of O, N and F atoms
Lopaev D.V.
,
Volynets A.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Zotovich A.I.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 50, № 7, с. 075202
DOI
2017
Multifold study of volume plasma chemistry in Ar/CF4 and Ar/CHF3 CCP discharges
Proshina O.
,
Rakhimova T.
,
Zotovich Alexey
,
Lopaev D.
,
Zyryanov S.
,
Rakhimov A.
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 26, с. 075005
DOI
2016
Comparison of vacuum ultra-violet emission of Ar/CF4and Ar/CF3I capacitively coupled plasmas
Zotovich A.
,
Proshina O.
,
el Otell Z.
,
Lopaev D.
,
Rakhimova T.
,
Rakhimov A.
,
de Marneffe J.F.
,
Baklanov M.R.
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 25, № 5, с. 055001
DOI
2016
“Virtual IED sensor” at an rf-biased electrode in low-pressure plasma
Bogdanova M.A.
,
Lopaev D.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Physics of Plasmas
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 23, с. 073510
DOI
2015
Interaction of F atoms with SiOCH ultra-low-k films: I. Fluorination and damage
Rakhimova T.V.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimov A.T.
,
Zyryanov S.M.
,
Kurchikov K.A.
, Novikova N.N., Baklanov M.R.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 48, № 17, с. 175203-(13pp)
DOI
2014
Low-k films modification under EUV and VUV radiation
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Mankelevich Yu A.
,
Lopaev D.V.
,
Kovalev A.S.
,
Vasil’eva A.N.
,
Zyryanov S.M.
,
Kurchikov K.
,
Proshina O.V.
,
Voloshin D.G.
, Novikova N.N.,
Krishtab M.B.
, Baklanov M.R.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 47, № 2, с. 025102
DOI
2014
Optical and IR absorption of multilayer carbon nanowalls
Stanislav Evlashin
,
Sergey Svyakhovskiy
,
Nikolay Suetin
,
Andrey Pilevsky
,
Tatyana Murzina
,
Nadezhda Novikova
,
Anton Stepanov
,
Alexander Egorov
,
Alexander Rakhimov
в журнале
Carbon
, издательство
Pergamon Press Ltd.
(United Kingdom)
, том 70, с. 111-118
DOI
2013
Carbon nanowalls: the next step for physical manifestation of the black body coating
Krivchenko V.A.
,
Evlashin S.A.
,
Mironovich K.V.
,
Verbitskiy N.I.
,
Nefedov A.
,
Wöll C.
,
Kozmenkova A.Ya
,
Suetin N.V.
,
Svyakhovskiy S.E.
,
Vyalikh D.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Egorov A.V.
,
Yashina L.V.
в журнале
Scientific reports
, издательство
Nature Publishing Group
(United Kingdom)
, том 3, № 3328, с. 1-6
DOI
2013
Modification of organosilicate glasses low-k films under extreme and vacuum ultraviolet radiation
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Mankelevich Yu A.
,
Lopaev D.V.
,
Kovalev A.S.
,
Vasil’eva A.N.
,
Proshina O.V.
,
Braginsky O.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Kurchikov K.
, Novikova N.N.,
Baklanov M.R.
в журнале
Applied Physics Letters
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 102, № 11, с. 111902
DOI
2012
Boron-doped Homoepitaxial Diamond CVD from Microwave Plasma-Activated Ethanol/Trimethyl Borate/Hydrogen Mixtures
Belousov M.E.
,
Mankelevich Yu A.
,
Minakov P.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Suetin N.V.
, Khmelnitskiy R.A., Tal A.A., Khomich A.V.
в журнале
Chemical Vapor Deposition
, издательство
John Wiley & Sons Ltd.
(United Kingdom)
, том 18, № 10-12, с. 302-308
DOI
2012
Carbon nanowalls decorated with silicon for lithium-ion batteries
Krivchenko Victor A.
,
Itkis Daniil M.
,
Evlashin Stanislav A.
,
Semenenko Dmitry A.
,
Goodilin Eugene A.
,
Aleksander T Rakhimov
,
Stepanov Anton S.
,
Suetin Nikolay V.
,
Pilevsky Andrey A.
,
Voronin Pavel V.
в журнале
Carbon
, издательство
Pergamon Press Ltd.
(United Kingdom)
, том 50, № 3, с. 1438-1442
DOI
2012
Emission properties of carbon nanowalls on porous silicon
Evlashin Stanislav A.
,
Mankelevich Yuri A.
,
Borisov Vladimir V.
,
Pilevskii Andrey A.
,
Stepanov Anton S.
,
Krivchenko Victor A.
,
Suetin Nikolai V.
,
Alexander T Rakhimov
в журнале
Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 30, № 2, с. 021801
DOI
2012
Evolution of carbon film structure during its catalyst-free growth in the plasma of direct current glow discharge
Krivchenko V.A.
,
Dvorkin V.V.
,
Dzbanovsky N.N.
,
Timofeyev M.A.
,
Stepanov A.S.
,
Rakhimov A.T.
,
Suetin N.V.
,
Vilkov O.
,
Yashina L.V.
в журнале
Carbon
, издательство
Pergamon Press Ltd.
(United Kingdom)
, том 50, с. 1477-1487
DOI
2012
Films of nanocrystalline graphite synthesized in dc discharge plasma as a material for electrochemical capacitors
Voronin P.V.
,
Krivchenko V.A.
,
Itkis D.M.
,
Semenenko D.A.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Technical Physics Letters
, издательство
Pleiades Publishing, Ltd
(Road Town, United Kingdom)
, том 38, № 9, с. 800-803
DOI
2012
Influence of the growth temperature on structural and electron field emission properties of carbon nanowall/nanotube films synthesized by catalyst-free PECVD
Krivchenko Victor
,
Shevnin Pavel
,
Pilevsky Andrey
,
Egorov Aleksander
,
Suetin Nikolay
,
Sen Vasiliy
,
Evlashin Stanislav
,
Rakhimov Aleksander
в журнале
Journal of Materials Chemistry
, издательство
Royal Society of Chemistry
(United Kingdom)
, том 22, № 32, с. 16458-16464
DOI
2012
Removal of amorphous C and Sn on Mo:Si multilayer mirror surface in Hydrogen plasma and afterglow
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Malykhin E.M.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
,
Zyryanov S.M.
,
Koshelev K.N.
,
Krivtsun V.M.
,
van Kaampen Maarten
,
Glushkov D.
в журнале
Journal of Applied Physics
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 111, № 9, с. 093304-093304
DOI
2012
Ultra low-k dielectrics damage under VUV and EUV radiation
Sergey Zyryanov
,
Oleg Braginsky
,
Alexander Kovalev
,
Dmitry Lopaev
,
Yury Mankelevich
,
Tatyana Rakhimova
,
Alexander Rakhimov
,
Anna Vasilieva
,
Mikhail Baklanov
в журнале
Bulletin of the American Physical Society, 65th Annual Gaseous Electronics Conference
, том 57, № 8
2012
Нанокристаллический графит - перспективный автоэмиссионный материал
Минаков П.В.
,
Поройков А.Ю.
,
Рахимов А.Т.
,
Сень В.В.
в журнале
Интеграл
, издательство
Энергоинвест
(М.)
, № 3 (65), с. 14-16
2011
Electrochemical activation of carbon nanowalls
Krivchenko Victor A.
,
Maksimov Yurii M.
,
Podlovchenko Boris I.
,
Rakhimov A.T.
,
Suetin Nikolai V.
,
Timofeev Mikhail A.
в журнале
Mendeleev Communications
, издательство
Elsevier BV
(Netherlands)
, том 21, № 5, с. 264-265
DOI
2011
Loss of Hydrogen Atoms in H-2 Plasma on the Surfaces of Materials Used in EUV Lithography
Zyryanov S.M.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Malykhin E.M.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Koshelev K.N.
,
Krivtsun V.M.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 37, № 10, с. 881-889
DOI
2011
Nanocrystalline Graphite Films Nucleation by the Radio Frequency Bias Pretreatment
Dvorkin V.V.
,
Dzbanovsky N.N.
,
Krivchenko V.A.
,
Suetin N.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Timofeyev M.A.
,
Bespalov A.V.
,
Golikova O.L.
в журнале
Journal of Nanoscience and Nanotechnology
, издательство
American Scientific Publishers
(United States)
, том 11, № 10, с. 8912-8916
DOI
2011
Plasma Cleaning of Multilayer Mirrors in EUV Lithography from Amorphous Carbon Contaminations
Malykhin E.M.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Braginskii O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Vasil’eva A.N.
,
Zyryanov S.M.
в журнале
Moscow University Physics Bulletin
, издательство
Allerton Press
(New York, N.Y., United States)
, том 66, № 2, с. 184-189
DOI
2011
Synthesis of nanostructured zinc oxide films in propane flow
Krivchenko V.A.
,
Mironovich K.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Suetin N.V.
,
Timofeev M.A.
в журнале
Technical Physics Letters
, издательство
Pleiades Publishing, Ltd
(Road Town, United Kingdom)
, том 37, № 10, с. 967-969
DOI
2011
The Effect of He Plasma Treatment on Properties of Organosilicate Glass Low-K Films
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Malykhin E.M.
,
Mankelevich Yu A.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Voloshin D.G.
,
Vasilieva A.N.
,
Zyryanov S.M.
, Smirnov E.A.,
Baklanov M.R.
в журнале
Journal of Applied Physics
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 109, № 4, с. 043303
DOI
2010
Nanocrystalline graphite: Promising material for high current field emission cathodes
Krivchenko V.A.
,
Pilevsky A.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Seleznev B.V.
,
Suetin N.V.
,
Timofeyev M.A.
,
Bespalov A.V.
,
Golikova O.L.
в журнале
Journal of Applied Physics
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 107, № 1
DOI
2010
Study of spatial distributions of F, H and CF2 radicals in DF CCP discharge in Ar/CF4 and Ar/CHF3 mixtures
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
,
Zyryanov S.M.
в журнале
THIRD INTERNATIONAL WORKSHOP AND SUMMER SCHOOL ON PLASMA PHYSICS 2008 Book Series: Journal of Physics Conference Series
, том 207, № Article Number: 012014
DOI
2010
Studying the morphology of nanocrystalline graphite field-emission cathode grown on a diamond grid
Krivchenko V.A.
,
Pilevskii A.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Suetin N.V.
,
Timofeev M.A.
в журнале
Technical Physics Letters
, издательство
Pleiades Publishing, Ltd
(Road Town, United Kingdom)
, том 36, № 1, с. 23-25
DOI
2010
The Mechanism of Low-K SiOCH Film Modification by Oxygen Atoms
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Malykhin E.M.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
,
Zyryanov S.M.
,
Baklanov M.R.
в журнале
Journal of Applied Physics
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 108, № 7, с. 073303
DOI
2010
Two modes of capacitively coupled rf discharge in CF4
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Voloshin D.G.
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 19, № 6, с. 065013
DOI
2009
Correlation between plasma OES and properties of B-doped diamond films grown by MW PE CVD
Belousov M.E.,
Krivchenko V.A.
,
Minakov P.V.
,
Pal A.F.
,
Rakhimov A.T.
,
Suetin N.V.
,
Sen V.V.
в журнале
ECS Transactions
, издательство
Electrochemical Society, Inc.
(United States)
, том 25, № 8 PART 1, с. 257-263
DOI
2009
Experimental and Theoretical Studies of Radical Production in RF CCP Discharge at 81-MHz Frequency in Ar/CF4 and Ar/CHF3 Mixtures
Rakhimova Tatyana V.
,
Braginsky Oleg V.
,
Klopovskiy Konstantin S.
,
Kovalev Alexander S.
,
Lopaev Dmitry V.
,
Proshina Olga V.
,
Rakhimov Alexander T.
, Shamiryan Denis,
Vasilieva Anna N.
,
Voloshin Dmitry G.
в журнале
IEEE Transactions on Plasma Science
, издательство
Institute of Electrical and Electronics Engineers
(Piscataway, NJ, United States)
, том 37, № 9, Part 1, с. 1683-1696
DOI
2009
Recombination of O and H Atoms on the Surface of Nanoporous Dielectrics
Rakhimova Tatyana V.
,
Braginsky Oleg V.
,
Kovalev Alexander S.
,
Lopaev Dmitry V.
,
Mankelevich Yuri A.
,
Malykhin Evdokim M.
,
Rakhimov Alexander T.
,
Vasilieva Anna N.
,
Zyryanov Sergey M.
, Baklanov Mikhail R.
в журнале
IEEE Transactions on Plasma Science
, издательство
Institute of Electrical and Electronics Engineers
(Piscataway, NJ, United States)
, том 37, № 9, с. 1697-1704
DOI
2009
The influence of He plasma pretreatment on O and H atom interaction with low-k nanoporous materials
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Malykhin E.M.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
,
Zyryanov S.M.
,
Baklanov M.R.
в журнале
Bulletin of the American Physical Society, 62nd Annual Gaseous Electronics Conference
, том 54, № 12
2009
Открытые источники УФ-излучения для поддержания фотокаталитических процессов очистки воды и воздуха
Аванесов А.В.
,
Рахимов А.Т.
,
Саенко В.Б.
в журнале
Фундаментальные исследования
, издательство
Акад. естествознания
(Пенза)
, № 1
2009
ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ АВТОЭЛЕКТРОННОЙ ЭМИССИИ С КАТОДОВ НА ОСНОВЕ УГЛЕРОДНОЙ НАНОСТРУКТУРЫ В СВЕРХВЫСОКО ЧАСТОТНЫХ ПОЛЯХ КОРОТКОГО САНТИМЕТРОВОГО ДИАПАЗОНА ДЛИН ВОЛН
Гузилов И.А., Костин А.В., Масленников О.Ю., Ничипоренко В.О., Калинин М.В.,
Назаров В.С.
,
Борисов В.В.
,
Минаков П.В.
,
Поройков А.Ю.
,
Рахимов А.Т.
,
Селезнев Б.В.
в журнале
Журнал радиоэлектроники
, издательство
Учреждение Российской академии наук Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова Российской академии наук
(Москва)
, № 9
2008
High Pressure Electro-Discharge Singlet Oxygen Generator (ED SOG) with High Efficiency and Yield
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 41, № 17, с. 172008
DOI
2008
Light Efficiency of Cathodoluminescent Screens Excited by a Runaway Electron Beam
Belostotsky S.G.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Muratov E.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Saenko V.B.
,
Timofeev M.A.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 34, № 11, с. 969-977
DOI
2008
UV detectors based on nanocrystalline ZnO films
Krivchenko V.A.
,
Lopaev D.V.
, Pashchenko P.V., Pirogov V.G.,
Rakhimov A.T.
,
Suetin N.V.
,
Trifonov A.S.
в журнале
Technical Physics
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 53, № 8, с. 1065-1069
DOI
2007
Experimental and theoretical study of ion energy distribution function in single and dual frequency RF discharges
Rakhimova Tatyana V.
,
Braginsky Oleg V.
,
Ivanov Vladimir V.
,
Kovalev Alexander S.
,
Lopaev Dmitry V.
,
Mankelevich Yuri A.
,
Olevanov Michael A.
,
Proshina Olga V.
,
Rakhimov Alexander T.
,
Vasilieva Anna N.
,
Voloshin Dmitry G.
в журнале
IEEE Transactions on Plasma Science
, издательство
Institute of Electrical and Electronics Engineers
(Piscataway, NJ, United States)
, том 35, № 5, с. 1229-1240
DOI
2007
Pressure Scaling of an Electro-Discharge Singlet Oxygen Generator (ED SOG)
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 40, № 21, с. 6571-6582
DOI
2007
Simulation of gas-phase kinetics in CHF3 : H-2 : O-2 mixtures
Voloshin Dmitry G.
,
Klopovskiy Konstantin S.
,
Mankelevich Yuri A.
,
Popov Nikolay A.
,
Rakhimova Tatyana V.
,
Rakhimov Alexander T.
в журнале
IEEE Transactions on Plasma Science
, издательство
Institute of Electrical and Electronics Engineers
(Piscataway, NJ, United States)
, том 35, № 6, Part 2, с. 1691-1703
DOI
2007
Study of Polycrystalline Boron-Doped Diamond Films by Raman Spectroscopy and Optical Absorption Spectroscopy
Krivchenko V.A.
,
Lopaev D.V.
,
Minakov P.V.
,
Pirogov V.G.
,
Rakhimov A.T.
,
Suetin N.V.
в журнале
Technical Physics
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 52, № 11, с. 1471-1474
DOI
2006
A particle-in-cell Monte Carlo simulation of an rf discharge in methane: frequency and pressure features of the ion energy distribution function
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 15, № 3, с. 402-409
DOI
2006
Discharge Singlet Oxygen Generator for Oxygen-Iodine Laser: I. Experiments with RF Discharges at 13.56 and 81 MHz
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 39, № 24, с. 5183-5190
DOI
2006
Discharge Singlet Oxygen Generator for Oxygen-Iodine Laser: II. Two-Dimensional Modeling of Flow Oxygen RF Plasma at 13.56 and 81 MHz Power Frequency
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 39, № 24, с. 5191-5200
DOI
2006
Discharged Generator of Singlet Oxygen for Oxygen-Iodine Laser. Transport Kinetics of O2(a(1)Delta(g)) and O2(b(1)Sigma(g+)) Molecules, and O(3P) Atoms in Ar:O2 and He:O2 Flows Excited by a 13.56 MHz Discharge
Braginsky O.V.
,
Vasil’eva A.N.
,
Klopovsky K.S.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Laser Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 16, № 8, с. 1161-1174
DOI
2005
Generation of Singlet Oxygen for an Oxygen-Iodine Laser in a Radio-Frequency Discharge
Braginskii O.V.
,
Vasil’eva A.N.
,
Klopovskii K.S.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Popov N.A.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Quantum Electronics
, издательство
Turpion - Moscow Ltd.
(United Kingdom)
, том 35, № 1, с. 21-26
DOI
2005
High-current electron gun with a field-emission cathode and diamond grid
Dzbanovskii N.N.
,
Minakov P.V.
,
Pilevskii A.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Seleznev B.V.
,
Suetin N.V.
,
Yur’ev A.Y.
в журнале
Technical Physics
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 50, № 10, с. 1360-1362
2005
Production of Singlet Oxygen in a Non-Self-Sustained Discharge
Vasil’eva A.N.
,
Klopovski K.S.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
, Popov N.A.,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 31, № 4, с. 325-337
DOI
2005
Production of singlet oxygen in a non-self-sustained discharge
Vasil'eva A.N.
,
Klopovskii K.S.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Y.A.
,
Popov N.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 31, № 4, с. 325-337
DOI
2005
Singlet Oxygen Generation in O2 Flow Excited by RF Discharge. II. Inhomogeneous Discharge Mode: ‘Plasma Jet'
Braginskiy O.V.
,
Vasilieva A.N.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 38, № 19, с. 3626-3634
DOI
2005
Singlet Oxygen Generation in O2 Flow Excited by RF Discharge: I. Homogeneous Discharge Mode: Alpha-Mode
Braginskiy O.V.
,
Vasilieva A.N.
,
Klopovskiy К.S.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 38, № 19, с. 3609-3625
DOI
2004
Effect of the Nonlocal Nature of the Electron Energy Spectrum on the Dissociation of Oxygen Molecules in a Discharge
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 30, № 6, с. 542-548
DOI
2004
On the Possibility of O2(a1g) Production by a Non-Selfsustained Discharge for Oxygen-Iodine Laser Pumping
Vasiljeva А.N.,
Klopovskiy К.S.
,
Kovalev А.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Y.A.
,
Popov N.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova Т.V.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 37, № 17, с. 2455-2468
DOI
2004
Wide-aperture cathodoluminescent light source based on an open discharge
Muratov E.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Suetin N.V.
в журнале
Technical Physics
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 49, № 5, с. 638-641
2003
Structure and Dynamics of a Pulsed DC Discharge in Pure Oxygen
Ivanov V.V.
,
Klopovsky K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Y.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
IEEE Transactions on Plasma Science
, издательство
Institute of Electrical and Electronics Engineers
(Piscataway, NJ, United States)
, том 31, № 4, с. 528-541
DOI
2002
Comparison of a one-dimensional particle-in-cell-Monte Carlo model and a one-dimensional fluid model for a CH4/H-2 capacitively coupled radio frequency discharge
Ivanov V.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.Herrebout D
, Bogaerts A.
в журнале
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS Volume: 91 Issue: 10 Pages: 6296-6302
, том 91, № 10, с. 6296-6302
DOI
2002
Kinetics of the Reactions Involving CF2 and CF in a Pure Tetrafluoromethane Plasma: I. Production of CF2 and CF via Electron-Impact Dissociation
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Rulev G.B.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 28, № 3, с. 229-242
DOI
2002
Kinetics of the Reactions Involving CF2 and CF in a Pure Tetrafluoromethane Plasma: II. Production and Loss of CF2 and CF in the Processes of Fluorocarbon Polymerization
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Rulev G.B.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 28, № 3, с. 243-257
DOI
2001
Electron field emission for ultrananocrystalline diamond films
Krauss A.R., Auciello O., Ding M.Q., Gruen D.M., Huang Y., Zhirnov V.V., Givargizov E.I., Breskin A., Chechen R., Shefer E., Konov V., Pimenov S., Karabutov A.,
Rakhimov A.
,
Suetin N.
в журнале
Journal of Applied Physics
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 89, № 5, с. 2958-2967
2001
In memory of Vitaly Adol’fovich Schweigert (August 30, 1955-April 3, 2001)
Aleksandrov N.L., Bazelyan E.M., Kaganovich I.D., Peeters F.M.,
Raizer Y.P.
,
Rakhimov A.T.
, Starostin A.N., Shneider M.N.,
Schweigert I.V.
,
Tsendin L.D.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 27, № 11, с. 1000
2001
Low-voltage electron emission from “tipless” field emitter arrays
Busta H., Furst D.,
Rakhimov A.T.
,
Samorodov V.A.
,
Seleznev B.V.
,
Suetin N.V.
, Silzars A.
в журнале
Applied Physics Letters
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 78, № 22, с. 3418-3420
DOI
2001
Performance of nanocrystalline graphite field emitters
Busta H.H.
,
Espinosa R.J.
,
Rakhimov A.T.
,
Suetin N.V.
,
Timofeyev M.A.
, Bressler P.,
Schramme M.
,
Fields J.R.
,
Kordesch M.E.
, Silzars A.
в журнале
Solid-State Electronics
, издательство
Pergamon Press Ltd.
(United Kingdom)
, том 45, № 6, с. 1039-1047
2000
Field-emission cathodes (cold emitters) on nanocrystal-carbon and nano-diamond films: physics, technology, application
Rakhimov A.T.
в журнале
Uspekhi Fizicheskikh Nauk
, том 170, № 9, с. 996-999
2000
Nonlocal Nature of the Electron Energy Spectrum in a Glow-Discharge in Pure O2: I. Nonlocal Character of the Electron Distribution Function
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 26, № 11, с. 972-979
DOI
2000
Nonlocal Nature of the Electron Energy Spectrum in a Glow-Discharge in Pure O2: II. Actinometry of O(3P) Atoms in a Plasma at Low Gas Pressures
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 26, № 11, с. 980-990
DOI
2000
Ozone synthesis in a coplanar barrier discharge
Savel’ev A.B., Gibalov V.I.,
Saenko V.B.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Russian Journal of Physical Chemistry A
, издательство
Pleiades Publishing, Ltd
(Road Town, United Kingdom)
, том 74, № 9, с. 1553-1555
2000
Scanning tunneling microscope study of diamond films for electron field emission
Rakhimov A.T.
,
Suetin N.V.
,
Soldatov E.S.
,
Timofeyev M.A.
,
Trifonov A.S.
,
Khanin V.V.
,
Silzars A.
в журнале
Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 18, № 1, с. 76-81
DOI
2000
Study of field emission of nanocrystalline diamond films by scanning tunnelling microscopy
Rakhimov A.T.
,
Samorodov V.A.
,
Soldatov E.S.
,
Suetin N.V.
,
Timofeev M.A.
,
Trifonov A.S.
,
Khanin V.V.
в журнале
Surface Investigation X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques
, том 15, № 7, с. 1025-1029
2000
Study of field emission of nanocrystalline diamond films by scanning tunnelling microscopy
Rakhimov A.T.
,
Samorodov V.A.
,
Soldatov E.S.
,
Suetin N.V.
,
Timofeev M.A.
, Trifonov A.S.,
Khanin V.V.
в журнале
Surface Investigation X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques
, том 15, № 7, с. 1025-1029
1999
Experimental and Theoretical Investigation of Oxygen Glow Discharge Structure at Low Pressures
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
IEEE Transactions on Plasma Science
, издательство
Institute of Electrical and Electronics Engineers
(Piscataway, NJ, United States)
, том 27, № 5, с. 1279-1287
DOI
1999
Heterogeneous Quenching of O2(a1Delta) Molecules in H2:O2 Mixtures
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Popov N.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 32, № 23, с. 3004-3012
DOI
1999
Heterogeneous quenching of O2(1Deltag) molecules in H2:O2 mixtures
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Popov N.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 32, № 23, с. 3004-3004
DOI
1999
Mew generation of shared-use plasma screens
Rakhimov A.T.
,
Roi N.N.
,
Kogan B.V.
в журнале
Journal of Optical Technology
, издательство
Optical Society of America
(United States)
, том 66, № 6, с. 522-524
1999
Modeling of a repetitive discharge in the cell of a plasma display panel
Ivanov V.V.
,
Mankelevich Y.A.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 25, № 7, с. 591-598
1999
Production of CF2 radicals in a gas-discharge plasma through the electron-impact dissociation of CF4 molecules
Ivanov V.V.
,
Klopovskii K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Slovetsky D.I.
,
Volynets V.N.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 25, № 8, с. 657-665
1999
Quenching of O2((1)Delta (g)) Molecules in a Hydrogen-Oxygen Mixture in a Fast-Gas-Flow Reactor
Balandin A.A.
,
Lopaev D.V.
,
Klopovsky K.S.
,
Popov N.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 25, № 11, с. 893-904
1999
Исследование кореляции эмиссионных и структурных характеристик алмазных пленок методом сканирующей туннельной микроскопии
Рахимов А.Т.
,
Самородов В.А.
,
Солдатов Е.С.
,
Суетин Н.В.
,
Тимофеев М.А.
,
Трифонов А.С.
,
Ханин В.В.
в журнале
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования
, издательство
ФГБУ "Издательство "Наука"
(Москва)
, № 7, с. 47-51
1999
Исследование полевой эмиссии нанокристаллических алмазных пленок методом сканирующей туннельной микроскопии
Рахимов А.Т.
,
Самородов В.А.
,
Солдатов Е.С.
,
Суетин Н.В.
,
Тимофеев М.А.
,
Трифонов А.С.
,
Ханин В.В.
в журнале
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования
, издательство
ФГБУ "Издательство "Наука"
(Москва)
, № 7, с. 43-45
1999
Плазменные экраны коллективного пользования. Отечественная промышленность идет своим путем
Рахимов А.Т.
,
Рой Н.Н.
,
Коган Б.В.
в журнале
Электроника. Наука. Технологии. Бизнес
, № 3, с. 12-14
1998
2D model DC discharge reactor for diamond deposition
Mankelevich Y.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Suetin N.V.
, Aparin Y.J.
в журнале
Ceramics International
, издательство
Pergamon Press Ltd.
(United Kingdom)
, том 24, № 4, с. 255-257
DOI
1998
Phosphor-efficiency dependence on pulse duration in field-emission devices
Seleznev B.V.
, Kandidov A.V.,
Rakhimov A.T.
, Sostchin N.P.
в журнале
Journal of the Society for Information Display
, издательство
Society for Information Display
(United States)
, том 6, № 3, с. 171-175
1998
Three-dimensional simulation of a HFCVD reactor
Mankelevich Y.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Suetin N.V.
в журнале
Diamond and Related Materials
, издательство
Elsevier BV
(Netherlands)
, том 7, № 8, с. 1133-1137
1997
Anisotropy and nonlocality of the electron distribution function of the low-pressure DC discharge in CF4
Volynets V.N.,
Ivanov V.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
, Slovetskii D.I.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 23, № 1, с. 62-70
1997
Growth and structure of epitaxial diamond films grown on Si(111) single crystals
Polyakov S.N.
,
Rakhimov A.T.
,
Suetin N.V.
,
Timofeev M.A.
,
Pilevskii A.A.
в журнале
JETP Letters
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 65, № 5, с. 434-438
1997
Influence of the vibrational excitation of ozone on the rate constant of electron attachment to O-3 molecules
Klopovskii K.S.
,
Popov N.A.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 23, № 2, с. 165-171
1997
The Mechanizm of Singlet Oxygen Emission in the Upper Atmosphere
Vlasov M.N.
,
Klopovsky K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Popov A.M.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Cosmic Research (English translation of Kosimicheskie Issledovaniya)
, издательство
Pleiades Publishing, Inc.
(New York, USA)
, том 35, № 3, с. 219-225
1997
The influence of anisotropy and non-locality of the electron distribution function as well as non-equilibrium ion diffusion on the electrodynamics of CF4 DC discharge at low pressure
Feoktistov V.A.
,
Ivanov V.V.
,
Popov A.M.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
, Slovetsky D.I., Volynets V.N.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 30, № 3, с. 423-431
1997
The mechanism of singlet oxygen emission in the upper atmosphere
Vlasov M.N.,
Klopovsky K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Popov N.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Cosmic Research (English translation of Kosimicheskie Issledovaniya)
, издательство
Pleiades Publishing, Inc.
(New York, USA)
, том 35, № 3, с. 219-225
1996
Diamond deposition in plasma activated CVD reactors. Two-dimensional modeling
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimov A.T.
,
Suetin N.V.
, KOSTYUK S.V.
в журнале
Journal of Advanced Materials
, издательство
Society for the Advancement of Material and Process Engineering
(United States)
, том 5, № 1, с. 74-82
1996
Diamond growth enhancement in dc discharge CVD reactors. Effects of noble gas addition and pulsed mode application
Mankelevich Y.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Suetin N.V.
,
Kostyuk S.V.
в журнале
Diamond and Related Materials
, издательство
Elsevier BV
(Netherlands)
, том 5, № 9, с. 964-967
1996
Experimental Investigation of Nonlocality Effects in the Electron Energy Spectrum in an Electronegative Gas
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Muratov E.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
JETP Letters
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 63, № 7, с. 537-542
DOI
1996
Experimental and theoretical study of the efficiency of an excimer lamp pumped by a pulse distributed discharge in xenon
Ivanov V.V.
,
Klopovskii K.S.
,
Mankelevich Y.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Rulev G.B.
,
Saenko V.B.
в журнале
Laser Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 6, № 4, с. 654-659
1996
Two-dimensional simulation of a hot-filament chemical vapor deposition reactor
Mankelevich Y.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Suetin N.V.
в журнале
Diamond and Related Materials
, издательство
Elsevier BV
(Netherlands)
, том 5, № 9, с. 888-894
DOI
1995
2-DIMENSIONAL MODEL OF REACTIVE GAS-FLOW IN A DIAMOND FILM CVD-REACTOR
MANKELEVICH YA
,
RAKHIMOV AT
,
SUETIN NV
в журнале
Diamond and Related Materials
, издательство
Elsevier BV
(Netherlands)
, том 4, № 8, с. 1065-1068
1995
MODELING OF THE DEPOSITION OF DIAMOND FILMS IN A DC DISCHARGE REACTOR
MANKELEVICH YA
,
RAKHIMOV AT
,
SUETIN NV
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 21, № 10, с. 872-878
1995
New Mechanism by Which Singlet Oxygen is Produced in the Processes with the Participation of Electronically-Vibrationally Excited Ozone Molecules
Klopovskii K.S.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Popov N.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Journal of Experimental and Theoretical Physics
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 80, № 4, с. 603-613
1995
New Mechanism of Singlet Oxygen Production in Processes with Participation of Electronically and Vibrationally Excited Ozone Molecules
Klopovskii K.S.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Popov N.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimov T.V.
в журнале
JETF
, том 80, № 4, с. 603-613
1995
Thermal diffusivity measure-ments by “instantaneous phase portrait” method
Gavrilov A.V.
,
Seleznev B.V.
,
Blyablin A.A.
,
Kandidov A.V.
,
Popov A.M.
,
Suetin N.V.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Diamond and Related Materials
, издательство
Elsevier BV
(Netherlands)
, том 4, с. 1360-1362
1995
Thermal diffusivity measurements by ”instantaneous phase portrait” method
Seleznev B.V., Blyablin A.A., Gavrilov A.V.,
Popov A.M.
,
Suetin N.V.
, Kandidov A.V.,
Rakhimov A.T.
в журнале
Diamond and Related Materials
, издательство
Elsevier BV
(Netherlands)
, том 4, № 12, с. 1360-1362
DOI
1995
Новый механизм образования синглетного кислорода в процессах с участием колебательно-возбужденных молекул озона
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Лопаев Д.В.
,
Попов Н.А.
,
Рахимов А.Т.
,
Рахимова Т.В.
в журнале
Журнал экспериментальной и теоретической физики
, том 107, № 4, с. 1080-1099
1994
DIAMOND FILM DEPOSITION BY DOWNSTREAM DC GLOW-DISCHARGE PLASMA CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
POLUSHKIN VM
,
POLYAKOV SN
,
RAKHIMOV AT
,
SUETIN NV
,
TIMOFEYEV MA
,
TUGAREV VA
в журнале
Diamond and Related Materials
, издательство
Elsevier BV
(Netherlands)
, том 3, № 4-6, с. 531-533
1994
OES STUDY OF PLASMA PROCESSES IN DC DISCHARGE DURING DIAMOND FILM DEPOSITION
POLUSHKIN VM
,
RAKHIMOV AT
,
SAMORDOV VA
,
SUETIN NV
,
TIMOFEYEV MA
в журнале
Diamond and Related Materials
, издательство
Elsevier BV
(Netherlands)
, том 3, № 11-12, с. 1385-1388
1994
OES study of plasma processes in d.c. discharge during diamond film deposition
Polushkin V.M.
,
Rakhimov A.T.
,
Samorodov V.A.
,
Suetin N.V.
,
Timofeev M.A.
в журнале
Diamond and Related Materials
, издательство
Elsevier BV
(Netherlands)
, том 3, с. 1385-1388
1993
Dissociation efficiency for molecular hydrogen and deuterium in a beam-driven discharge in Ar:H2(D2):CO and Ar:H2(D2):CH4 mixtures
Bystrov S.A.
,
Dem'yanov A.V.
,
Pal A.F.
,
Rakhimov A.T.
,
Serov A.O.
,
Suetin N.V.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 19, № 4, с. 295-299
1993
EXPERIMENTAL AND THEORETICAL-STUDY OF THE CF-4 DC GLOW-DISCHARGE POSITIVE-COLUMN
VOLYNETS VN,
LUKYANOVA AV
,
RAKHIMOV AT
,
SLOVETSKY DI
,
SUETIN NV
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 26, № 4, с. 647-656
1993
Low-pressure RF discharge in electronegative gases for plasma processing
Feoktistov V.A.
,
Lopaev D.V.
,
Klopovsky K.S.
,
Popov A.M.
,
Popovicheva O.B.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Journal of Nuclear Materials
, издательство
Elsevier BV
(Netherlands)
, том 200, № 3, с. 309-314
DOI
1993
Исследование эффективности диссоциации молекулярного водорода и дейтерия в несамостоятельном разряде в смесях Ar:H2(D2):CO и Ar:H2(D2):CH4
Быстров С.А., Демьянов А.В.,
Паль А.Ф.
,
Рахимов А.Т.
,
Серов А.О.
,
Суетин Н.В.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
ФГБУ "Издательство "Наука"
(Москва)
, том 19, № 4, с. 575-583
1993
Самосогласованная модель ВЧ разряда низкого давления в кислородной плазме
Клоповский К.С.
,
Попов А.М.
,
Рахимов А.Т.
,
Рахимова Т.В.
, Феоктистов В.А.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
ФГБУ "Издательство "Наука"
(Москва)
, том 19, № 7, с. 910-918
1993
Самосогласованные модели ВЧ разрядов низкого давления в электроположительных и электроотрицательных газах
Попов А.М.
,
Рахимов А.Т.
,
Рахимова Т.В.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
ФГБУ "Издательство "Наука"
(Москва)
, том 19, № 10, с. 1241-1267
1992
NUMERICAL-MODEL OF BOMBARDING IONS ENERGY-DISTRIBUTION FUNCTION IN MAGNETRON DISCHARGE
LUKYANOVA AV
,
RAKHIMOV AT
,
SUETIN NV
в журнале
Journal of Vacuum Science and Technology A
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 10, № 4, Part 1, с. 1349-1351
1992
THE THEORETICAL AND EXPERIMENTAL-STUDY OF LARGE APERTURE LOW-ENERGY E-BEAM SOURCE FOR SEMICONDUCTOR PROCESSING
KOVALEV AS
,
MANKELEVICH YA
, MURATOV EA,
RAKHIMOV AT
,
SUETIN NV
в журнале
Journal of Vacuum Science and Technology A
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 10, № 4, с. 1086-1091
DOI
1992
The Role of Vibrationally Excited Ozone in the Formation of Singlet Oxygen in a Oxygen-Nitrogen Plasma
Klopovskii K.S.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimov T.V.
в журнале
Sov.J. Plasma Phys. (USA)
, том 18, № 12, с. 834-839
1992
Параметры тлеющего разряда в тетрафторметане
Волынец В.Н., Лукьянова А.В.,
Рахимов А.Т.
,
Словецкий Д.И.
,
Суетин Н.В.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
ФГБУ "Издательство "Наука"
(Москва)
, том 18, № 3, с. 375-382
1992
Экспериментальное и теоретическое исследование широкоапертурного источника низкоэнергичных электронов для микротехнологии
Ковалев А.С.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Муратов Е.А.
,
Рахимов А.Т.
,
Суетин Н.В.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
ФГБУ "Издательство "Наука"
(Москва)
, том 18, № 8, с. 1076-1083
1991
A PHASE-SPACE PARTICLES MOTION SCHEME FOR ELECTRON KINETIC SIMULATION
MANKELEVICH YA
,
RAKHIMOV AT
,
SUETIN NV
в журнале
IEEE Transactions on Plasma Science
, издательство
Institute of Electrical and Electronics Engineers
(Piscataway, NJ, United States)
, том 19, № 3, с. 520-524
DOI
1991
COMPUTER-MODEL OF THE ELECTRON-BEAM EXCITED XEF(B-X) LASER
ABARENOV AV
,
PERSIANTSEV IG
,
RAKHIMOV AT
,
REBRICK SP
,
SHUGAI JS
,
SUETIN NV
в журнале
IEEE Journal of Quantum Electronics
, издательство
Institute of Electrical and Electronics Engineers
(Piscataway, NJ, United States)
, том 27, № 7, с. 1946-1953
1991
MORPHOLOGICAL EVALUATION OF THE FLUORESCENT ANALYSIS POSSIBILITIES IN DIAGNOSIS OF GASTRIC DISEASES
POLSACHEV VI
, KARLOVA MA,
DZBANOVSKY NN
, LAZAREV VV, PETROV KV,
RAKHIMOV AT
,
RUBIN LB
в журнале
Архив патологии
, издательство
Медиа Сфера
(М.)
, том 53, № 2, с. 58-62
1991
NUMERICAL-SIMULATION OF THE ELECTRON-BEAM-PUMPED XEF (B-X) LASER-EMISSION SPECTRUM
ABARENOV AV
,
PERSIANTSEV IG
,
RAKHIMOV AT
,
REBRIK SP
,
SUETIN NV
,
SHUGAI YS
в журнале
KVANTOVAYA ELEKTRONIKA
, том 18, № 7, с. 785-790
1991
RF DISCHARGE IN THE TRANSVERSE MAGNETIC-FIELD NUMERICAL-MODEL
LUKYANOVA AV
,
RAKHIMOV AT
,
SUETIN NV
в журнале
IEEE Transactions on Plasma Science
, издательство
Institute of Electrical and Electronics Engineers
(Piscataway, NJ, United States)
, том 19, № 2, с. 197-203
1991
RF discharge modeling considering time-dependence and spatial nonlocality of the electron-energy spectrum
Feoktistov VA
,
Popov AM
,
Popovicheva OB
,
Rakhimov AT
,
Rakhimova TV
,
Volkova EA
в журнале
IEEE Transactions on Plasma Science
, издательство
Institute of Electrical and Electronics Engineers
(Piscataway, NJ, United States)
, том 19, № 2, с. 163-169
DOI
1991
Моделирование кинетики электронов в газовом разряде методом частиц
Манкелевич Ю.А.
,
Рахимов А.Т.
,
Суетин Н.В.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
ФГБУ "Издательство "Наука"
(Москва)
, том 17, № 8, с. 1017-1022
1991
Моделирование положительного столба разряда постоянного тока в CF4
Волынец В.Н., Лукьянова А.В.,
Рахимов А.Т.
,
Словецкий Д.И.
,
Суетин Н.В.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
ФГБУ "Издательство "Наука"
(Москва)
, том 17, № 2, с. 221-228
1991
Расчет функции распределения ионов, бомбардирующих электрод в магнетронном ВЧ разряде
Лукьянова А.В.,
Рахимов А.Т.
,
Суетин Н.В.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
ФГБУ "Издательство "Наука"
(Москва)
, том 17, № 8, с. 1012-1016
1990
ENDOSCOPIC FLUORESCENT DIAGNOSIS OF GASTRIC-CANCER
POLSACHEV VI
, POTEMKINA YV,
DZBANOVSKY NN
,
RAKHIMOV AT
,
RUBIN LB
в журнале
Voprosy Onkologii
, издательство
Vsesoyuznoe Nauchnoe Obshchestvo Onkologov
(Russian Federation)
, том 36, № 6, с. 736-738
1990
MATHEMATICAL-MODELING OF PLANAR-TYPE HIGH-FREQUENCY REACTOR IN RADICAL ETCHING
BOIKO VV
,
RAKHIMOV AT
,
SUETIN NV
в журнале
ZHURNAL TEKHNICHESKOI FIZIKI
, том 60, № 11, с. 65-76
1990
Высокочастотный разряд в магнитном поле. Численная модель
Лукьянова А.В.,
Рахимов А.Т.
,
Суетин Н.В.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
ФГБУ "Издательство "Наука"
(Москва)
, том 16, № 11, с. 1367-1374
1990
Исследование возбуждения и диссоциации кислорода в смесях O2:He в тлеющем разряде
Абишев А.Б., Белов М.Л.,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
, Мурато Е.А.,
Попов А.М.
,
Поповичева О.Б.
,
Рахимов А.Т.
,
Рахимова Т.В.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
ФГБУ "Издательство "Наука"
(Москва)
, том 16, № 7, с. 844-853
1990
Расчет динамики и излучательных характеристик пинча с импульсным напуском газа
Манкелевич Ю.А.
,
Рахимов А.Т.
,
Суетин Н.В.
, Филиппов С.С.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
ФГБУ "Издательство "Наука"
(Москва)
, том 16, № 6, с. 664-670
1990
Численное моделирование плазмохимических процессов в смесях Ne/Xe и Ne/Xe /F2, возбуждаемых электронным пучком
Персианцев И.Г.
,
Рахимов А.Т.
,
Ребрик С.П.
,
Суетин Н.В.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
ФГБУ "Издательство "Наука"
(Москва)
, том 16, № 6, с. 743-750
1989
FLUORESCENT ENDOSCOPIC DIAGNOSIS OF GASTRIC-CARCINOMA
POLSACHEV VI
, POTEMKINA EV,
DZBANOVSKY NN
,
RAKHIMOV AT
,
RUBIN LB
, TANKOVICH NI
в журнале
Sovetskaia meditsina
, издательство
IZDATELSTVO MEDITSINA
(PETROVERIGSKII PER 6-8, MOSCOW, RUSSIA,K-142)
, № 4, с. 121-122
1989
FLUORESCENT LASER DIAGNOSIS OF THE SPREAD OF CANCER OF THE DIGESTIVE ORGANS
POLSACHEV VI
, POTEMKINA EV,
DZBANOVSKY NN
,
RAKHIMOV AT
,
RUBIN LB
в журнале
Khirurgiya
, издательство
Media Sphera
(Russian Federation)
, № 5, с. 112-115
1989
NUMERICAL-SIMULATION OF AN ATOMIC XENON LASER
KLOPOVSKII KS
,
LUKYANOVA AV
,
RAKHIMOV AT
,
SUETIN NV
в журнале
KVANTOVAYA ELEKTRONIKA
, том 16, № 2, с. 205-211
1989
Возбуждение метастабильных состояний в кислород-азотной плазме
Васильева А.Н.
,
Гришина И.А.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
, Осипов А.П.,
Попов А.М.
,
Поповичева О.Б.
,
Рахимов А.Т.
,
Рахимова Т.В.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
ФГБУ "Издательство "Наука"
(Москва)
, том 15, № 2, с. 190-195
1989
К численной модели высокочастотного разряда в электроотрицательных газах низкого давления
Бойко В.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Рахимов А.Т.
,
Суетин Н.В.
, Филиппов С.С.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
ФГБУ "Издательство "Наука"
(Москва)
, том 15, № 7, с. 867-870
1989
Численное исследование высокочастотного разряда в электроотрицательных газах низкого давления
Бойко В.В.,
Манкелевич Ю.А.
,
Рахимов А.Т.
,
Суетин Н.В.
, Феоктистов В.А., Филиппов С.С.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
ФГБУ "Издательство "Наука"
(Москва)
, том 15, № 2, с. 218-225
1988
Численное моделирование цилиндрического Z-пинча с импульсным напуском газа
Бойко В.В.,
Манкелевич Ю.А.
,
Рахимов А.Т.
,
Суетин Н.В.
, Филиппов С.С.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
ФГБУ "Издательство "Наука"
(Москва)
, том 14, № 11, с. 1348-1352
1987
A NUMERICAL INVESTIGATION OF AN H2-CL2 CHEMICAL-LASER WITH THE CHAIN-REACTION MECHANISM
MANKELEVICH YA
,
RAKHIMOV AT
,
SUETIN NV
,
FEOKTISTOV VA
, FILIPPOV SS
в журнале
KVANTOVAYA ELEKTRONIKA
, том 14, № 2, с. 253-259
1987
Влияние электроотрицательных примесей на характеристики самостоятельных разрядов в средах эксимерных лазеров
Рахимов А.Т.
,
Суетин Н.В.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
ФГБУ "Издательство "Наука"
(Москва)
, том 13, № 7, с. 866-871
1987
Измерение эффективности возбуждения различных колебательных уровней азота в несамостоятельном газовом разряде с помощью метода КАРС
Девятов А.А.
,
Доленко С.А.
,
Нечаев А.А.
,
Орлов Ю.В.
,
Персианцев И.Г.
,
Раихмов А.Т.
,
Ребрик С.П.
,
Суетин Н.В.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
ФГБУ "Издательство "Наука"
(Москва)
, том 13, № 7, с. 851-858
1986
Experimental-study of the cathode layer of a non-self-sustained discharge in a subnormal mode
Nechaev A.A.
,
Orlov Y.V.
,
Persiantsev I.G.
,
Rakhimov A.T.
,
Rebrik S.P.
в журнале
Вестник Московского университета. Серия 3: Физика, астрономия
, издательство
Изд-во Моск. ун-та
(М.)
, том 27, № 1, с. 87-92
1986
SODIUM FLUORESCEIN-SENSITIZED FLUORESCENT DIAGNOSTICS OF MALIGNANT-TUMORS
DZBANOVSKII NN
,
POLSACHEV VI
,
RAKHIMOV AT
,
RUBIN LB
в журнале
Doklady Akademii nauk SSSR
, издательство
Akademiia Nauk Sssr
(Russian Federation)
, том 287, № 6, с. 1478-1481
1986
Исследование кинетических процессов в молекулярном азоте методом КАРС
Девятов А.А.
,
Доленко С.А.
,
Рахимов А.Т.
,
Рахимова Т.В.
,
Рой Н.Н.
,
Суетин Н.В.
в журнале
Журнал экспериментальной и теоретической физики
, том 90, № 2, с. 429-436
1986
Персональный компьютер в системе автоматизации физического эксперимента
Велихов Е.П.
,
Персианцев И.Г.
,
Рахимов А.Т.
,
Рой Н.Н.
в журнале
Микропроцессорные средства и системы
, № 5, с. 56-58
1986
Численное исследование высокочастотных разрядов, используемых для возбуждения волноводных лазеров
Ковалев А.С.
,
Назаров А.И.
,
Рахимов А.Т.
,
Суетин Н.В.
, Феоктистов В.А.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
ФГБУ "Издательство "Наука"
(Москва)
, том 12, № 10, с. 1264-1268
1986
Эволюция катодных пятен в импульсном несамостоятельном разряде
Нечаев А.А., Орлов Ю.В.,
Персианцев И.Г.
,
Рахимов А.Т.
,
Ребрик С.П.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
ФГБУ "Издательство "Наука"
(Москва)
, том 12, № 4, с. 441-446
1985
A study of gas-breakdown near the metal-surface by a CO2-laser pulse 10-1000 mu-s in duration
Kovalev AS
,
Popov AM
,
Rakhimov AT
, Seleznev BV,
Khropov SM
в журнале
KVANTOVAYA ELEKTRONIKA
, том 12, № 4, с. 713-718
1985
DEPENDENT DISCHARGE WITH ARTIFICIAL INITIATION OF CATHODE SPOTS
NECHAEV AA, ORLOV YV,
PERSIANTSEV IG
,
RAKHIMOV AT
,
REBRIK SP
в журнале
PISMA V ZHURNAL TEKHNICHESKOI FIZIKI
, том 11, № 2, с. 80-85
1985
Kinetics of singlet oxygen generation in the low temperature plasma
Vasilieva A.N.
,
Grishina I.A.
,
Klopovsky K.S.
,
Kovalev A.S.
,
Osipov A.P.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Sov.J. Plasma Phys. (USA)
, том 11, № 2, с. 130-133
1985
SELECTIVE VITAL STAINING OF MALIGNANT-CELLS BY FLUORESCEIN SODIUM-SALT
VINOGRADOVA NG,
DZBANOVSKII NN
,
POLSACHEV VI
,
RAKHIMOV AT
,
RUBIN LB
, TANKOVICH NI, TYRSINA EG
в журнале
Doklady Akademii nauk SSSR
, издательство
Akademiia Nauk Sssr
(Russian Federation)
, том 285, № 2, с. 459-462
1985
THE USE OF REPETITIVELY PULSED PHOTOIONIZATION DISCHARGES FOR PUMPING OF QUASI-CW GAS-LASERS
ABROSIMOV GV,
KLOPOVSKII KS
, PULINETS TS,
RAKHIMOV AT
,
SAENKO VB
,
SUETIN NV
в журнале
KVANTOVAYA ELEKTRONIKA
, том 12, № 11, с. 2256-2263
1985
Исследование объемного самостоятельного разряда в азоте в условиях неоднородной предыонизации излучением
Бочкарь Е.П.
, Захаров А.И.,
Поляков С.Н.
,
Рахимов А.Т.
,
Самородов В.А.
, Соколов А.П.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
ФГБУ "Издательство "Наука"
(Москва)
, том 11, № 7, с. 889-897
1985
Исследование структуры высокочастотного несамостоятельного разряда в потоке газа
Ковалев А.С.
,
Муратов Е.А.
,
Озеренко А.А.
,
Рахимов А.Т.
,
Суетин Н.В.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
ФГБУ "Издательство "Наука"
(Москва)
, том 11, № 7, с. 882-888
1985
Теоретическое исследование z-пинча в плотном газе
Арделян Н.В.
,
Ковалев А.С.
,
Попов А.М.
,
Рахимов А.Т.
, Феоктистов В.А.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
ФГБУ "Издательство "Наука"
(Москва)
, том 11, № 10, с. 1167-1174
1984
EFFECT OF LONGITUDINAL MAGNETIC-FIELDS ON THE DEVELOPMENT OF NEAR-ELECTRODE INSTABILITY OF DEPENDENT GAS-DISCHARGE
RAKHIMOV AT
,
SUETIN NV
в журнале
PISMA V ZHURNAL TEKHNICHESKOI FIZIKI
, том 10, № 2, с. 121-123
1984
HIGH-FREQUENCY DEPENDENT CHARGE IN THE GAS-FLOW
KOVALEV AS
,
MURATOV EA
,
OZERENKO AA
,
RAKHIMOV AT
,
SUETIN NV
в журнале
PISMA V ZHURNAL TEKHNICHESKOI FIZIKI
, том 10, № 18, с. 1139-1142
1984
Structure of cathode layers of the stationary non-independent discharge
Kovalev AS
, Muratov EA,
Ozerenko AA
,
Popov AM
,
Rakhimov AT
,
Suetin NV
в журнале
ZHURNAL TEKHNICHESKOI FIZIKI
, том 54, № 1, с. 56-60
1984
The propagation of vibration translation relaxation waves in molecular gases
Popov AM
,
Rakhimov AT
,
Suetin NV
в журнале
Physics Letters, Section A: General, Atomic and Solid State Physics
, издательство
Elsevier BV
(Netherlands)
, том 102, № 1-2, с. 36-37
DOI
1983
EXCITATION OF METASTABLE STATES OF OXYGEN MOLECULES IN A GAS-DISCHARGE
VELIKHOV EP
,
KLOPOVSKII KS
,
KOVALEV AS
,
OSIPOV AP
,
PERSIANTSEV IG
,
PISMENNYI VD
,
RAKHIMOV AT
,
RAKHIMOVA TV
в журнале
Doklady Akademii nauk SSSR
, издательство
Akademiia Nauk Sssr
(Russian Federation)
, том 273, № 3, с. 600-604
1983
Механизм развития ионизационной неустойчивости в плазме несамостоятельного газового разряда
Ковалев А.С.
,
Попов А.М.
,
Рахимов А.Т.
,
Суетин Н.В.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
ФГБУ "Издательство "Наука"
(Москва)
, том 9, № 2, с. 392-396
1983
Экспериментальное исследование механизма развития пробоя несамостоятельного разряда
Персианцев И.Г.
,
Рахимов А.Т.
,
Суетин Н.В.
,
Тимофеев М.А.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
ФГБУ "Издательство "Наука"
(Москва)
, том 9, № 3, с. 637-641
1982
COMBINED PHOTO-IONIZATION DISCHARGE
KOVALEV AS
,
MURATOV EA
,
RAKHIMOV AT
,
SAENKO VB
,
SUETIN NV
в журнале
ZHURNAL TEKHNICHESKOI FIZIKI
, том 52, № 1, с. 108-110
1982
GAS INJECTION THROUGH A POROUS CATHODE AND STABILIZATION OF A NON-SELF-MAINTAINING DISCHARGE
APONIN GI
, BESSHAPOSHNIKOV AA, BRAGINA OB, VOSTRIKOV VG, KRASYUKOV AG,
PISMENNYI VD
,
RAKHIMOV AT
,
SAENKO VB
,
SHACHKIN LV
в журнале
High Temperature
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 20, № 5, с. 667-670
1982
STRATA IN A HIGH-FREQUENCY DISCHARGE
RAKHIMOV AT
,
SUETIN NV
в журнале
Doklady Akademii nauk SSSR
, издательство
Akademiia Nauk Sssr
(Russian Federation)
, том 263, № 2, с. 341-344
1982
THE EFFECT OF PLASMOCHEMICAL PROCESSES OF ELECTRONEGATIVE MOLECULE FORMATION ON THE PARAMETERS OF NON-SELF-MAINTAINED DISCHARGES
KLOPOVSKII KS
,
OSIPOV AP
,
PERSIANTSEV IG
,
RAKHIMOV AT
,
RAKHIMOVA TV
,
SUETIN NV
,
TIMOFEEV MA
в журнале
Doklady Akademii nauk SSSR
, издательство
Akademiia Nauk Sssr
(Russian Federation)
, том 267, № 3, с. 607-610
1982
Высокочастотный несамостоятельный разряд в электроотрицательных газах
Ковалев А.С.
,
Рахимов А.Т.
,
Суетин Н.В.
, Феоктистов В.А.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
ФГБУ "Издательство "Наука"
(Москва)
, том 8, № 6, с. 1258-1263
1982
О взаимодействии электромагнитных волн СВЧ-диапазона с плазмой электроотрицательных газов
Рахимов А.Т.
,
Суетин Н.В.
в журнале
Теплофизика высоких температур
, издательство
ФГБУ "Издательство "Наука"
(Москва)
, том 20, № 5, с. 1011-1013
1982
О возможности подавления прилипательной неустойчивости в высокочастотном разряде
Ковалев А.С.
,
Рахимов А.Т.
,
Суетин Н.В.
,
Феоктистов В.А.
в журнале
Письма в "Журнал технической физики"
, издательство
Физико-технический институт им. А.Ф.Иоффе Российской академии наук
(Москва)
, том 8, № 11, с. 658-660
1982
О распространении проводящего канала в несамостоятельном разряде
Ковалев А.С.
,
Попов А.М.
,
Рахимов А.Т.
в журнале
Письма в "Журнал технической физики"
, издательство
Физико-технический институт им. А.Ф.Иоффе Российской академии наук
(Москва)
, том 8, № 9, с. 561-564
1982
Установление и распад несамостоятельного разряда в электроотрицательном газе
Ковалев А.С.
,
Рахимов А.Т.
, Феоктистов В.А.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
ФГБУ "Издательство "Наука"
(Москва)
, том 8, № 5, с. 1093-1098
1981
Effect of the relative orientation of the electric field and the gas flow on the stability of an externally sustained discharge
Pal' A.F.
,
Perevoznov A.F.
,
Persiantsev I.G.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Technical Physics Letters
, том 7, № 11, с. 550-551
1981
Влияние взаимной ориентации электрического поля и газового потока на устойчивость несамостоятельного разряда
Паль А.Ф.
,
Перевознов А.Ф.
,
Персианцев И.Г.
,
Рахимов А.Т.
в журнале
Письма в "Журнал технической физики"
, издательство
Физико-технический институт им. А.Ф.Иоффе Российской академии наук
(Москва)
, том 7, № 22, с. 1395-1399
1981
О возможном механизме неустойчивости тлеющего разряда, развивающейся после импульсноговоздействия внешнего ионизатора
Ковалев А.С.
,
Рахимов А.Т.
,
Суетин Н.В.
, Феоктистов В.А.
в журнале
Письма в "Журнал технической физики"
, издательство
Физико-технический институт им. А.Ф.Иоффе Российской академии наук
(Москва)
, том 7, № 15, с. 911-914
1980
CATHODE REGION IN AN EXTERNALLY SUSTAINED DISCHARGE IN FLOWING NITROGEN
Babichev V.N., Golubev S.A.,
Kovalev A.S.
,
Pis'mennyi V.D.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Soviet journal of plasma physics
, том 6, № 1, с. 111-112
1980
PLASMA DECAY IN AN ELECTRIC FIELD
Kovalev A.S.
,
Rakhimov A.T.
, Feoktistov V.A.
в журнале
Soviet journal of plasma physics
, том 6, № 4, с. 489-492
1980
К вопросу о механизме развития пробоя в несамостоятельном газовом разряде
Ковалев А.С.
,
Персианцев И.Г.
,
Полушкин В.М.
,
Рахимов А.Т.
,
Суетин Н.В.
,
Тимофеев М.А.
в журнале
Письма в "Журнал технической физики"
, издательство
Физико-технический институт им. А.Ф.Иоффе Российской академии наук
(Москва)
, том 6, № 12, с. 743-746
1980
Несамостоятельный высокочастотный разряд в газе
Васильева А.Н.
, Гришина И.А.,
Ковалев А.С.
,
Рахимов А.Т.
, Розанов В.Б.
в журнале
Письма в "Журнал технической физики"
, издательство
Физико-технический институт им. А.Ф.Иоффе Российской академии наук
(Москва)
, том 6, с. 551-554
1979
3-BODY ELECTRON-ATTACHMENT TO OXYGEN IN THE PLASMA OF A NON-SELF-MAINTAINED DISCHARGE
VASILIEVA AN
,
GRISHINA IA
, KTITOROV VI,
KOVALEV AS
,
RAKHIMOV AT
в журнале
JOURNAL DE PHYSIQUE II
, том 40, № 7, с. 103-104
1979
EFFECT OF SELF-EMISSION ON THE DEVELOPMENT OF IONIZATIONAL INSTABILITY OF THE NON-SELF-SUSTAINED DISCHARGE WHICH EXCITES EXCIMER LASERS
RAKHIMOV AT
,
SUETIN NV
в журнале
KVANTOVAYA ELEKTRONIKA
, том 6, № 4, с. 859-862
1979
EFFECT OF VIBRATIONAL MOLECULAR-EXCITATION ON THE FUNCTION OF ELECTRONS DISTRIBUTION IN N-2 IN HIGH-POWER LASER-RADIATION FIELD
NIKONOV SV, OSIPOV AP,
RAKHIMOV AT
в журнале
KVANTOVAYA ELEKTRONIKA
, том 6, № 6, с. 1258-1263
1979
HIGH-PRESSURE PERIODIC CO2-LASER WITH THE NON-SELF-MAINTAINED DISCHARGE AND UV IONIZATION
MURATOV EA
,
PISMENNY VD
,
RAKHIMOV AT
в журнале
KVANTOVAYA ELEKTRONIKA
, том 6, № 2, с. 370-372
1979
Mechanism of breakdown of gases by the emission from a CO2-laser near a metal-surface
Kovalev AS
,
Popov AM
,
Rakhimov AT
в журнале
Journal de Physique IV
, издательство
Les Editions de physique
(Les Ulis, France, France)
, том 40, с. 759-760
DOI
1979
О трехтельном прилипании электронов к кислороду в плазме несамостоятельного разряда
Васильева А.Н.
,
Гришина И.А.
, Ктиторов В.И.,
Ковалев А.С.
,
Рахимов А.Т.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
ФГБУ "Издательство "Наука"
(Москва)
, том 5, № 5, с. 1135-1139
1979
Процессы установления и релаксации тока в плазме несамостоятельного разряда
Васильева А.Н.
,
Гришина И.А.
,
Ковалев А.С.
,
Ктиторов В.Н.
,
Рахимов А.Т.
,
Осипов А.П.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
ФГБУ "Издательство "Наука"
(Москва)
, том 5, № 3, с. 639
1977
CATHODE POTENTIAL DROP IN AN EXTERNALLY SUSTAINED STEADY-STATE DISCHARGE CONTROLLED WITH AN ELECTRON BEAM
Golubev S.A.,
Kovalev A.S.
, Loginov N.A.,
Pis'mennyi V.D.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Sov. J.Plasma Phys
, том 3, № 5, с. 558-561
1977
DEPENDENT GAS-DISCHARGE EXCITING CONTINUOUS CO2-LASERS
VELIKHOV EP
,
PISMENNYI VD
,
RAKHIMOV AT
в журнале
Uspekhi Fizicheskikh Nauk
, том 122, № 3, с. 419-447
1977
IONIZATIONAL INSTABILITIES OF AN EXTERNALLY SUSTAINED DISCHARGE IN AIR
Andreeva M.N.,
Persiantsev I.G.
,
Pis'mennyi V.D.
,
Polushkin V.M.
,
Rakhimov A.T.
,
Timofeev M.A.
, Treneva E.G.
в журнале
Sov. J.Plasma Phys
, том 3, № 6, с. 770-774
1977
IONIZATIONAL INSTABILITY IN THE PLASMA OF AN EXTERNALLY SUSTAINED DISCHARGE
Osipov A.P.,
Rakhimov A.T.
в журнале
Sov. J.Plasma Phys
, том 3, № 3, с. 365-369
1977
ONSET OF THE IONIZATION INSTABILITY IN A PERIODIC, EXTERNALLY SUSTAINED DISCHARGE IN NITROGEN AND A N//2-CO//2 MIXTURE AT HIGH PRESSURES
Muratov E.A.,
Pis'mennyi V.D.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Sov. J.Plasma Phys
, том 3, № 2, с. 230-232
1976
EFFECT OF A HIGH-FREQUENCY ELECTROMAGNETIC-FIELD ON DEVELOPMENT OF OVERHEATING INSTABILITY IN A WEAKLY IONIZED GAS-DISCHARGE PLASMA
RAKHIMOVA TV
,
RAKHIMOV AT
в журнале
High Temperature
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 14, № 6, с. 1174-1177
1976
IONIZATION-INSTABILITY OF NON-SELF-SUSTAINED DISCHARGE DUE TO STEP IONIZATION
GOLUBEV SA,
KOVALEV AS
,
PISMENNYI VD
,
RAKHIMOV AT
,
RAKHIMOVA TV
в журнале
Doklady Akademii nauk SSSR
, издательство
Akademiia Nauk Sssr
(Russian Federation)
, том 228, № 1, с. 77-80
1975
EFFECT OF WALL SPUTTERING ON VOLT-AMPERE CHARACTERISTIC OF A XENON DISCHARGE
ZAKHAROV AI
,
RAKHIMOV AT
в журнале
High Temperature
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 13, № 6, с. 1181-1184
1975
GAS-DISCHARGE CONTRACTION
MURATOV EA
,
PERSIANTSEV IG
,
PISMENNYI VD
,
RAKHIMOV AT
в журнале
High Temperature
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 13, № 3, с. 592-594
1975
GAS-DYNAMIC PROCESSES IN HIGH-PRESSURE, FAST-FLOW CO2-LASER OPERATING UNDER CONDITIONS OF REPEATING PULSES
GOLUBEV SA,
KOVALEV AS
, MIKHAILOVA NV,
MYSHETSKAYA EE
,
PERSIANTSEV IG
,
PISMENNYI VD
,
RAKHIMOV AT
, FAVORSKII AP
в журнале
Doklady Akademii nauk SSSR
, издательство
Akademiia Nauk Sssr
(Russian Federation)
, том 225, № 6, с. 1300-1303
1975
Стационарный несамостоятельный газовый разряд в молекулярных смесях повышенного давления
Велихов Е.П.
, Голубев С.А.,
Ковалев A.C.
,
Персианцев И.Г.
,
Письменный В.Д.
,
Рахимов А.Т.
,
Рахимова Т.В.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
ФГБУ "Издательство "Наука"
(Москва)
, том 1, № 5, с. 847-853
1974
ATMOSPHERIC-PRESSURE CO2-LASER WITH NONAUTONOMOUS DISCHARGE CONTROLLED BY ULTRAVIOLET-RADIATION
VELIKHOV EP
,
MURATOV EA
,
PISMENNYI VD
,
PROKHOROV AM
,
RAKHIMOV AT
в журнале
JETP Letters
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 20, № 2, с. 47-48
1974
CONCERNING ONE IONIZATION-INSTABILITY OF A NON-SELF SUSTAINED DISCHARGE IN MIXTURES CONTAINING CO2
KOVALEV AS
,
PERSIANT IG
,
PISMENNY VD
,
RAKHIMOV AT
в журнале
Physics Letters, Section A: General, Atomic and Solid State Physics
, издательство
Elsevier BV
(Netherlands)
, том 49, № 1, с. 29-30
1974
GAIN COEFFICIENT OF A CO2-N2-HE GAS-MIXTURE AT ATMOSPHERIC-PRESSURE EXCITED BY A QUASISTATIONARY NON-SELF-MAINTAINED DISCHARGE
VELIKHOV EP
,
ZEMTSOV YK
,
KOVALEV AS
,
PERSIANT IG
,
PISMENNY VD
,
RAKHIMOV AT
в журнале
Zhurnal Eksperimentalnoi I Teoreticheskoi Fiziki
, том 67, № 5, с. 1682
1974
QUASISTATIONARY ATMOSPHERIC-PRESSURE CO2-LASER WITH NON-SELF-MAINTAINING DISCHARGE CONTROLLED BY AN ELECTRON-BEAM
VELIKHOV EP
,
ZEMTSOV YK
,
KOVALEV AS
,
PERSIANT IG
,
PISMENNY VD
,
RAKHIMOV AT
в журнале
JETP Letters
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 19, № 6, с. 203-204
1974
Переход газового разряда в контрагированное состояние
Муратов Е.А.
,
Персианцев И.Г.
,
Письменный В.Д.
,
Рахимов А.Т.
в журнале
Теплофизика высоких температур
, издательство
ФГБУ "Издательство "Наука"
(Москва)
, том 12, № 2, с. 1283-1285
1973
ELECTRON-TEMPERATURE IN A WEAKLY IONIZED PLASMA IN NONLINEAR SKIN EFFECT
Pismenny V.D.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Zhurnal Eksperimentalnoi I Teoreticheskoi Fiziki
, том 64, № 2, с. 498-504
1973
NONSELFSUSTANIED STATIONARY GAS-DISCHARGE INDUCED BY ELECTRON-BEAM IONIZATION IN N2-CO2 MIXTURES AT ATMOSPHERIC-PRESSURE
VELIKHOV EP
, GOLUBEV SA,
ZEMTSOV YK
,
PAL AF
,
PERSIANT IG
,
PISMENNY VD
,
RAKHIMOV AT
в журнале
Zhurnal Eksperimentalnoi I Teoreticheskoi Fiziki
, том 65, № 2, с. 543-549
1973
QUASISTATIONARY ATMOSPHERIC-PRESSURE CO2-LASER WITH NON-MAINTAINING DISCHARGE CONTROLLED BY A NEUTRON-FLUX
ANDRIYAK VM
,
VELIKHOV EP
,
KOVALEV AS
,
PISMENNY VD
,
RAKHIMOV AT
, KHVOSTIO VE
в журнале
JETP Letters
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 18, № 1, с. 7-9
1973
К теории стримерного пробоя
Персианцев И.Г.
,
Письменный В.Д.
,
Рахимов А.Т.
,
Старостин А.Н.
в журнале
ПМТФ
, № 1, с. 56-64
1972
EFFECT OF PROTON BEAM ON GENERATION OF A CO2 GAS-LASER
GOLUBEV SA,
PISMENNY VD
,
RAKHIMOVA TV
,
RAKHIMOV AT
в журнале
Zhurnal Eksperimentalnoi I Teoreticheskoi Fiziki
, том 62, № 2, с. 458-465
1972
HIGH-PRESSURE GAS-LASER WITH PRE-IONIZATION WITH A REACTOR
ANDRIYAK VM
,
RAKHIMOV AT
,
VELIKHOV EP
, VASILTSO VV, STAROSTI AN, KHVOSTIO VE,
NOVOBRAN IV
,
PISMENNY VD
,
KRASILNI SV
в журнале
JETP LETTERS-USSR
, том 15, № 11, с. 451
1972
HYDRODYNAMIC INSTABILITY OF HIGH-FREQUENCY GAS-DISCHARGE
LIBERMAN MA
,
RAKHIMOV AT
в журнале
Physics Letters, Section A: General, Atomic and Solid State Physics
, издательство
Elsevier BV
(Netherlands)
, том 38, № 2, с. 61
1972
NONLINEAR PROPAGATION THEORY FOR ELECTROMAGNETIC WAVES IN SLIGHTLY IONIZED PLASMA
LIBERMAN MA
,
RAKHIMOV AT
в журнале
ZHURNAL TEKHNICHESKOI FIZIKI
, том 42, № 9, с. 1799-1803
1972
OBSERVATION OF SUPERHEAT INSTABILITY IN A FULLY IONIZED CURRENT-CARRYING PLASMA
VASILEVA AN
,
PISMENNY VD
,
RAKHIMOV AT
,
GRISHINA IA
в журнале
JETP Letters
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 15, № 10, с. 433
1972
PENETRATION OF ELECTROMAGNETIC WAVES INTO A PLASMA, TAKING NONLINEARITY INTO ACCOUNT
LIBERMAN MA
,
RAKHIMOV AT
в журнале
Soviet Journal of Experimental and Theoretical Physics
, том 34, № 3, с. 559
1972
PROBLEM OF GASEOUS LASER COMBINED PUMPING
VELIKHOV EP
, NOVOBRAN IV,
PISMENNY VD
,
RAKHIMOV AT
, STAROSTIN AN
в журнале
Doklady Akademii nauk SSSR
, издательство
Akademiia Nauk Sssr
(Russian Federation)
, том 205, № 6, с. 1328-1331
1972
RADIAL DISTRIBUTION OF FAST ELECTRON IN A Z PINCH
PRESIANT IG
,
RAKHIMOV AT
, STAROSTI AN,
PISMENNY VD
в журнале
JETP Letters
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 16, № 2, с. 45
1972
STRUCTURE OF ALTERNATING MAGNETIC-FIELD IN A NONEQUILIBRIUM GAS-DISCHARGE PLASMA
LIBERMAN MA
,
RAKHIMOV AT
в журнале
High Temperature
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 10, № 3, с. 427-431
1972
Начальная стадия электрического разряда в ксеноне при высоком давлении
Николаевский В.Г.,
Письменный В.Д.
,
Рахимов А.Т.
в журнале
Журнал технической физики
, издательство
Наука
(СПб.)
, том 42, № 2, с. 364-366
1971
CONTRACTION OF POSITIVE COLUMN WITH ELECTRO-NEGATIVE IMPURITIES
PISMENNY VD
,
RAKHIMOV AT
в журнале
Doklady Akademii nauk SSSR
, издательство
Akademiia Nauk Sssr
(Russian Federation)
, том 200, № 1, с. 68-71
1971
ELECTRICAL CONDUCTIVITY OF OPTICALLY TRANSPARENT XENON PLASMA
RAKHIMOV AT
,
PISMENNY VD
в журнале
Doklady Akademii nauk SSSR
, издательство
Akademiia Nauk Sssr
(Russian Federation)
, том 196, № 4, с. 812-813
1971
INSTABILITY OF POWERFUL GAS DISCHARGE
PISMENNY VD
,
RAKHIMOV AT
в журнале
Doklady Akademii nauk SSSR
, издательство
Akademiia Nauk Sssr
(Russian Federation)
, том 196, № 3, с. 562-564
1970
ON STRATIFICATION OF POWERFUL PLANE GAS DISCHARGE
PISMENNY VD
,
RAKHIMOV AT
в журнале
Physics Letters, Section A: General, Atomic and Solid State Physics
, издательство
Elsevier BV
(Netherlands)
, том 33, № 1, с. 17
1970
POSSIBILITY OF EXISTENCE OF A STRONGLY NON-IDEAL PLASMA
RAKHIMOV AT
,
ULINICH FR
в журнале
Soviet Journal of Experimental and Theoretical Physics
, том 30, № 4, с. 772
1969
CONTRACTION OF CYLINDRICAL GAS DISCHARGE
RAKHIMOV AT
, ULINICH FR
в журнале
Doklady Akademii nauk SSSR
, издательство
Akademiia Nauk Sssr
(Russian Federation)
, том 187, № 1, с. 72
1969
ELECTRODYNAMICS OF ELECTRONIC CRYSTAL
VEDENOV AA,
RAKHIMOV AT
, ULINICH FR
в журнале
JETP LETTERS-USSR
, том 9, № 8, с. 299
1968
INCREASE OF CO2 LASER POWER UNDER INFLUENCE OF A BEAM OF FAST PROTONS
ANDRIAKH VM,
VELIKHOV EP
, GOLUBEV SA, KRASILNI SS, PROKHORO AM,
PISMENNY VD
,
RAKHIMOV AT
в журнале
JETP LETTERS-USSR
, том 8, № 7, с. 214
1967
MEASURING ELECTRON TEMPERATURE OF A POWERFUL PULSED DISCHARGE
ZEMTSOV YK
,
PISMENNY VD
,
RAKHIMOV AT
в журнале
Nuclear Fusion
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 7, № 2-3, с. 155
Статьи в сборниках
2019
“Coherent Transitions” and Rabi-type Oscillations between Spatial Modes of Classical Light
Bogatskaya A.V.
,
Klenov N.V.
,
Popov A.M.
,
Rakhimov A.T.
в сборнике
Proceedings of the 7th International Conference on Photonics, Optics and Laser Technology
, место издания
SCITEPRESS – Science and Technology Publications, Lda Prague - Czech Republic
, с. 97-101
DOI
2013
Effects of VUV and EUV Radiation on Ultra Low-k Materials Damage
Oleg Braginsky
,
Alexander Kovalev
,
Dmitry Lopaev
,
Yury Mankelevich
,
Olga Proshina
,
Tatyana Rakhimova
,
Alexander Rakhimov
,
Anna Vasilieva
,
Sergey Zyryanov
,
Mikhail Baklanov
в сборнике
MRS Online Proceedings Library
, издательство
Cambridge University Press
(United Kingdom)
, том 1559, с. mrss13-1559-aa03-11
DOI
2011
Nanocrystalline graphite: advanced field emission cathode material for a spacecraft neutralizer
Poroykov Alexander Y.
,
Mankelevich Yuri A.
,
Pilevsky Andrey A.
,
Rakhimov Alexander T.
,
Seleznev Boris V.
,
Suetin N.V.
,
Timofeyev Mikhail A.
в сборнике
32nd IEPC proceedings
, с. IEPC-2011-083
2011
Selective deposition of carbon nanowalls and investigation of their emission properties
Evlashin S.
,
Borisov V.
,
Pilevskii A.
,
Stepanov A.
,
Suetin N.
,
Rakhimov A.
в сборнике
2011 24th International Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC 2011)
, серия
IEEE Conference Publications
, издательство
Institute of Electrical and Electronics Engineers
(Piscataway, NJ, United States)
, с. 129-130
2010
In-Line Plasma Cleaning of EUV Multilayer Mirrors
Malykhin E.M.
,
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Vasilieva A.N.
,
Zyryanov S.M.
,
Koshelev K.N.
,
Krivtsun V.M.
,
Yakushev O.F.
в сборнике
Bulletin of the American Physical Society, 63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas, October4-8 2010, Paris, France
, серия
7
, место издания
Paris, France
, том 55
2010
Si wires growth by using of magnetron sputtering method
Evlashin S.A.
,
Krivchenko V.A.
,
Pastchenko P.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Suetin N.V.
,
Timofeyev M.A.
в сборнике
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
DOI
2009
Interaction of О and Н Atoms with Low-K SiOCH Films Pretreated in He Plasma
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Y.A.
,
Malykhin E.M.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
,
Voloshin D.G.
,
Zyryanov S.M.
,
Baklanov M.R.
в сборнике
Materials Research Society Symposium Proceedings
, место издания
Materials Research Society
, том 1156
DOI
2009
Multi beam X-ray tube with the field emitter on the base of nanocrystalline graphite for computer tomography
Guzilov I.A., Kuzmich K.V., Maslennikov O.Yu, Smirnova E.V.,
Minakov P.V.
,
Poroykov A.Yu
,
Rakhimov A.T.
,
Seleznev B.V.
,
Sen V.V.
в сборнике
2009 IEEE INTERNATIONAL VACUUM ELECTRONICS CONFERENCE
, серия
IEEE International Vacuum Electronics Conference IVEC
, место издания
IEEE
, с. 289-290
DOI
2009
Radical Production in RF CCP Discharge at 81 MHz Frequency in CHF3/Ar and CF4/Ar Mixtures. Theory and Experiment
Malykhin E.M.
,
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
,
Zyryanov S.M.
в сборнике
Proceedings of International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 19), July 27-31 2009, Bochum, Germany
, место издания
Bochum, Germany
, с. 362
2009
The Spatial Distribution of Radicals in the Dual Frequency (1.76 MHz /81 MHz) Capacitive Discharge in CHF3/Ar and CF4/Ar Mixtures
Braginsky O.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
,
Voloshin D.G.
в сборнике
Proceedings of International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 19), July 27-31 2009, Bochum, Germany
, место издания
Bochum, Germany
, с. 39
2008
Recombination Probabilities of О and Н Atoms on the Surface of Nanoporous Low-K SiOCH Dielectrics
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Malykhin E.M.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
,
Zyryanov S.M.
,
Baklanov M.R.
в сборнике
Proceedings of Advanced Metallization Conference (AMC), September 23-25 2008, San Diego California, USA, and October 8-10 2008, Tokyo, Japan
, место издания
San Diego California, USA, and Tokyo, Japan
2008
Пространственное распределение радикалов в плазме двухчастотного (1.76 МГц / 81 МГц) емкостного разряда в смесях CHF3/Ar и CF4/Ar. V Международный симпозиум по теоретической и прикладной плазмохии (3-8 сентября
Брагинский О.В.
,
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Лопаев Д.В.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Рахимов А.Т.
,
Шамирян Д.
в сборнике
Сборник трудов V Международного симпозиума по теоретической и прикладной плазмохии (3-8 сентября 2008, Иваново)
, место издания
Ивановский государственный химико-тенологический университет Иваново
, том 2, с. 506-509
2006
Pressure Scaling of an Electro-Discharge Singlet Oxygen Generator (ED SOG)
Rakhimova T.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Vasilieva A.N.
,
Braginsky O.V.
,
Klopovsky K.S.
,
Popov N.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Kolobyanin Yu V.
в сборнике
Proceedings of GCL/HPL, Gmunden, Austria, September 4-8 2006
, место издания
Gmunden, Austria
DOI
2006
Singlet Oxygen Generator Operating at High Oxygen Pressure
Rakhimova T.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Kolobyanin Yu V.
,
Braginsky O.V.
,
Klopovsky K.S.
,
Popov N.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
в сборнике
Proceedings of 37-th AIAA Plasmadynamics and Lasers Conference
, место издания
San-Francisco
DOI
2005
Experimental and Theoretical Study of a Pressure Scaling Possibility of VHF Singlet Oxygen Generator
Rakhimova T.V.
,
Kovalev A.S.
,
Klopovsky K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Vasilieva A.N.
,
Braginsky O.V.
,
Popov N.A.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
в сборнике
Proceedings of 36-th AIAA Plasmadynamics and Lasers Conference
, место издания
AIAA Toronto, Canada
, с. 2005-4918
DOI
2005
New mechanism of O 2(a 1 Δ g) quenching in oxygen contained plasmas
Braginsky O.V.
,
Vasilieva A.N.
,
Klopovsky K.S.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Popov N.A.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
, Savin Yu V.
в сборнике
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
, с. 238-242
DOI
2004
Singlet Oxygen Generation in CW and Pulsed RF Discharges at 13.56 and 81 MHz
Rakhimova T.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Kovalev A.S.
,
Klopovsky K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Braginsky O.V.
,
Vasilieva A.N.
,
Popov N.A.
в сборнике
Proceedings of 35-th AIAA Plasma Dynamics and Lasers Conference, 28 June – 1 July 2004
, место издания
AIAA Portland, Oregon, USA
, с. 2004-2445
DOI
2004
Singlet Oxygen Generation in Gas Discharge for Oxygen-Iodine Laser Pumping
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Klopovsky K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Popov N.A.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
в сборнике
57-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC 2004), 26-29 September 2004, Bunratty, Ireland
, место издания
Bunratty, Ireland
2003
Radio-Frequency Plasma Generation of Singlet Oxygen in O2 and O2:Ar(He) Mixtures
Rakhimova T.V.
,
Kovalev A.S.
,
Braginsky O.V.
,
Klopovsky K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
в сборнике
Proceedings of 34-th AIAA Plasmadynamics and Lasers Conference
, место издания
AIAA Orlando, Florida USA
, с. 23-26
DOI
2002
Efficiency of Singlet Oxygen Pumping in Plasma. I. Production of O2(a(1)Delta(g)) in Non-Selfsustained Discharge Controlled by Electron Beam
Kovalev A.S.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilyeva A.N.
в сборнике
Conference Proceedings of ESCAMPIG 16th – ICRP 5th, 14-18 July 2002, Grenoble, France
, место издания
Grenoble, France Grenoble, France
, том 2, с. 41-42
2002
Efficiency of Singlet Oxygen Pumping in Plasma. II. The O2(a(1)Delta(g)) and O2(b(1)Sigma(+)(g)) Production in Glow Discharge
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
в сборнике
Conference Proceedings of ESCAMPIG 16th – ICRP 5th, 14-18 July 2002, Grenoble, France
, место издания
Grenoble, France Grenoble, France
, том 2, с. 39-40
2002
Production and Loss of CF2 and CF Radicals at the Polymerization in CF4 Plasma
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Rulev G.B.
в сборнике
Proceedings of SPIE: Selected research papers on “Spectroscopy of Non-equilibrium Plasma at Elevated Pressures” ed. by Vladimir N. Ochkin
, том 4460, с. 74-89
DOI
2002
Spectroscopy, actinometry and simulation of a DC discharge in CO/H2 gas mixtures
Filippov A.V.
,
Mankelevich Y.A.
,
Pal A.F.
,
Rakhimov A.T.
,
Serov A.O.
,
Suetin N.V.
в сборнике
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
, с. 285-295
DOI
2002
Surface Recombination of O and H Atoms under the Discharge Conditions
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
, Smirnov A.V.
в сборнике
Conference Proceedings of ESCAMPIG 16th – ICRP 5th, 14-18 July 2002, Grenoble, France
, место издания
Grenoble, France
, том 1, с. 171-172
2001
Field-emission cathodes (cold emitters) on nanocrystal-carbon and diamond nanofilms: Physics, technology, application
Rakhimov A.T.
в сборнике
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
, с. 38-42
DOI
2001
Reduced turn-on voltage of nanocrystalline graphite (NCG) coated silicon field emitter arrays
Busta H.H., Chen J.M., Furst D.A., Rizkowski S.,
Rakhimov A.T.
,
Samarodov V.A.
,
Seleznev B.V.
,
Suetin N.V.
, Silzars A.
в сборнике
IVMC 2000: PROCEEDINGS OF THE 14TH INTERNATIONAL VACUUM MICROELECTRONICES CONFERENCE
, место издания
IEEE 345 E 47TH ST, NEW YORK, NY 10017 USA
, с. 245-246
1999
An investigation of the ozone production at the process of the UV photodecomposition of the oxygen
Ivanov V.V.
,
Klopovsky K.S.
,
Popov N.A.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Rulev G.B.
,
Saenko V.B.
в сборнике
INTERNATIONAL CONFERENCE ON PHENOMENA IN IONIZED GAS, PROCEEDINGS
, место издания
POLISH ACAD SCIENCES, SPACE RESEARCH CENTRE WARSAW, POLAND
, том 1, с. 213-214
1999
CF- and CF2- Radicals Production by the Electron Impact Dissociation of CF4 Molecules in Gas Discharge Plasma
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Rulev G.B.
в сборнике
Proceedings of 14-th International Symposium on Plasma Chemistry, August 2-6 1999, Prague, Czech Republic
, место издания
Prague, Czech Republic
, том 5, с. 2301-2306
1999
CF2 Production by the Electron Impact Dissociation of CF4 Molecules in Gas Discharge Plasma
Ivanov V.V.,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Rulev G.B.
в сборнике
ICPIG XXIV, Proceedings of contributed papers, 11-16 July 1999, Warsaw, Poland
, место издания
Warsaw, Poland
, том 4, с. 39-40
1999
CF2 production by CF4 electron impact dissociation in gas discharge
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в сборнике
ADVANCED TECHNOLOGIES BASED ON WAVE AND BEAM GENERATED PLASMAS
, серия
NATO ADVANCED SCIENCE INSTITUTE SERIES, SUB-SERIES 3, HIGH TECHNOLOGY
, место издания
SPRINGER, PO BOX 17, 3300 AA DORDRECHT, NETHERLANDS
, том 67, с. 471-472
DOI
1999
Heterogeneous Quenching of O2(1Delta(g)) in H2:O2 Mixture
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в сборнике
ICPIG XXIV, Proceedings of contributed papers, 11-16 July 1999, Warsaw, Poland
, место издания
Warsaw, Poland
, том 1, с. 9-10
1999
Production and Decay of CF Radicals in CF4 Discharge
Ivanov V.V.,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Rulev G.B.
в сборнике
ICPIG XXIV, Proceedings of contributed papers, 11-16 July 1999, Warsaw, Poland
, место издания
Warsaw, Poland
, том 4, с. 65-66
1999
Spatial Distribution and Kinetics of Negative Ions in Glow DC Discharge in Pure O2 and H2
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в сборнике
Advanced Technologies Based on Wave and Beam Generated Plasma. NATO Science Series. Subseries 3: High Technology. Ed. by H.Schluter and A.Shivarova
, серия
3. High Technology
, место издания
Springer Netherlands
, том 67, с. 495-496
DOI
1999
Spatial Distribution and Kinetics of Negative Ions in H2 Glow DС Discharge
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Popov N.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в сборнике
ICPIG XXIV, Proceedings of contributed papers, 11-16 July 1999, Warsaw, Poland
, место издания
Warsaw, Poland
, том 3, с. 73-74
1999
The Production of CF Radicals in Plasma of Discharge in Pure CF4
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Rulev G.B.
в сборнике
Proceedings of 12-th Symposium on Application of Plasma Processes, SAPP-12. February 9-13 1999. Liptovsky Jan, Slovakia
, место издания
Liptovsky Jan, Slovakia
, с. 176-177
1999
The Rate Constants of CF4 Dissociation by Electronic Impact with Production of CF2 and CF Radicals
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Rulev G.B.
в сборнике
Proceedings of 12-th Symposium on Application of Plasma Processes, SAPP-12. February 9-13 1999. Liptovsky Jan, Slovakia
, место издания
Liptovsky Jan, Slovakia
, с. 180-181
1998
"Убегающие" электроны как эффективный источник радикалов
Иванов В.В.,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Прошина О.В.
,
Суетин Н.В.
,
Рахимов А.Т.
,
Рахимова Т.В.
в сборнике
Всероссийская научно-техническая конференция МИКРО- И НАНО- ЭЛЕКТРОНИКА 98, Звенигород
, том 1, с. 01-03
1998
CF2 Production by CF4 Electron Impact Dissociation in Gas Discharge
Ivanov V.V.,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в сборнике
Advanced Technologies Based on Wave and Beam Generated Plasma. NATO Science Series. Subseries 3: High Technology. Ed. by H.Schluter and A.Shivarova
, серия
3
, том 67, с. 471-472
1998
CF2 Production by the Electron Impact Dissociation of CF4 Molecules in Gas Discharge Plasma
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Popov N.A.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Slovetskiy D.I.
,
Volynets V.N.
в сборнике
11th Symposium on elementary processes and chemical reactions in low temperature plasma, Book of contributed papers, June 22-26 1998, Low Tatras
, серия
Part 1
, место издания
Low Tatras
, с. 98-101
1998
Investigation of Hetero- And Homogeneous Processes with O2(a1g) at Mixing H2 and O2 in a Fast-Flow Reactor
Balandin A.A.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Popov N.A.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в сборнике
11th Symposium on elementary processes and chemical reactions in low temperature plasma, Book of contributed papers, June 22-26 1998, Low Tatras
, серия
Part 1
, место издания
Low Tatras
, с. 23-26
1998
Nonlocal Effects in Stationary and Non-Stationary Discharges
Ivanov V.V.
,
Klopovsky K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в сборнике
Electron Kinetics and Applications of Glow Discharges, Ed. by U.Kortshagen and L.D.Tsendin
, серия
NATO Science Series B: Physics
, место издания
Springer USA
, том 367, с. 37-58
DOI
1998
Three-dimensional reactive-flow simulations of filament-assisted diamond deposition
Mankelevich Y.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Suetin N.V.
в сборнике
PROCEEDINGS OF THE FIFTH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON DIAMOND MATERIALS Volume: 97 Issue: 32
, серия
Book Series: ELECTROCHEMICAL SOCIETY SERIES
, место издания
ELECTROCHEMICAL SOCIETY INC, 65 S MAIN ST, PENNINGTON, NJ 08534-2839 USA
, том 97, с. 161-170
1998
Two-dimensional simulation of diamond deposition processes in microwave discharge reactors
Kostiuk S.V.,
Mankelevich Y.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Suetin N.V.
в сборнике
PROCEEDINGS OF THE FIFTH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON DIAMOND MATERIALS
, серия
Book Series: ELECTROCHEMICAL SOCIETY SERIES Volume: 97 Issue: 32
, место издания
ELECTROCHEMICAL SOCIETY INC, 65 S MAIN ST, PENNINGTON, NJ 08534-2839 USA
, том 97, с. 152-160
1998
Образование радикалов CF2 при диссоциации молекул CF4 в плазме газового разряда
Иванов В.В.
,
Клоповский К.С.
,
Лопаев Д.В.
,
Прошина О.В.
,
Рахимов А.Т.
,
Рахимова Т.В.
,
Словецкий Д.И.
,
Волынец В.Н.
в сборнике
Материалы конференции по физике низкотемпературной плазмы ФНТП-98, Петрозаводск, 22-27 июня 1998
, место издания
Петрозаводск
, том 1, с. 30-34
1997
Experimental and Theoretical Investigation of Negative Ion Spatial Distribution in Oxygen DC Discharge
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Rulev G.B.
в сборнике
ICPIG XXIII, Proceedings of contributed papers, 17-22 July 1997, Toulouse, France
, место издания
Toulouse, France
, том 1, с. 86-87
1997
Experimental and Theoretical Study of the Non-Locality Effects of Electron Energy Spectrum in O2 DC Glow Discharge
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Popov A.M.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в сборнике
ICPIG XXIII, Proceedings of contributed papers, 17-22 July 1997, Toulouse, France
, место издания
Toulouse, France
, том 2, с. 28-29
1997
The Influence of the Low Energy Vibrational Excitation on the Electron Dissociative Attachment Coefficient in Pure Ozone
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Popov N.A.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в сборнике
ICPIG XXIII, Proceedings of contributed papers, 17-22 July 1997, Toulouse, France
, место издания
Toulouse, France
, том 1, с. 88-89
1997
VUV Emission Generation at Helium Plasma Recombination
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Kopytin A.A.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в сборнике
ICPIG XXIII, Proceedings of contributed papers, 17-22 July 1997, Toulouse, France
, место издания
Toulouse, France
, том 3, с. 40-41
1996
Effect of Ion Heating in the Axial Field on the Electron and Ion Radial Profiles in CF4 DC Discharge
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Slovetsky D.I.
,
Volynets V.N.
в сборнике
ESCAMPIG 96, August 27-30 1996
, серия
20E, Part A
, место издания
Poprad, Slovakia
, с. 169-170
1996
Formation of CF2 Radicals in Plasma of Pure CF4
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в сборнике
ESCAMPIG 96, August 27-30 1996
, серия
20E, Part A
, место издания
Poprad, Slovakia
, с. 333-334
1996
Recombination of O(3P) Atoms on the Tube Walls in Oxygen DC Discharge
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в сборнике
ESCAMPIG 96, August 27-30 1996
, серия
20E, Part A
, место издания
Poprad, Slovakia
, с. 77-78
1996
The Experimental and Theoretical Investigation of Low Pressure DC Discharge in Pure Oxygen
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Muratov E.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в сборнике
ESCAMPIG 96, August 27-30 1996
, серия
20E, Part A
, место издания
Poprad, Slovakia
, с. 167-168
1996
The Experimental and Theoretical Investigation of Nonlocality Effects of Electron Energetic Spectrum in Oxygen Glow Discharge
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Muratov E.A.
,
Popov A.M.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в сборнике
ESCAMPIG 96, August 27-30 1996
, серия
20E, Part A
, место издания
Poprad, Slovakia
, с. 121-122
1996
Two-dimensional models of CVD reactors for diamond deposition
Mankelevich Y.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Suetin N.V.
, Kostyuk S.V.
в сборнике
EURODIAMOND '96
, серия
Book Series: ITALIAN PHYSICAL SOCIETY CONFERENCE PROCEEDINGS (IPS)
, место издания
EDITRICE COMPOSITORI, VIA STALINGRADO 97/2, 40128 BOLOGNA, ITALY
, том 52, с. 27-34
1996
Исследование роста алмазных пленок в разряде, контролируемом электронным пучком
Кашко Д.А.
,
Паль А.Ф.
,
Рахимов А.Т.
,
Серов А.О.
,
Суетин Н.В.
в сборнике
Тонкие пленки в электронике. Материалы 7-го межд. симпозиума
, место издания
Москва-Йошкар-Ола
, с. 33-38
1996
Осаждение алмазных пленок в разряде постоянного тока на установке с замкнутым газовым контуром
Кашко Д.А.
,
Паль А.Ф.
,
Рахимов А.Т.
,
Серов А.О.
,
Суетин Н.В.
,
Филиппов А.В.
в сборнике
Тонкие пленки в электронике. Материалы 7-го межд. симпозиума
, место издания
Москва-Йошкар-Ола
, с. 19-32
1995
Образование и дезактивация синглетного кислорода в сильно неравновесных условиях
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Лопаев Д.В.
,
Попов Н.А.
,
Рахимов А.Т.
,
Рахимова Т.В.
в сборнике
ФНТП-95, 20-26 июня 1995
, серия
1
, место издания
Петрозаводск
, с. 51-52
1995
Образование синглетного кислорода в процессах с участием электронно- и колебательно-возбужденного озона
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Лопаев Д.В.
,
Попов Н.А.
,
Рахимов А.Т.
,
Рахимова Т.В.
в сборнике
ISTAPC-95, 22-26 мая 1995
, место издания
Иваново
, с. 46-49
1977
Неустойчивости в плазме газового разряда
Елецкий А.В.,
Рахимов А.Т.
в сборнике
Химия плазмы
, место издания
Атомиздат, Москва Москва
, том 4, с. 123-167
1966
Магнитная гидродинамика потоков в МГД каналах
Рахимов А.Т.
,
Улинич Ф.Р.
в сборнике
Electricity from MHD
, место издания
International Atomic Energy Agency Austria, Vienna
, том 1, с. 333-341
Книги
2007
Генерация УФ-излучения и электросинтез озона в барьерном разряде с новой структурой электродов. Препринт НИИЯФ МГУ – 2007-06/827
Аванесов Алексей Вадимович
,
Дамбраускас С.Г.
,
Рахимов А.Т.
,
Саенко В.Б.
2007
Динамика и структура образования микрошнуров плазмы в барьерном разряде. Препринт НИИЯФ МГУ – 2007-05/826
Аванесов Алексей Вадимович
,
Рахимов А.Т.
,
Саенко В.Б.
2006
Опытные образцы источников УФ-излучения и озона на основе различных газоразрядных схем. Препринт НИИЯФ МГУ – 2006- 20/819
Аванесов Алексей Вадимович
,
Волошин Д.Г.
,
Дамбраускас С.Г.
,
Рахимов А.Т.
,
Саенко В.Б.
2004
Катодолюминесцентный источник света большой яркости и анализ возможностей повышения светоотдачи люминофорного покрытия. Препринт НИИЯФ МГУ – 2004 – 21/760
Белостоцкий С.Г.
, Муратов Е.А.,
Лопаев Д.В.
,
Рахимов А.Т.
,
Саенко В.Б.
место издания
Изд-во учебно-научного центра довузовского образования (УНЦ ДО) Москва
, 17 с.
2000
Self-consistent numerical model for dc discharge in oxygen
Ivanov V.V.
,
Klopovsky K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
место издания
Preprint of Institute of Nuclear Physics of Moscow State University MSU Press
, ISBN 2000-16/620, 29 с.
2000
Самосогласованная численная модель разряда постоянного тока в кислороде. Препринт НИИЯФ МГУ №2000-16/620
Иванов В.В.
,
Клоповский К.С.
,
Лопаев Д.В.
,
Прошина О.В.
,
Рахимов А.Т.
,
Рахимова Т.В.
место издания
Издательство МГУ Москва
, 29 с.
1999
Особенности электросинтеза озона в поверхностном барьерном разряде. Препринт НИИЯФ МГУ – №99-18/576
Гибалов В.И.
,
Рахимов А.Т.
, Савельев А.Б.,
Саенко В.Б.
место издания
НИИЯФ МГУ Москва
, 28 с.
1998
Заселенность электронных состояний кислорода в реакции трехтельной рекомбинации О(3Р). 1998. Препринт НИИ ядерной физики МГУ, № 98-5/506
Дамбраускас С.Г.
,
Лопаев Д.В.
, Пирогов В.Г.,
Рахимов А.Т.
, Рулев Г.Б.,
Саенко В.Б.
место издания
Издательство МГУ Москва
, 15 с.
1997
Исследование генерации в газовых разрядах интенсивного ультрафилднтового излучения для эффективного воэбуждения люминофоров. Препринт НИИЯФ МГУ – № 97- 49/500
Иванов В.В.
, Ивлюшкин А.Н.,
Клоповский К.С.
,
Манкелевич Ю.А.
, Пирогов В.Г.,
Прошина О.В.
,
Рахимов А.Т.
,
Рахимова Т.В.
,
Рой Н.Н.
, Рулев Г.Б.,
Саенко В.Б.
место издания
НИИЯФ МГУ Москва
, 43 с.
1995
Квантовая механика на персональном компьютере
Волкова Е.А.
,
Попов А.М.
,
Рахимов А.Т.
место издания
УРСС Москва
, ISBN 5-88417-012-2, 215 с.
1994
2-D zonal averaged model for the polar ozone depletion problem. Part 1. Preprint № 94-32/354
Klopovsky K.S.
,
Mankelevich Yu A.
,
Popov A.M.
,
Popov N.A.
,
Popovicheva O.B.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
место издания
НИИЯФ МГУ Москва
, 56 с.
1994
2-D zonal averaged model for the polar ozone depletion problem. Part 2. Preprint № 94-33/355
Klopovsky K.S.
,
Mankelevich Yu A.
,
Popov A.M.
,
Popov N.A.
,
Popovicheva O.B.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
место издания
НИИЯФ МГУ Москва
, 48 с.
1994
Использование открытых плазменных источников ультрафиолета в медицине и биологии. Препринт НИИ ядерной физики МГУ, № 94-39/361
Гусев В.Ю.
,
Рахимов А.Т.
, Рулев Г.Б.,
Саенко В.Б.
,
Ястребов А.А.
место издания
НИИЯФ МГУ Москва
, 26 с.
1991
Лазерографический комплекс для микротехнологии и эксперименты по лазерно-стимулированным процессам на поверхности полупроводников
Ахманов А.С.
,
Гусев В.Ю.
,
Ковалев А.С.
,
Рахимов А.Т.
, Рулев Г.Б.,
Саенко В.Б.
,
Ястребов А.А.
место издания
Препринт НИИ ядерной физики МГУ, № 91-19/223 Москва
, 28 с.
1989
Знакомьтесь: Персональная ЭВМ Корвет
Ахманов (мл) С.А.
,
Персианцев И.Г.
,
Рахимов А.Т.
,
Рой Н.Н.
,
Скурихин А.В.
место издания
"Наука", Физматлит Москва Москва Москва
, ISBN 5-02-014207-7, 240 с.
1988
Числененое исследование процессов в ИК-лазере на переходах в атоме Xe
Клоповский К.С.
, Лукьянова А.В.,
Рахимов А.Т.
,
Суетин Н.В.
место издания
Препринт НИИ ядерной физики МГУ, № 88-45/66 Москва
, 29 с.
1987
Физические явления в газоразрядной плазме
Велихов Е.П.
,
Ковалев А.С.
,
Рахимов А.Т.
место издания
Москва, "Наука" Главная редакция физико-математической литературы Москва
, 160 с.
1985
О методике численного решения уравнений, описывающих высокочастотный газовый разряд . Препринт № 86 ИПМ им. М.В.Келдыша
Бойко В.В.,
Манкелевич Ю.А.
,
Рахимов А.Т.
,
Суетин Н.В.
, Филиппов С.С.
место издания
ИПМ им. М.В.Келдыша Москва
, 22 с.
1981
Molecular gas lasers: physics and application
Baranov V.Y.,
Kovalev A.S.
,
Persiantsev I.G.
,
Pismenny V.D.
,
Rakhimov A.T.
, Starostin A.N.
место издания
Mir Moscow
, 266 с.
1977
Вопросы устойчивости низкотемпературной плазмы газовых разрядов
Рахимов А.Т.
место издания
Издательство Московского университета Москва
, ISBN УДК 533.9+621.378.33, 96 с.
Доклады на конференциях
2023
Plasma enhanced atomic layer etching of SiO in Ar/C F inductively coupled plasma with O cleaning step
(Устный)
Авторы:
Shibanov D.R.
,
Lopaev D.V.
,
Zaseev Y.G.
,
Pavlov G.Y.
,
Rakhimov A.T.
GDPA 2023
, Республика Башкорторстан, г. Уфа, ул. Карла Маркса, д. 12, Россия, 18-22 сентября 2023
2023
Sputtering of amorphous Si and SiO2 by low-energy Ar+, Kr+ and Xe+ ions
(Устный)
Авторы:
Shibanov D.R.
,
Lopaev D.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Zotovich A.I.
,
Rakhimov A.T.
GDPA 2023
, Республика Башкорторстан, г. Уфа, ул. Карла Маркса, д. 12, Россия, 18-22 сентября 2023
2021
SiO2 sputtering by low energy ions
(Стендовый)
Авторы:
Shibanov D.
,
Lopaev D.
,
Zyryanov S.
,
Zotovich A.
,
Bogdanova M.
,
Rakhimov A.
Micro- and nano engineering (MNE - 2021)
, Турин, Италия, 20-24 сентября 2021
2021
Столкновительно радиационные модели для контроля потока фотонов в плазменных реакторах
(Устный)
Авторы:
Волошин Д.Г.
,
Рахимов А.Т.
XXVIII Международная научная конференция студентов, аспирантов и молодых ученых "Ломоносов 2021"
, МГУ им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия, 12-23 апреля 2021
2021
Низкотемпературная плазма, газовые лазеры и плазменные микротехнологии
(Устный)
Автор:
Рахимов А.Т.
Научная сессия к 75-летию НИИЯФ МГУ
, г. Москва, РФ, Россия, 15-17 февраля 2021
2020
БЫСТРОЕ ТУШЕНИЕ СИНГЛЕТНОГО КИСЛОРОДА АТОМАМИ O ОСНОВНОГО СОСТОЯНИЯ ПРИ ВЫСОКОМ РАЗОГРЕВЕ
(Стендовый)
Авторы:
Волынец А.В.
,
Лопаев Д.В.
,
Богданова М.А.
,
Зырянов С.М.
,
Рахимов А.Т.
XLVII Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС
, Звенигород, Россия, 16-20 марта 2020
2020
ОПРЕДЕЛЕНИЕ МОЛЬНОЙ ДОЛИ МЕТАСТАБИЛЬНЫХ МОЛЕКУЛ КИСЛОРОДА В РАЗРЯДЕ O2 С ПОМОЩЬЮ ОПТИЧЕСКОЙ Э МИССИОННОЙ СПЕКТРОСКОПИИ
(Стендовый)
Авторы:
Богданова М.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Волынец А.В.
,
Зырянов С.М.
,
Рахимов А.Т.
XLVII Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС
, Звенигород, Россия, 16-20 марта 2020
2019
Molecular dynamics simulation of Si/SiO2-based nanoporous material irradiation by low-energy Ar and He ions
(Устный)
Авторы:
Sycheva A.A.
,
Voronina E.N.
,
Rakhimov A.T.
24th International Conference on Ion-Surface Interactions (ISI-2019)
, Москва, Россия, 19-23 августа 2019
2019
Процессы взаимодействия плазмы с нанопористыми пленками с низкой диэлектрической проницаемостью
(Устный)
Авторы:
Зырянов С.М.
,
Рахимов А.Т.
,
Бакланов М.Р.
Научный семинар "Системы металлизации" Научно-исследовательского института молекулярной электроники (АО "НИИМЭ")
, Москва, Россия, 27 марта 2019
2019
“Coherent Transitions” and Rabi-type Oscillations between Spatial Modes of Classical Light
(Устный)
Авторы:
Bogatskaya A.V.
,
Klenov N.V.
,
Popov A.M.
,
Rakhimov A.T.
7th International conference on photonics, optics and laser technology "Photoptics 2019"
, Чехия, 25-27 февраля 2019
2018
ИССЛЕДОВАНИЕ РОЛИ ОЗОНА В ГИБЕЛИ АТОМОВ КИСЛОРОДА В О2 ПЛАЗМЕ ПОВЫШЕННОГО ДАВЛЕНИЯ.
(Стендовый)
Авторы:
Богданова М.А.
,
Зырянов С.М.
,
Волынец А.В.
,
Рахимов А.Т.
Современные методы диагностики плазмы и их применение
, Институт Лазерных и плазменных технологий НИЯУ МИФИ, Москва, Россия, 13-15 ноября 2018
2018
ОПРЕДЕЛЕНИЕ ГАЗОВОЙ ТЕМПЕРАТУРЫ КИСЛОРОДНОЙ ПЛАЗМЫ ПОВЫШЕННОГО ДАВЛЕНИЯ МЕТОДОМ ОПТИЧЕСКОЙ ЭМИССИОННОЙ СПЕКТРОСКОПИИ.
(Стендовый)
Авторы:
Зырянов С.М.
,
Богданова М.А.
,
Волынец А.В.
,
Рахимов А.Т.
Современные методы диагностики плазмы и их применение
, Институт Лазерных и плазменных технологий НИЯУ МИФИ, Москва, Россия, 13-15 ноября 2018
2018
O atom kinetics in RF CCP oxygen plasma at increased pressures
(Устный)
Авторы:
Волынец А.В.
,
Лопаев Д.В.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Рахимов А.Т.
The 71st Annual Gaseous Electronics Conference, Co-Located with the 60th Annual meeting of the APS Division of Plasma Physics, (November 5 - 9, 2018, Portland, USA)
, Portland, США, 5-9 ноября 2018
2018
Actinometry of O atoms with Kr at elevated pressures (10 - 100 Torr) in pure O2 discharge
(Устный)
Авторы:
Volynets A.V.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimov A.T.
International Conference on Combustion Physics and Chemistry
, Самара, Россия, 24-28 июля 2018
2017
O atom kinetics in RF CCP oxygen plasma at increased pressures
(Устный)
Авторы:
Proshina O.
,
Rakhimova T.
,
Volynets A.
,
Lopaev D.
,
Rakhimov A.
70th Annual Gaseous Electronics Conference
, Pittsburgh, Pennsylvania, США, 6-10 ноября 2017
2017
Актинометрия атомов O, N и F
(Стендовый)
Авторы:
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Лопаев Д.В.
,
Волынец А.В.
,
Рахимов А.Т.
Всероссийская (с международным участием) конференция "Физика низкотемпературной плазмы ФНТП-2017"
, Казань, Россия, 5-9 июня 2017
2016
"Virtual IED sensor" at an rf-biased electrode in low-pressure plasma
(Устный)
Авторы:
Bogdanova M.A.
,
Lopaev D.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Rakhimov A.T.
69th Annual Gaseous Electronics Conference
, Bochum, Германия, 10-14 октября 2016
2016
Actinometry of O, N and F atoms
(Устный)
Авторы:
ANDREY VOLYNETS
,
DMITRY LOPAEV
,
ALEXANDER RAKHIMOV
,
SERGEY ZYRYANOV
,
ALEXEY ZOTOVICH
69th Annual Gaseous Electronics Conference
, Bochum, Германия, 10-14 октября 2016
2014
Next to 100% optical absorption of carbon nanowalls
Авторы:
Evlashin S.A.
,
Svyakhovskiy S.E.
,
Krivchenko V.A.
,
Suetin N.V.
,
Murzina T.V.
,
Pilevsky A.A.
,
Mironovich K.V.
,
Rakhimov A.T.
Carbon 2014
, Jeju, Korea, 2014
2014
Self-Organization Particle on Carbon Nanowalls and Surface-Enhanced Raman Scattering
Авторы:
Rakhimov Alexander T.
,
Pilevsky Andrey A.
,
Mironovich Kirill V.
,
Tsvetkov Michail Y.
,
Suetin Nikolay V.
,
Evlashin Stanislav A.
XII International Conference on Nanostructured Materials
, Москва, Россия, 2014
2013
5. Optical, microphysical and chemical characterization of Siberian biomass burning aerosols simulated in a Large Aerosol Chamber
Авторы:
Popovicheva O.B.
,
Kozlov V.S.
,
Panchenko M.V.
,
Kireeva E.D.
,
Rakhimov R.F.
,
Yausheva E.P.
,
Chernov D.G.
,
Shmargunov V.P.
,
Persiantseva N.M.
,
Timofeev M.A.
,
Shonija N.K.
4th Fire Behavior and Fuels Conference. St. Petersburg, Russia - July 1 - 4, 2013.
, Санкт-Петербург, Россия, 2013
2013
1D model of OSG low-k films modification by EUV/VUV emission
(Устный)
Авторы:
Rakhimov A.T.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
,
Lopaev D.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Kovalev A.S.
,
Vasil'eva A.N.
,
Proshina O.V.
,
Braginsky O.V.
,
Kurchikov K.
,
Baklanov M.R.
PESM 2013 (14 - 15 March 2013, Leuven Belgium)
, Лёвен, Бельгия, 14-15 марта 2013
2012
Investigation of mechanisms of secondary nucleation on carbon nanowalls in plasma of direct current glow discharge
Авторы:
Кривченко В.А.
,
Миронович К.В.
,
Воронин П.В.
,
Рахимов А.Т.
VII International Conference PLASMA PHYSICS AND PLASMA TECHNOLOGY PPPT-7
, Minsk, BELARUS, Беларусь, 2012
2012
Investigation of nucleation and field emission characteristics of carbon nanowalls grown on porous silicon
Авторы:
Евлашин С.А.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Пилевский А.А.
,
Borisov V.V.
,
Шевнин П.Л.
,
Степанов А.С.
,
Суетин Н.В.
,
Рахимов А.Т.
The International Conference “Micro- and nanoelectronics"
, Липки, 2012
2012
SECONDARY NUCLEATION ON CARBON NANOWALLS FOR SUPERCAPACITORS
Авторы:
Кривченко В.А.
,
Воронин П.В.
,
Миронович К.В.
,
Иткис Д.М.
,
Семененко Д.А.
,
Рахимов А.Т.
VII International Conference PLASMA PHYSICS AND PLASMA TECHNOLOGY PPPT-7
, Minsk, BELARUS, Беларусь, 2012
2012
Автоэмиссионный нейтрализатор объемного заряда ионного потока – средство повышения экономичности электроракетных двигателей
(Пленарный)
Авторы:
Минаков П.В.
,
Сень В.В.
,
Поройков А.Ю.
,
Рахимов А.Т.
Международная конференция «Будущее электрических ракетных двигателей. Вызовы ракетно-космической промышленности. Экологичность и экономичность»
, Москва, Россия, 7 сентября 2012
2011
Engineering of electrode material for supercapacitors and lithium-ion batteries using carbon nanowalls grown in plasma of dc glow discharge
Авторы:
Кривченко В.А.
,
Иткис Д.М.
,
Евлашин С.А.
,
Пилевский А.А.
,
Гудилин Е.А.
,
Рахимов А.Т.
,
Семененко Д.А.
220st ECS Meeting
, Boston, MA, USA, 2011
2011
Selective deposition of carbon nanowalls and investigation of their emission properties
Авторы:
Евлашин С.А.
,
Пилевский А.А.
,
Степанов А.С.
,
Рахимов А.Т.
,
Borisov V.V.
,
Суетин Н.В.
24th International Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC)
, Wuppertal, 2011
2011
Selective deposition of carbon nanowalls and investigation of their emission properties Carbon nanowalls on porous silicon and their emission properties
Авторы:
Суетин Н.В.
,
Borisov V.V.
,
Рахимов А.Т.
,
Евлашин С.А.
,
Степанов А.Л.
,
Пилевский А.А.
24th International Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC)
, Wuppertal, 2011
2011
Survey of field emitters for lighting
Авторы:
Vancil B.
,
Spina F.
,
Lorr J.
,
Рахимов А.Т.
2011 24th International Vacuum Nanoelectronics Conference
, Wuppertal, 2011
2011
Nanocrystalline graphite: advanced field emission cathode material for a spacecraft neutralizer
(Стендовый)
Авторы:
Poroykov Alexander Y.
,
Mankelevich Yuri A.
,
Pilevsky Andrey A.
,
Rakhimov Alexander T.
,
Seleznev Boris V.
,
Suetin N.V.
,
Timofeyev Mikhail A.
32nd International Electric Propulsion Conference (IEPC-2011)
, Wiesbaden, Германия, 11-15 сентября 2011
2010
Effect of RF/MW plasma seeding on field emission properties of nanocrystalline graphite films
Авторы:
Дворкин В.В.
,
Дзбановский Н.Н.
,
Суетин Н.В.
,
Рахимов А.Т.
,
Яшина Л.В.
,
Кривченко В.А.
,
Timofeyev M.A.
5th International Conference on Surfaces, Coatings and Nanostructured Materials (NANOSMAT-5)
, Reims (France), Франция, 2010
2010
Nanocrystalline graphite as a material for electrochemical supercapacitors.
Авторы:
Кривченко В.А.
,
Максимов Ю.М.
,
Рахимов А.Т.
,
Суетин Н.В.
,
Timofeyev M.A.
The Annual World Conference Carbon'2010. From Nano to Micro
, Clemson, USA, 2010
2009
Correlation between plasma OES and properties of B-doped diamond films grown by MWPECVD.
Авторы:
Belousov M.E.
,
Кривченко В.А.
,
Паль А.Ф.
,
Рахимов А.Т.
,
Сень В.В.
,
Минаков П.В.
,
Суетин Н.В.
EuroCVD-17 (The 17-th European CVD conference)
, Vienna, Austria, Австрия, 2009
2009
High current electron field emission cathodes based on nanocrystalline graphite.
Авторы:
Кривченко В.А.
,
Пилевский А.А.
,
Рахимов А.Т.
,
Селезнев Б.В.
,
Тимофеев М.А.
,
Bespalov A.P.
,
Суетин Н.В.
,
Голикова О.А.
20th European Conference on Diamond
, Athens, Greece, Греция, 2009
2009
Multi beam X-ray tube with the field emitter on the base of nanocrystalline graphite for computer tomography
Авторы:
Сень В.В.
,
Guzilov I.A.
,
Maslennikov O.Y.
,
Smirnova E.V.
,
Минаков П.В.
,
Рахимов А.Т.
,
Селезнев Б.В.
,
Kuzmich K.V.
,
Поройков А.Ю.
10th International Vacuum Electronics Conference
, Rome, Italy, Италия, 2009
2009
Si wires growth by using of magnetron sputtering method
Авторы:
Евлашин С.А.
,
Кривченко В.А.
,
Timofeyev M.A.
,
Рахимов А.Т.
,
Суетин Н.В.
,
Pastchenko P.V.
International Conference "Micro- and nanoelectronics"
, Липки, 2009
2004
Генерация синглетного кислорода в газовом разряде для накачки кислородно-ионного лазера.
Авторы:
Брагинский О.В.
,
Ковалев А.С.
,
Клоповский К.С.
,
Лопаев Д.В.
,
Попов Н.А.
,
Рахимова Т.В.
,
Васильева А.Н.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Рахимов А.Т.
57-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC 2004), 26-29 September 2004
, Bunratty, Ireland, Ирландия, 2004
1990
Diagnostics of excitation and relaxation processes of vibrational states of molecular nitrogen in gas discharge by CARS spectroscopy
Авторы:
Девятов А.А.
,
Рахимов А.Т.
,
Персианцев И.Г.
,
Доленко С.А.
International Symposium on Coherent Raman Spectroscopy, Samarkand
, Samarkand, 1990
1988
Широкополосный вариант спектроскопии КАРС: применение для диагностики газового разряда
Авторы:
Девятов А.А.
,
Рахимов А.Т.
,
Доленко С.А.
XIII Международная конференция по когерентной и нелинейной оптике
, Минск, 1988
Тезисы докладов
2023
Mechanisms of methyl group elimination from low-K surface with low-energy Ar/He atoms and ions
Sycheva A.A.
,
Solovykh A.A.
,
Voronina E.N.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Palov A.P.
,
Rakhimov A.T.
в сборнике
"Взаимодействие ионов с поверхностью (ВИП-2023)", Труды 26-й Международной конференции. 21–25 августа 2023, Ярославль, Россия
, том 2, тезисы, с. 121-124
2023
PLASMA ENHANCED ATOMIC LAYER ETCHING IN Ar/C4F8 INDUCTIVELY COUPLED PLASMA WITH O2 CLEANING STEP
SHIBANOV D.R.
,
LOPAEV D.V.
,
ZASEEV Y.G.
,
PAVLOV G.Y.
,
RAKHIMOV A.T.
в сборнике
Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDPA-2023): Abstracts of 16th International Conference
, место издания
Aeterna Ufa, Russia
, тезисы, с. G3-O-005905
2023
SPUTTERING OF AMORPHOUS Si AND SiO2 BY LOW-ENERGY Ar+ , Kr+ AND Xe+ IONS
SHIBANOV D.R.
,
LOPAEV D.V.
,
ZYRYANOV S.M.
,
ZOTOVICH A.I.
,
RAKHIMOV A.T.
в сборнике
Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDPA-2023): Abstracts of 16th International Conference
, место издания
Aeterna Ufa, Russia
, тезисы, с. G3-O-005903
2007
Evolution of Electron Temperature and Density Distributions in the Inter-Electrode Gap of DF CCP Discharge during the RF Period
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
в сборнике
Workshop on Radio-Frequency Discharges
, место издания
All Hallows College, Dublin, Ireland
, тезисы, с. 28
2007
Evolution of Electron Temperature and Density Distributions in the Inter-Electrode Gap of DF CCP Discharge during the RF Period
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Voloshin D.G.
,
Vasilieva A.N.
в сборнике
Book of Abstracts of XXVIII International Conference on Phenomena in Ionized Gases
, место издания
Praha
, тезисы, с. 2133-2136
2007
Experimental Study of Dual Frequency RF Discharge in Argon for Different Gas Pressures
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Voloshin D.G.
,
Vasilieva A.N.
в сборнике
Proceedings of XXVIII International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG), Book of abstracts
, место издания
ICPIG-XXVIII Prague, Czech Republic
, тезисы, с. 2114-2117
2004
New Mechanism of O2(a(1)Delta(g)) Quenching in Oxygen Contained Plasmas
Savin Yu V.
,
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Klopovsky K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Popov N.A.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
в сборнике
XV International Simposium on Gas Flow and Chemical Lasers and High Power Laser Conference, 30 August – 3 September 2004, Book of abstracts
, место издания
Prague, Czech Republic
, тезисы, с. 124-124
2004
Pollution-free efficient source of visible light of high brightness on runaway electrons
Belostotsky Sergey
,
Lopaev Dmitriy
,
Muratov Evgeniy
,
Rakhimov Alexander
,
Saenko Vladimir
в сборнике
57th Gaseous Electronics Conference, 26-29 September, 2004, Shannon, Republic of Ireland
, место издания
American Physical Society USA
, том 1, тезисы, с. 2010
1992
Low Pressure RF Discharge in Electronegative Gases for Plasma Processing
Feoktistov V.A.
,
Lopaev D.V.
,
Klopovsky K.S.
,
Popov A.M.
,
Popovicheva O.B.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
в сборнике
IVC-12 and ICSS-8, Book of Abstracts
, место издания
The Hague, The Netherlands
, тезисы, с. 174
1990
Diagnostics of excitation and relaxation processes of vibrational states of molecular nitrogen in gas discharge by CARS spectroscopy
Devyatov A.A.
,
Dolenko S.A.
,
Persiantsev I.G.
,
Rakhimov A.T.
в сборнике
International Symposium on Coherent Raman Spectroscopy. Abstracts
, место издания
Samarkand
, тезисы, с. 43-43
1988
Широкополосный вариант спектроскопии КАРС: применение для диагностики газового разряда
Девятов А.А.
,
Доленко С.А.
,
Рахимов А.Т.
в сборнике
Тезисы докладов XIII Международной конференции по когерентной и нелинейной оптике
, место издания
Минск,
, том 3, тезисы, с. 75-76
1986
A CARS study into the efficiency of exciting separate vibrational levels of nitrogen in gas discharge
Devyatov A.A.
,
Dolenko S.A.
,
Nechaev A.A.
,
Orlov Y.V.
,
Persiantsev I.G.
,
Rakhimov A.T.
,
Rebrik S.P.
,
Suetin N.V.
в сборнике
Conference Abstracts, VIIIth European Sectional Conference on Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases
, место издания
Greifswald, GDR
, тезисы, с. 120-121
1985
Study of kinetic processes in molecular nitrogen by CARS
Devyatov A.A.
,
Dolenko S.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Suetin N.V.
в сборнике
Contributed papers of XVII International Conference on Phenomena in Ionized Gases
, место издания
Budapest, Hungary
, том 2, тезисы, с. 1076-1077
НИРы
2 октября 2023 - 30 ноября 2023
Выполнение работ по проведению испытаний на соответствие технологическим требованиям образца установки «Плазма ТМ 200-04»
Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Ответственный исполнитель:
Лопаев Д.В.
Участники НИР:
Богданова М.А.
,
Волошин Д.Г.
,
Зиганшин И.И.
,
Кропоткин А.Н.
,
Рахимова Т.В.
,
Чукаловский А.А.
,
Шибанов Д.Р.
22 апреля 2022 - 30 сентября 2023
Математическое моделирование распределения параметров плазмы, оптимизация конструкции и разработка системы оптического контроля плазмы разряда экспериментального и опытного образца реактора для проведения технологических процессов плазмохимического травления (ПХТ) высокоаспектных диэлектрических структур на пластинах диаметром до 300 мм в микроэлектронном производстве уровня 65 нм
Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Ответственные исполнители:
Волошин Д.Г.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Ковалев А.С.
,
Кропоткин А.Н.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
Участники НИР:
Богданова М.А.
,
Зиганшин И.И.
,
Кожин В.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Минаков П.В.
,
Палов А.П.
,
Поройков А.Ю.
,
Скурихин А.В.
,
Чукаловский А.А.
,
Шибанов Д.Р.
13 августа 2021 - 31 декабря 2022
Соглашение о сотрудничестве между НИИЯФ МГУ и IMEC
Отдел микроэлектроники
Руководитель:
Рахимова Т.В.
Ответственные исполнители:
Волошин Д.Г.
,
Воронина Е.Н.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Прошина О.В.
,
Сычева А.А.
,
Чукаловский А.А.
21 апреля 2021 - 31 мая 2021
«Получение алмазных поликристаллических пленок, легированных бором»
Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Минаков П.В.
,
Чеботарева А.Б.
,
Шевнин П.Л.
1 января 2021 - 31 декабря 2021
Соглашение с IMEC ( Межуниверситетский центр микроэлектроники), Лювен
Отдел микроэлектроники
Руководитель:
Рахимов А.Т.
3 декабря 2018 - 3 декабря 2021
Исследование способов функционализации нанопористых пленок с низкой диэлектрической проницаемостью и нанесения диффузионных барьеров на их поверхность
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Ответственные исполнители:
Минаков П.В.
,
Прошина О.В.
,
Сычева А.А.
Участники НИР:
Васильева А.Н.
,
Зырянов С.М.
,
Ковалев А.С.
,
Рябинкин А.Н.
,
Серов А.О.
,
Чукаловский А.А.
2 мая 2017 - 31 декабря 2018
Исследование свойств многочастотной ВЧ плазмы сложного состава, включая потоки и энергетический спектр ионов и фотонов, и их влияние на элементарные процессы на поверхности
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Ответственные исполнители:
Волошин Д.Г.
,
Палов А.П.
,
Рахимова Т.В.
Участники НИР:
Богданова М.А.
,
Волынец А.В.
,
Зотович А.И.
,
Ковалев А.С.
,
Поройков А.Ю.
,
Сычева А.А.
,
Чукаловский А.А.
1 января 2015 - 31 декабря 2025
Экспериментальные и теоретические исследования неравновесных плазменных процессов в газовой фазе и на поверхности
Отдел микроэлектроники
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Алов Н.В.
,
Богацкая А.В.
,
Богданова М.А.
,
Васильева А.Н.
,
Волкова Е.А.
,
Волошин Д.Г.
,
Волынец А.В.
,
Воронина Е.Н.
,
Гаврилов А.В.
,
Дворкин В.В.
,
Евлашин С.А.
,
Зиганшин И.И.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Киреева Е.Д.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Кост Т.Н.
,
Кривченко В.А.
,
Кропоткин А.Н.
,
Курчиков К.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Минаков П.В.
,
Миронович К.В.
,
Намиот В.А.
,
Олеванов М.А.
,
Палов А.П.
,
Паль А.Ф.
,
Персианцева Н.М.
,
Попов А.М.
,
Попов Н.А.
,
Поповичева О.Б.
,
Поройков А.Ю.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Рябинкин А.Н.
,
Самородов В.А.
,
Сень В.В.
,
Серов А.О.
,
Скурихин А.В.
,
Степанов А.С.
,
Суетин Н.В.
,
Сычева А.А.
,
Тимофеев М.А.
,
Тихонова О.В.
,
Унтила Г.Г.
,
Чеботарева А.Б.
,
Чукаловский А.А.
,
Шевнин П.Л.
,
Шибанов Д.Р.
,
Шкуренков И.А.
30 ноября 2014 - 31 декабря 2015
Разработка физических основ построения сверхпроводниковых электронных устройств для широкополосных приемных систем с прямой оцифровкой сигналов
Физический факультет
Руководитель:
Корнев В.К.
Участники НИР:
Галстян А.Г.
,
Дагесян С.А.
,
Жарик Г.А.
,
Кленов Н.В.
,
Колотинский Н.В.
,
Левочкина А.Ю.
,
Паршинцев А.А.
,
Рахимов А.Т.
,
Сапков И.В.
,
Солдатов Е.С.
,
Соловьев И.И.
,
Шарафиев А.В.
,
Шорохов В.В.
22 мая 2014 - 30 декабря 2016
Исследование свойств многочастотной ВЧ плазмы сложного состава, включая потоки и энергетический спектр ионов и фотонов, и их влияние на элементарные процессы на поверхности
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Курчиков К.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Палов А.П.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Сычева А.А.
,
Чукаловский А.А.
1 июня 2012 - 31 июля 2015
Механизм образования дефектов в процессе плазменного травления материалов с низким значением диэлектрической постоянной во фторуглеродной плазме
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Волынец А.В.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Ковалев А.С.
,
Курчиков К.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Палов А.П.
,
Поройков А.Ю.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Чукаловский А.А.
12 марта 2012 - 19 июня 2013
Исследование процессов взаимодействия плазмы с поверхностью при формировании наноразмерных структур в материалах с ультра низкой константой диэлектрической проницаемости с участием межуниверситетского микроэлектронного центра IMEC
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Брагинский О.В.
,
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Воронин П.В.
,
Дворкин В.В.
,
Евлашин С.А.
,
Зырянов С.М.
,
Киреева Е.Д.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Кривченко В.А.
,
Курчиков К.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Минаков П.В.
,
Миронович К.В.
,
Палов А.П.
,
Пащенко П.В.
,
Пилевский А.А.
,
Попов Н.А.
,
Поройков А.Ю.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Самородов В.А.
,
Селезнев Б.В.
,
Сень В.В.
,
Степанов А.С.
,
Чукаловский А.А.
,
Шевнин П.Л.
,
Ястребов А.А.
1 января 2012 - 31 декабря 2014
Исследование объемных и поверхностных процессов в неравновесной низкотемпературной плазме
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Аванесов А.В.
,
Брагинский О.В.
,
Васильева А.Н.
,
Волкова Е.А.
,
Волошин Д.Г.
,
Гаврилов А.В.
,
Дворкин В.В.
,
Дзбановский Н.Н.
,
КЛАВДИЕВ В.В.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Кост Т.Н.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Минаков П.В.
,
Намиот В.А.
,
Паль А.Ф.
,
Персианцева Н.М.
,
Пилевский А.А.
,
Попов А.М.
,
Попов Н.А.
,
Поповичева О.Б.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Рябинкин А.Н.
,
Самородов В.А.
,
Сень В.В.
,
Серов А.О.
,
Скурихин А.В.
,
Суетин Н.В.
,
Тимофеев М.А.
,
Тихонова О.В.
,
Унтила Г.Г.
,
Чеботарева А.Б.
12 октября 2011 - 5 сентября 2012
Разработка катодного узла нейтрализатора заряда ионного потока энергоэффективных электроракетных двигателей малых космических аппаратов на основе автоэмиттера из нанокристаллического графита
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Волошин Д.Г.
,
Волынец А.В.
,
Воронин П.В.
,
Дворкин В.В.
,
Дзбановский Н.Н.
,
Евлашин С.А.
,
Зырянов С.М.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Кривченко В.А.
,
Курчиков К.А.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Минаков П.В.
,
Миронович К.В.
,
Пилевский А.А.
,
Попов А.М.
,
Поройков А.Ю.
,
Рахимова Т.В.
,
Рябинкин А.Н.
,
Самородов В.А.
,
Сень В.В.
,
Скурихин А.В.
,
Степанов А.С.
,
Суетин Н.В.
,
Тимофеев М.А.
,
Чукаловский А.А.
,
Шевнин П.Л.
1 декабря 2010 - 15 ноября 2012
Исследование механизмов формирования выходного излучения многокатодных рентгеновских источников перспективных рентгеновских 3D-сканеров с электронным сканированием излучающей точки на основе высокоэффективных автоэмиссионных нанографитовых катодов в режиме электронной коммутации управляющих напряжений
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Волошин Д.Г.
,
Волынец А.В.
,
Воронин П.В.
,
Дворкин В.В.
,
Дзбановский Н.Н.
,
Евлашин С.А.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Кривченко В.А.
,
Курчиков К.А.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Минаков П.В.
,
Миронович К.В.
,
Пилевский А.А.
,
Попов А.М.
,
Поройков А.Ю.
,
Рахимова Т.В.
,
Самородов В.А.
,
Сень В.В.
,
Скурихин А.В.
,
Степанов А.С.
,
Суетин Н.В.
,
Тимофеев М.А.
,
Чукаловский А.А.
,
Шевнин П.Л.
28 июня 2010 - 15 декабря 2012
Экспериментальное и теоретическое исследование механизмов образования дефектов в современных для наноэлектроники материалах с низкой (low-k, LK) и ультра-низкой (ultra low-k, ULK) константой диэлектрической проницаемости при их взаимодействии с плазмой
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Богданова М.А.
,
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Волынец А.В.
,
Воронин П.В.
,
Дворкин В.В.
,
Евлашин С.А.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Кривченко В.А.
,
Курчиков К.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Минаков П.В.
,
Миронович К.В.
,
Намиот В.А.
,
Олеванов М.А.
,
Палов А.П.
,
Паль А.Ф.
,
Попов А.М.
,
Попов Н.А.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Сень В.В.
,
Чукаловский А.А.
,
Шарапова П.Р.
,
Шевнин П.Л.
5 октября 2009 - 15 сентября 2010
Исследование фундаментальных процессов ламинарного и турбулентного горения и возможности контролирования процессов горения с помощью возбужденных молекул и радикалов кислорода, генерируемых в неравновесной плазме
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Либерман М.А.
Участники НИР:
Белоусов М.Э.
,
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Евлашин С.А.
,
Зырянов С.М.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Кожин В.А.
,
Кривченко В.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Минаков П.В.
,
Намиот В.А.
,
Палов А.П.
,
Паль А.Ф.
,
Попов А.М.
,
Попов Н.А.
,
Прошина О.В.
,
Рахимов А.Т.
,
Рахимова Т.В.
,
Сень В.В.
,
Чукаловский А.А.
7 июля 2009 - 1 сентября 2011
Исследование неравновесных процессов в плазме многочастотных плазменных реакторов с прецизионным управлением для травления перспективных материалов наноэлектроники
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Богданова М.А.
,
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Волынец А.В.
,
Воронин П.В.
,
Дворкин В.В.
,
Евлашин С.А.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Кривченко В.А.
,
Курчиков К.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Миронович К.В.
,
Намиот В.А.
,
Олеванов М.А.
,
Палов А.П.
,
Паль А.Ф.
,
Попов А.М.
,
Попов Н.А.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Сень В.В.
,
Степанов А.С.
,
Суетин Н.В.
,
Харин В.Ю.
,
Чукаловский А.А.
,
Шарапова П.Р.
,
Шевнин П.Л.
1 июня 2009 - 1 сентября 2011
Разработка и исследование перспективных конструкций кремниевых солнечных фотоэлектрических преобразователей с использованием плазмохимических и лазерных технологических методов и электродов из нано-структурированных пленок прозрачных проводящих оксидов
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Унтила Г.Г.
Участники НИР:
Буренков И.А.
,
Волошин Д.Г.
,
Дворкин В.В.
,
Дзбановский Н.Н.
,
Евлашин С.А.
,
Зырянов С.М.
,
Ковалев А.С.
,
Кост Т.Н.
,
Кривченко В.А.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Минаков П.В.
,
Палов А.П.
,
Пащенко П.В.
,
Поройков А.Ю.
,
Прошина О.В.
,
Рахимов А.Т.
,
Рахимова Т.В.
,
Самородов В.А.
,
Селезнев Б.В.
,
Сень В.В.
,
Степанов А.С.
,
Суетин Н.В.
,
Тимофеев М.А.
,
Чеботарева А.Б.
,
Чукаловский А.А.
,
Шевнин П.Л.
,
Шкуренков И.А.
1 июня 2007 - 30 ноября 2007
Исследование физических свойств нано-структурированных пленок оксида индия, легированного фтором, определяющих возможности их использования в качестве прозрачного электрода для создания высокоэффективных солнечных элементов из кристаллического кремния
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Кост Т.Н.
,
Унтила Г.Г.
,
Чеботарева А.Б.
Патенты
2016
Способ измерения плотности электронов в плазме методом оптической спектроскопии
Авторы:
Волошин Д.Г.
,
Зырянов С.М.
,
Ковалев А.С.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Поройков А.Ю.
,
Прошина О.В.
,
Рахимов А.Т.
,
Ястребов А.А.
#2587468, 20 июня
2014
СПОСОБ НЕЙТРАЛИЗАЦИИ ОБЪЕМНОГО ЗАРЯДА ИОННОГО ПОТОКА
Авторы:
Дворкин Владимир Владимирович
,
Манкелевич Юрий Александрович
,
Минаков Павел Владимирович
,
Поройков Александр Юрьевич
,
Рахимов Александр Турсунович
,
Сень Василий Васильевич
,
Ястребов Александр Александрович
#2520270, 20 июня
2009
SINGLET OXYGEN GENERATOR BASED ON HIGH-FREQUENCY DISCHARGE IN GAS STREAM
Авторы:
Kovalev A.S.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Vasileva A.N.
,
Braginskij O.V.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Mankelevich J.A.
#RU2369950 (C2) , 10 октября
2009
METHOD FOR MEASUREMENT OF RADICAL CONCENTRATION IN GAS FLOW
Авторы:
Kovalev A.S.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Vasileva A.N.
,
Braginskij O.V.
,
Lopaev D.V.
#RU2363941 (C1) , 10 августа
2005
Cold emission film cathode and flat panel display with nanocrystalline carbon film emitter.
Авторы:
Blyablin A.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Samorodov V.A.
,
Suetin N.V.
,
Timofeev M.A.
#US 6,870,309 B2, 22 марта
2004
Method for forming nanocrystalline diamond films for cold electron emission using hot filament reactor
Авторы:
Rakhimov A.T.
,
Samorodov V.A.
,
Suetin N.V.
,
Pochinkin V.V.
#US 2004/0071876 A1, 15 апреля
2003
Cold emission film-type cathode and method for producing the same.
Авторы:
Blyablin A.A.
,
Kandidov A.V.
,
Timofeev M.A.
,
Seleznev B.V.
,
Pilevsky A.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Suetin N.V.
,
Samorodov V.A.
#US 6,577,045 B1, 10 июня
2003
Cold emission film-type cathode and method for producing the same.
Авторы:
Blyablin A.A.
,
Kandidov A.V.
,
Timofev M.A.
,
Seleznev B.V.
,
Pilevsky A.A.
,
Rakhimov A.T.
,
Suetin N.V.
,
Samorodov V.A.
#US 6, 577,045 B1, 10 июня
2001
Method for producing an adressable field-emission cathode and an associatad display structure.
Авторы: