Рахимов Александр Турсунович
пользователь
ответственный
доктор физико-математических наук с 1978 года
профессор по специальности № 01.04.08 с 20 сентября 1985 г.
Количество цитирований статей в журналах по данным
Web of Science: 2129,
Scopus: 1911
IstinaResearcherID (IRID): 438851
Деятельность
Статьи в журналах
2022
Modification of Porous Ultralow-k Film by Vacuum Ultraviolet Emission
Zotovich Alexey I. ,
Zyryanov Sergey M. ,
Lopaev Dmitry V. ,
Rezvanov Askar A. ,
Attallah Ahmed G. ,
Liedke Maciej O. ,
Butterling Maik ,
Bogdanova Maria A. ,
Vishnevskiy Alexey S. ,
Seregin Dmitry S. ,
Vorotyntsev Dmitry A. ,
Palov Alexander P. ,
Hirschmann Eric ,
Wagner Andreas ,
Naumov Sergej ,
Vorotilov Konstantin A. ,
Rakhimova Tatyana V. ,
Rakhimov Alexander T. ,
Baklanov Mikhail R.
в журнале ACS Applied Electronic Materials , издательство American Chemical Society (United States) , том 4, № 6, с. 2760-2776
DOI
2021
Structure of DC magnetron sputtering discharge at various gas pressures: a two-dimensional particle-in-cell Monte Carlo collision study
Ryabinkin A.N. ,
Serov A.O. ,
Pal A.F. ,
Mankelevich Yu A. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V.
в журнале Plasma Sources Science and Technology , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 30, № 5, с. 055009
DOI
2020
Experimental and PIC MCC study of electron cooling - re-heating and plasma density decay in low pressure rf ccp argon afterglow
Proshina O.V. ,
Rakhimova T.V. ,
Kovalev A.S. ,
Anna Vasilieva ,
Alexey Zotovich ,
Zyryanov S.M. ,
Rakhimov A.T.
в журнале Plasma Sources Science and Technology , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 29, № 1, с. 015015
DOI
2020
Pore sealing mechanism in OSG low- k films under ion bombardment
Voronina E.N. ,
Sycheva A.A. ,
Lopaev D.V. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Proshina O.V. ,
Voloshin D.G. ,
Zyryanov S.M. ,
Zotovich A.I. ,
Mankelevich Y.A.
в журнале Plasma Processes and Polymers , издательство Wiley - V C H Verlag GmbbH & Co. (Germany) , № 2, с. e1900165
DOI
2020
VUV radiation flux from argon DC magnetron plasma
Pal Alexander Fridrikhovich ,
Ryabinkin Alexey Nikolaevich ,
Serov Alexander Olegovich ,
Lopaev Dmitry ,
Mankelevich Yu A. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V. ,
Baklanov Mikhail
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 53, № 29, с. 295202
DOI
2019
Volume and surface loss of O(3P) atoms in O2 RF discharge in quartz tube at intermediate pressures (10–100 Torr)
Volynets A.V. ,
Lopaev D.V. ,
Zyryanov S.M. ,
Bogdanova M.A. ,
Rakhimov A.T.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 52, № 39, с. 395203
DOI
2018
N2 dissociation and kinetics of N(4S) atoms in nitrogen DC glow discharge
Volynets A.V. ,
Lopaev D.V. ,
Rakhimova T.V. ,
Chukalovsky A.A. ,
Mankelevich Yu A. ,
Popov N.A. ,
Zotovich A.I. ,
Rakhimov A.T.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 51, № 36, с. 364002
DOI
2018
Silicon dioxide and low-k material sputtering in dual frequency inductive discharge by argon ions with energies from 16 to 200 eV
Lopaev D.V. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Zotovich A.I. ,
Zyryanov S.M. ,
Baklanov M.R.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 51, № 2, с. 02LT02
DOI
2017
Actinometry of O, N and F atoms
Lopaev D.V. ,
Volynets A.V. ,
Zyryanov S.M. ,
Zotovich A.I. ,
Rakhimov A.T.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 50, № 7, с. 075202
DOI
2017
Multifold study of volume plasma chemistry in Ar/CF4 and Ar/CHF3 CCP discharges
Proshina O. ,
Rakhimova T. ,
Zotovich Alexey ,
Lopaev D. ,
Zyryanov S. ,
Rakhimov A.
в журнале Plasma Sources Science and Technology , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 26, с. 075005
DOI
2016
Comparison of vacuum ultra-violet emission of Ar/CF4and Ar/CF3I capacitively coupled plasmas
Zotovich A. ,
Proshina O. ,
el Otell Z. ,
Lopaev D. ,
Rakhimova T. ,
Rakhimov A. ,
de Marneffe J.F. ,
Baklanov M.R.
в журнале Plasma Sources Science and Technology , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 25, № 5, с. 055001
DOI
2015
Interaction of F atoms with SiOCH ultra-low-k films: I. Fluorination and damage
Rakhimova T.V. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Rakhimov A.T. ,
Zyryanov S.M. ,
Kurchikov K.A. ,
Novikova N.N.,
Baklanov M.R.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 48, № 17, с. 175203-(13pp)
DOI
2014
Low-k films modification under EUV and VUV radiation
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Mankelevich Yu A. ,
Lopaev D.V. ,
Kovalev A.S. ,
Vasil’eva A.N. ,
Zyryanov S.M. ,
Kurchikov K. ,
Proshina O.V. ,
Voloshin D.G. ,
Novikova N.N.,
Krishtab M.B. ,
Baklanov M.R.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 47, № 2, с. 025102
DOI
2014
Optical and IR absorption of multilayer carbon nanowalls
Stanislav Evlashin ,
Sergey Svyakhovskiy ,
Nikolay Suetin ,
Andrey Pilevsky ,
Tatyana Murzina ,
Nadezhda Novikova ,
Anton Stepanov ,
Alexander Egorov ,
Alexander Rakhimov
в журнале Carbon , издательство Pergamon Press Ltd. (United Kingdom) , том 70, с. 111-118
DOI
2013
Carbon nanowalls: the next step for physical manifestation of the black body coating
Krivchenko V.A. ,
Evlashin S.A. ,
Mironovich K.V. ,
Verbitskiy N.I. ,
Nefedov A. ,
Wöll C. ,
Kozmenkova A.Ya ,
Suetin N.V. ,
Svyakhovskiy S.E. ,
Vyalikh D.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Egorov A.V. ,
Yashina L.V.
в журнале Scientific reports , издательство Nature Publishing Group (United Kingdom) , том 3, № 3328, с. 1-6
DOI
2013
Modification of organosilicate glasses low-k films under extreme and vacuum ultraviolet radiation
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Mankelevich Yu A. ,
Lopaev D.V. ,
Kovalev A.S. ,
Vasil’eva A.N. ,
Proshina O.V. ,
Braginsky O.V. ,
Zyryanov S.M. ,
Kurchikov K. ,
Novikova N.N.,
Baklanov M.R.
в журнале Applied Physics Letters , издательство AIP Publishing (United States) , том 102, № 11, с. 111902
DOI
2012
Boron-doped Homoepitaxial Diamond CVD from Microwave Plasma-Activated Ethanol/Trimethyl Borate/Hydrogen Mixtures
Belousov M.E. ,
Mankelevich Yu A. ,
Minakov P.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Suetin N.V. ,
Khmelnitskiy R.A.,
Tal A.A.,
Khomich A.V.
в журнале Chemical Vapor Deposition , издательство John Wiley & Sons Ltd. (United Kingdom) , том 18, № 10-12, с. 302-308
DOI
2012
Carbon nanowalls decorated with silicon for lithium-ion batteries
Krivchenko Victor A. ,
Itkis Daniil M. ,
Evlashin Stanislav A. ,
Semenenko Dmitry A. ,
Goodilin Eugene A. ,
Aleksander T Rakhimov ,
Stepanov Anton S. ,
Suetin Nikolay V. ,
Pilevsky Andrey A. ,
Voronin Pavel V.
в журнале Carbon , издательство Pergamon Press Ltd. (United Kingdom) , том 50, № 3, с. 1438-1442
DOI
2012
Emission properties of carbon nanowalls on porous silicon
Evlashin Stanislav A. ,
Mankelevich Yuri A. ,
Borisov Vladimir V. ,
Pilevskii Andrey A. ,
Stepanov Anton S. ,
Krivchenko Victor A. ,
Suetin Nikolai V. ,
Alexander T Rakhimov
в журнале Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures , издательство AIP Publishing (United States) , том 30, № 2, с. 021801
DOI
2012
Evolution of carbon film structure during its catalyst-free growth in the plasma of direct current glow discharge
Krivchenko V.A. ,
Dvorkin V.V. ,
Dzbanovsky N.N. ,
Timofeyev M.A. ,
Stepanov A.S. ,
Rakhimov A.T. ,
Suetin N.V. ,
Vilkov O. ,
Yashina L.V.
в журнале Carbon , издательство Pergamon Press Ltd. (United Kingdom) , том 50, с. 1477-1487
DOI
2012
Films of nanocrystalline graphite synthesized in dc discharge plasma as a material for electrochemical capacitors
Voronin P.V. ,
Krivchenko V.A. ,
Itkis D.M. ,
Semenenko D.A. ,
Rakhimov A.T.
в журнале Technical Physics Letters , издательство Pleiades Publishing, Ltd (Road Town, United Kingdom) , том 38, № 9, с. 800-803
DOI
2012
Influence of the growth temperature on structural and electron field emission properties of carbon nanowall/nanotube films synthesized by catalyst-free PECVD
Krivchenko Victor ,
Shevnin Pavel ,
Pilevsky Andrey ,
Egorov Aleksander ,
Suetin Nikolay ,
Sen Vasiliy ,
Evlashin Stanislav ,
Rakhimov Aleksander
в журнале Journal of Materials Chemistry , издательство Royal Society of Chemistry (United Kingdom) , том 22, № 32, с. 16458-16464
DOI
2012
Removal of amorphous C and Sn on Mo:Si multilayer mirror surface in Hydrogen plasma and afterglow
Braginsky O.V. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Malykhin E.M. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Vasilieva A.N. ,
Zyryanov S.M. ,
Koshelev K.N. ,
Krivtsun V.M. ,
van Kaampen Maarten ,
Glushkov D.
в журнале Journal of Applied Physics , издательство AIP Publishing (United States) , том 111, № 9, с. 093304-093304
DOI
2012
Ultra low-k dielectrics damage under VUV and EUV radiation
Sergey Zyryanov ,
Oleg Braginsky ,
Alexander Kovalev ,
Dmitry Lopaev ,
Yury Mankelevich ,
Tatyana Rakhimova ,
Alexander Rakhimov ,
Anna Vasilieva ,
Mikhail Baklanov
в журнале Bulletin of the American Physical Society, 65th Annual Gaseous Electronics Conference , том 57, № 8
2011
Loss of Hydrogen Atoms in H-2 Plasma on the Surfaces of Materials Used in EUV Lithography
Zyryanov S.M. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Malykhin E.M. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V. ,
Koshelev K.N. ,
Krivtsun V.M.
в журнале Plasma Physics Reports , издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation) , том 37, № 10, с. 881-889
DOI
2011
Nanocrystalline Graphite Films Nucleation by the Radio Frequency Bias Pretreatment
Dvorkin V.V. ,
Dzbanovsky N.N. ,
Krivchenko V.A. ,
Suetin N.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Timofeyev M.A. ,
Bespalov A.V. ,
Golikova O.L.
в журнале Journal of Nanoscience and Nanotechnology , издательство American Scientific Publishers (United States) , том 11, № 10, с. 8912-8916
DOI
2011
Plasma Cleaning of Multilayer Mirrors in EUV Lithography from Amorphous Carbon Contaminations
Malykhin E.M. ,
Lopaev D.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V. ,
Braginskii O.V. ,
Kovalev A.S. ,
Vasil’eva A.N. ,
Zyryanov S.M.
в журнале Moscow University Physics Bulletin , издательство Allerton Press (New York, N.Y., United States) , том 66, № 2, с. 184-189
DOI
2011
Synthesis of nanostructured zinc oxide films in propane flow
Krivchenko V.A. ,
Mironovich K.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Suetin N.V. ,
Timofeev M.A.
в журнале Technical Physics Letters , издательство Pleiades Publishing, Ltd (Road Town, United Kingdom) , том 37, № 10, с. 967-969
DOI
2011
The Effect of He Plasma Treatment on Properties of Organosilicate Glass Low-K Films
Braginsky O.V. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Malykhin E.M. ,
Mankelevich Yu A. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Voloshin D.G. ,
Vasilieva A.N. ,
Zyryanov S.M. ,
Smirnov E.A.,
Baklanov M.R.
в журнале Journal of Applied Physics , издательство AIP Publishing (United States) , том 109, № 4, с. 043303
DOI
2010
Nanocrystalline graphite: Promising material for high current field emission cathodes
Krivchenko V.A. ,
Pilevsky A.A. ,
Rakhimov A.T. ,
Seleznev B.V. ,
Suetin N.V. ,
Timofeyev M.A. ,
Bespalov A.V. ,
Golikova O.L.
в журнале Journal of Applied Physics , издательство AIP Publishing (United States) , том 107, № 1
DOI
2010
Studying the morphology of nanocrystalline graphite field-emission cathode grown on a diamond grid
Krivchenko V.A. ,
Pilevskii A.A. ,
Rakhimov A.T. ,
Suetin N.V. ,
Timofeev M.A.
в журнале Technical Physics Letters , издательство Pleiades Publishing, Ltd (Road Town, United Kingdom) , том 36, № 1, с. 23-25
DOI
2010
The Mechanism of Low-K SiOCH Film Modification by Oxygen Atoms
Braginsky O.V. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Malykhin E.M. ,
Mankelevich Yu A. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Vasilieva A.N. ,
Zyryanov S.M. ,
Baklanov M.R.
в журнале Journal of Applied Physics , издательство AIP Publishing (United States) , том 108, № 7, с. 073303
DOI
2009
Experimental and Theoretical Studies of Radical Production in RF CCP Discharge at 81-MHz Frequency in Ar/CF4 and Ar/CHF3 Mixtures
Rakhimova Tatyana V. ,
Braginsky Oleg V. ,
Klopovskiy Konstantin S. ,
Kovalev Alexander S. ,
Lopaev Dmitry V. ,
Proshina Olga V. ,
Rakhimov Alexander T. ,
Shamiryan Denis,
Vasilieva Anna N. ,
Voloshin Dmitry G.
в журнале IEEE Transactions on Plasma Science , издательство Institute of Electrical and Electronics Engineers (Piscataway, NJ, United States) , том 37, № 9, Part 1, с. 1683-1696
DOI
2009
Recombination of O and H Atoms on the Surface of Nanoporous Dielectrics
Rakhimova Tatyana V. ,
Braginsky Oleg V. ,
Kovalev Alexander S. ,
Lopaev Dmitry V. ,
Mankelevich Yuri A. ,
Malykhin Evdokim M. ,
Rakhimov Alexander T. ,
Vasilieva Anna N. ,
Zyryanov Sergey M. ,
Baklanov Mikhail R.
в журнале IEEE Transactions on Plasma Science , издательство Institute of Electrical and Electronics Engineers (Piscataway, NJ, United States) , том 37, № 9, с. 1697-1704
DOI
2009
The influence of He plasma pretreatment on O and H atom interaction with low-k nanoporous materials
Braginsky O.V. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Malykhin E.M. ,
Mankelevich Yu A. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Vasilieva A.N. ,
Zyryanov S.M. ,
Baklanov M.R.
в журнале Bulletin of the American Physical Society, 62nd Annual Gaseous Electronics Conference , том 54, № 12
2009
ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ АВТОЭЛЕКТРОННОЙ ЭМИССИИ С КАТОДОВ НА ОСНОВЕ УГЛЕРОДНОЙ НАНОСТРУКТУРЫ В СВЕРХВЫСОКО ЧАСТОТНЫХ ПОЛЯХ КОРОТКОГО САНТИМЕТРОВОГО ДИАПАЗОНА ДЛИН ВОЛН
Гузилов И.А.,
Костин А.В.,
Масленников О.Ю.,
Ничипоренко В.О.,
Калинин М.В.,
Назаров В.С. ,
Борисов В.В. ,
Минаков П.В. ,
Поройков А.Ю. ,
Рахимов А.Т. ,
Селезнев Б.В.
в журнале Журнал радиоэлектроники , издательство Учреждение Российской академии наук Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова Российской академии наук (Москва) , № 9
2008
High Pressure Electro-Discharge Singlet Oxygen Generator (ED SOG) with High Efficiency and Yield
Braginsky O.V. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Vasilieva A.N.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 41, № 17, с. 172008
DOI
2008
Light Efficiency of Cathodoluminescent Screens Excited by a Runaway Electron Beam
Belostotsky S.G. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Muratov E.A. ,
Rakhimov A.T. ,
Saenko V.B. ,
Timofeev M.A.
в журнале Plasma Physics Reports , издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation) , том 34, № 11, с. 969-977
DOI
2008
UV detectors based on nanocrystalline ZnO films
Krivchenko V.A. ,
Lopaev D.V. ,
Pashchenko P.V.,
Pirogov V.G.,
Rakhimov A.T. ,
Suetin N.V. ,
Trifonov A.S.
в журнале Technical Physics , издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation) , том 53, № 8, с. 1065-1069
DOI
2007
Experimental and theoretical study of ion energy distribution function in single and dual frequency RF discharges
Rakhimova Tatyana V. ,
Braginsky Oleg V. ,
Ivanov Vladimir V. ,
Kovalev Alexander S. ,
Lopaev Dmitry V. ,
Mankelevich Yuri A. ,
Olevanov Michael A. ,
Proshina Olga V. ,
Rakhimov Alexander T. ,
Vasilieva Anna N. ,
Voloshin Dmitry G.
в журнале IEEE Transactions on Plasma Science , издательство Institute of Electrical and Electronics Engineers (Piscataway, NJ, United States) , том 35, № 5, с. 1229-1240
DOI
2007
Pressure Scaling of an Electro-Discharge Singlet Oxygen Generator (ED SOG)
Braginsky O.V. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Vasilieva A.N.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 40, № 21, с. 6571-6582
DOI
2007
Simulation of gas-phase kinetics in CHF3 : H-2 : O-2 mixtures
Voloshin Dmitry G. ,
Klopovskiy Konstantin S. ,
Mankelevich Yuri A. ,
Popov Nikolay A. ,
Rakhimova Tatyana V. ,
Rakhimov Alexander T.
в журнале IEEE Transactions on Plasma Science , издательство Institute of Electrical and Electronics Engineers (Piscataway, NJ, United States) , том 35, № 6, Part 2, с. 1691-1703
DOI
2006
Discharge Singlet Oxygen Generator for Oxygen-Iodine Laser: I. Experiments with RF Discharges at 13.56 and 81 MHz
Braginsky O.V. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Vasilieva A.N.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 39, № 24, с. 5183-5190
DOI
2006
Discharge Singlet Oxygen Generator for Oxygen-Iodine Laser: II. Two-Dimensional Modeling of Flow Oxygen RF Plasma at 13.56 and 81 MHz Power Frequency
Braginsky O.V. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Vasilieva A.N.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 39, № 24, с. 5191-5200
DOI
2006
Discharged Generator of Singlet Oxygen for Oxygen-Iodine Laser. Transport Kinetics of O2(a(1)Delta(g)) and O2(b(1)Sigma(g+)) Molecules, and O(3P) Atoms in Ar:O2 and He:O2 Flows Excited by a 13.56 MHz Discharge
Braginsky O.V. ,
Vasil’eva A.N. ,
Klopovsky K.S. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T.
в журнале Laser Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 16, № 8, с. 1161-1174
DOI
2005
Generation of Singlet Oxygen for an Oxygen-Iodine Laser in a Radio-Frequency Discharge
Braginskii O.V. ,
Vasil’eva A.N. ,
Klopovskii K.S. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Popov N.A. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T.
в журнале Quantum Electronics , издательство Turpion - Moscow Ltd. (United Kingdom) , том 35, № 1, с. 21-26
DOI
2005
High-current electron gun with a field-emission cathode and diamond grid
Dzbanovskii N.N. ,
Minakov P.V. ,
Pilevskii A.A. ,
Rakhimov A.T. ,
Seleznev B.V. ,
Suetin N.V. ,
Yur’ev A.Y.
в журнале Technical Physics , издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation) , том 50, № 10, с. 1360-1362
2005
Production of Singlet Oxygen in a Non-Self-Sustained Discharge
Vasil’eva A.N. ,
Klopovski K.S. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Popov N.A.,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V.
в журнале Plasma Physics Reports , издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation) , том 31, № 4, с. 325-337
DOI
2005
Production of singlet oxygen in a non-self-sustained discharge
Vasil'eva A.N. ,
Klopovskii K.S. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Y.A. ,
Popov N.A. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V.
в журнале Plasma Physics Reports , издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation) , том 31, № 4, с. 325-337
DOI
2005
Singlet Oxygen Generation in O2 Flow Excited by RF Discharge. II. Inhomogeneous Discharge Mode: ‘Plasma Jet'
Braginskiy O.V. ,
Vasilieva A.N. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 38, № 19, с. 3626-3634
DOI
2005
Singlet Oxygen Generation in O2 Flow Excited by RF Discharge: I. Homogeneous Discharge Mode: Alpha-Mode
Braginskiy O.V. ,
Vasilieva A.N. ,
Klopovskiy К.S. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 38, № 19, с. 3609-3625
DOI
2004
On the Possibility of O2(a1g) Production by a Non-Selfsustained Discharge for Oxygen-Iodine Laser Pumping
Vasiljeva А.N.,
Klopovskiy К.S. ,
Kovalev А.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Y.A. ,
Popov N.A. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova Т.V.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 37, № 17, с. 2455-2468
DOI
2003
Structure and Dynamics of a Pulsed DC Discharge in Pure Oxygen
Ivanov V.V. ,
Klopovsky K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Y.A. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V.
в журнале IEEE Transactions on Plasma Science , издательство Institute of Electrical and Electronics Engineers (Piscataway, NJ, United States) , том 31, № 4, с. 528-541
DOI
2002
Kinetics of the Reactions Involving CF2 and CF in a Pure Tetrafluoromethane Plasma: I. Production of CF2 and CF via Electron-Impact Dissociation
Ivanov V.V. ,
Klopovskiy K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V. ,
Rulev G.B.
в журнале Plasma Physics Reports , издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation) , том 28, № 3, с. 229-242
DOI
2002
Kinetics of the Reactions Involving CF2 and CF in a Pure Tetrafluoromethane Plasma: II. Production and Loss of CF2 and CF in the Processes of Fluorocarbon Polymerization
Ivanov V.V. ,
Klopovskiy K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V. ,
Rulev G.B.
в журнале Plasma Physics Reports , издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation) , том 28, № 3, с. 243-257
DOI
2001
Electron field emission for ultrananocrystalline diamond films
Krauss A.R.,
Auciello O.,
Ding M.Q.,
Gruen D.M.,
Huang Y.,
Zhirnov V.V.,
Givargizov E.I.,
Breskin A.,
Chechen R.,
Shefer E.,
Konov V.,
Pimenov S.,
Karabutov A.,
Rakhimov A. ,
Suetin N.
в журнале Journal of Applied Physics , издательство AIP Publishing (United States) , том 89, № 5, с. 2958-2967
2001
In memory of Vitaly Adol’fovich Schweigert (August 30, 1955-April 3, 2001)
Aleksandrov N.L.,
Bazelyan E.M.,
Kaganovich I.D.,
Peeters F.M.,
Raizer Y.P. ,
Rakhimov A.T. ,
Starostin A.N.,
Shneider M.N.,
Schweigert I.V. ,
Tsendin L.D.
в журнале Plasma Physics Reports , издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation) , том 27, № 11, с. 1000
2001
Low-voltage electron emission from “tipless” field emitter arrays
Busta H.,
Furst D.,
Rakhimov A.T. ,
Samorodov V.A. ,
Seleznev B.V. ,
Suetin N.V. ,
Silzars A.
в журнале Applied Physics Letters , издательство AIP Publishing (United States) , том 78, № 22, с. 3418-3420
DOI
2001
Performance of nanocrystalline graphite field emitters
Busta H.H. ,
Espinosa R.J. ,
Rakhimov A.T. ,
Suetin N.V. ,
Timofeyev M.A. ,
Bressler P.,
Schramme M. ,
Fields J.R. ,
Kordesch M.E. ,
Silzars A.
в журнале Solid-State Electronics , издательство Pergamon Press Ltd. (United Kingdom) , том 45, № 6, с. 1039-1047
2000
Scanning tunneling microscope study of diamond films for electron field emission
Rakhimov A.T. ,
Suetin N.V. ,
Soldatov E.S. ,
Timofeyev M.A. ,
Trifonov A.S. ,
Khanin V.V. ,
Silzars A.
в журнале Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures , издательство AIP Publishing (United States) , том 18, № 1, с. 76-81
DOI
2000
Study of field emission of nanocrystalline diamond films by scanning tunnelling microscopy
Rakhimov A.T. ,
Samorodov V.A. ,
Soldatov E.S. ,
Suetin N.V. ,
Timofeev M.A. ,
Trifonov A.S. ,
Khanin V.V.
в журнале Surface Investigation X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques , том 15, № 7, с. 1025-1029
2000
Study of field emission of nanocrystalline diamond films by scanning tunnelling microscopy
Rakhimov A.T. ,
Samorodov V.A. ,
Soldatov E.S. ,
Suetin N.V. ,
Timofeev M.A. ,
Trifonov A.S.,
Khanin V.V.
в журнале Surface Investigation X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques , том 15, № 7, с. 1025-1029
1999
Experimental and Theoretical Investigation of Oxygen Glow Discharge Structure at Low Pressures
Ivanov V.V. ,
Klopovskiy K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V.
в журнале IEEE Transactions on Plasma Science , издательство Institute of Electrical and Electronics Engineers (Piscataway, NJ, United States) , том 27, № 5, с. 1279-1287
DOI
1999
Heterogeneous Quenching of O2(a1Delta) Molecules in H2:O2 Mixtures
Klopovskiy K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Popov N.A. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 32, № 23, с. 3004-3012
DOI
1999
Heterogeneous quenching of O2(1Deltag) molecules in H2:O2 mixtures
Klopovskiy K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Popov N.A. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 32, № 23, с. 3004-3004
DOI
1999
Production of CF2 radicals in a gas-discharge plasma through the electron-impact dissociation of CF4 molecules
Ivanov V.V. ,
Klopovskii K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V. ,
Slovetsky D.I. ,
Volynets V.N.
в журнале Plasma Physics Reports , издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation) , том 25, № 8, с. 657-665
1999
Исследование кореляции эмиссионных и структурных характеристик алмазных пленок методом сканирующей туннельной микроскопии
Рахимов А.Т. ,
Самородов В.А. ,
Солдатов Е.С. ,
Суетин Н.В. ,
Тимофеев М.А. ,
Трифонов А.С. ,
Ханин В.В.
в журнале Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования , издательство Федеральное государственное унитарное предприятие "Академический научно-издательский, производственно-полиграфический и книгораспространительский центр Российской академии наук "Издательство "Наука" (Москва) , № 7, с. 47-51
1999
Исследование полевой эмиссии нанокристаллических алмазных пленок методом сканирующей туннельной микроскопии
Рахимов А.Т. ,
Самородов В.А. ,
Солдатов Е.С. ,
Суетин Н.В. ,
Тимофеев М.А. ,
Трифонов А.С. ,
Ханин В.В.
в журнале Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования , издательство Федеральное государственное унитарное предприятие "Академический научно-издательский, производственно-полиграфический и книгораспространительский центр Российской академии наук "Издательство "Наука" (Москва) , № 7, с. 43-45
1997
The influence of anisotropy and non-locality of the electron distribution function as well as non-equilibrium ion diffusion on the electrodynamics of CF4 DC discharge at low pressure
Feoktistov V.A. ,
Ivanov V.V. ,
Popov A.M. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V. ,
Slovetsky D.I.,
Volynets V.N.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 30, № 3, с. 423-431
1996
Experimental and theoretical study of the efficiency of an excimer lamp pumped by a pulse distributed discharge in xenon
Ivanov V.V. ,
Klopovskii K.S. ,
Mankelevich Y.A. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V. ,
Rulev G.B. ,
Saenko V.B.
в журнале Laser Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 6, № 4, с. 654-659
1995
Thermal diffusivity measurements by ”instantaneous phase portrait” method
Seleznev B.V.,
Blyablin A.A.,
Gavrilov A.V.,
Popov A.M. ,
Suetin N.V. ,
Kandidov A.V.,
Rakhimov A.T.
в журнале Diamond and Related Materials , издательство Elsevier BV (Netherlands) , том 4, № 12, с. 1360-1362
DOI
1993
EXPERIMENTAL AND THEORETICAL-STUDY OF THE CF-4 DC GLOW-DISCHARGE POSITIVE-COLUMN
VOLYNETS VN,
LUKYANOVA AV ,
RAKHIMOV AT ,
SLOVETSKY DI ,
SUETIN NV
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 26, № 4, с. 647-656
1993
Low-pressure RF discharge in electronegative gases for plasma processing
Feoktistov V.A. ,
Lopaev D.V. ,
Klopovsky K.S. ,
Popov A.M. ,
Popovicheva O.B. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V.
в журнале Journal of Nuclear Materials , издательство Elsevier BV (Netherlands) , том 200, № 3, с. 309-314
DOI
1991
COMPUTER-MODEL OF THE ELECTRON-BEAM EXCITED XEF(B-X) LASER
ABARENOV AV ,
PERSIANTSEV IG ,
RAKHIMOV AT ,
REBRICK SP ,
SHUGAI JS ,
SUETIN NV
в журнале IEEE Journal of Quantum Electronics , издательство Institute of Electrical and Electronics Engineers (Piscataway, NJ, United States) , том 27, № 7, с. 1946-1953
1991
MORPHOLOGICAL EVALUATION OF THE FLUORESCENT ANALYSIS POSSIBILITIES IN DIAGNOSIS OF GASTRIC DISEASES
POLSACHEV VI ,
KARLOVA MA,
DZBANOVSKY NN ,
LAZAREV VV,
PETROV KV,
RAKHIMOV AT ,
RUBIN LB
в журнале Архив патологии , издательство Медиа Сфера (М.) , том 53, № 2, с. 58-62
1991
RF discharge modeling considering time-dependence and spatial nonlocality of the electron-energy spectrum
Feoktistov VA ,
Popov AM ,
Popovicheva OB ,
Rakhimov AT ,
Rakhimova TV ,
Volkova EA
в журнале IEEE Transactions on Plasma Science , издательство Institute of Electrical and Electronics Engineers (Piscataway, NJ, United States) , том 19, № 2, с. 163-169
DOI
1990
Исследование возбуждения и диссоциации кислорода в смесях O2:He в тлеющем разряде
Абишев А.Б.,
Белов М.Л.,
Клоповский К.С. ,
Ковалев А.С. ,
Мурато Е.А.,
Попов А.М. ,
Поповичева О.Б. ,
Рахимов А.Т. ,
Рахимова Т.В.
в журнале Физика плазмы , издательство Наука (М.) , том 16, № 7, с. 844-853
1989
FLUORESCENT ENDOSCOPIC DIAGNOSIS OF GASTRIC-CARCINOMA
POLSACHEV VI ,
POTEMKINA EV,
DZBANOVSKY NN ,
RAKHIMOV AT ,
RUBIN LB ,
TANKOVICH NI
в журнале Sovetskaia meditsina , издательство IZDATELSTVO MEDITSINA (PETROVERIGSKII PER 6-8, MOSCOW, RUSSIA,K-142) , № 4, с. 121-122
1989
Возбуждение метастабильных состояний в кислород-азотной плазме
Васильева А.Н. ,
Гришина И.А. ,
Клоповский К.С. ,
Ковалев А.С. ,
Осипов А.П.,
Попов А.М. ,
Поповичева О.Б. ,
Рахимов А.Т. ,
Рахимова Т.В.
в журнале Физика плазмы , издательство Наука (М.) , том 15, № 2, с. 190-195
1987
Измерение эффективности возбуждения различных колебательных уровней азота в несамостоятельном газовом разряде с помощью метода КАРС
Девятов А.А. ,
Доленко С.А. ,
Нечаев А.А. ,
Орлов Ю.В. ,
Персианцев И.Г. ,
Раихмов А.Т. ,
Ребрик С.П. ,
Суетин Н.В.
в журнале Физика плазмы , издательство Наука (М.) , том 13, № 7, с. 851-858
1985
SELECTIVE VITAL STAINING OF MALIGNANT-CELLS BY FLUORESCEIN SODIUM-SALT
VINOGRADOVA NG,
DZBANOVSKII NN ,
POLSACHEV VI ,
RAKHIMOV AT ,
RUBIN LB ,
TANKOVICH NI,
TYRSINA EG
в журнале Doklady Akademii nauk SSSR , издательство Akademiia Nauk Sssr (Russian Federation) , том 285, № 2, с. 459-462
1983
EXCITATION OF METASTABLE STATES OF OXYGEN MOLECULES IN A GAS-DISCHARGE
VELIKHOV EP ,
KLOPOVSKII KS ,
KOVALEV AS ,
OSIPOV AP ,
PERSIANTSEV IG ,
PISMENNYI VD ,
RAKHIMOV AT ,
RAKHIMOVA TV
в журнале Doklady Akademii nauk SSSR , издательство Akademiia Nauk Sssr (Russian Federation) , том 273, № 3, с. 600-604
1982
GAS INJECTION THROUGH A POROUS CATHODE AND STABILIZATION OF A NON-SELF-MAINTAINING DISCHARGE
APONIN GI ,
BESSHAPOSHNIKOV AA,
BRAGINA OB,
VOSTRIKOV VG,
KRASYUKOV AG,
PISMENNYI VD ,
RAKHIMOV AT ,
SAENKO VB ,
SHACHKIN LV
в журнале High Temperature , издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation) , том 20, № 5, с. 667-670
1982
THE EFFECT OF PLASMOCHEMICAL PROCESSES OF ELECTRONEGATIVE MOLECULE FORMATION ON THE PARAMETERS OF NON-SELF-MAINTAINED DISCHARGES
KLOPOVSKII KS ,
OSIPOV AP ,
PERSIANTSEV IG ,
RAKHIMOV AT ,
RAKHIMOVA TV ,
SUETIN NV ,
TIMOFEEV MA
в журнале Doklady Akademii nauk SSSR , издательство Akademiia Nauk Sssr (Russian Federation) , том 267, № 3, с. 607-610
1975
GAS-DYNAMIC PROCESSES IN HIGH-PRESSURE, FAST-FLOW CO2-LASER OPERATING UNDER CONDITIONS OF REPEATING PULSES
GOLUBEV SA,
KOVALEV AS ,
MIKHAILOVA NV,
MYSHETSKAYA EE ,
PERSIANTSEV IG ,
PISMENNYI VD ,
RAKHIMOV AT ,
FAVORSKII AP
в журнале Doklady Akademii nauk SSSR , издательство Akademiia Nauk Sssr (Russian Federation) , том 225, № 6, с. 1300-1303
1975
Стационарный несамостоятельный газовый разряд в молекулярных смесях повышенного давления
Велихов Е.П. ,
Голубев С.А.,
Ковалев A.C. ,
Персианцев И.Г. ,
Письменный В.Д. ,
Рахимов А.Т. ,
Рахимова Т.В.
в журнале Физика плазмы , издательство Наука (М.) , том 1, № 5, с. 847-853
1972
HIGH-PRESSURE GAS-LASER WITH PRE-IONIZATION WITH A REACTOR
ANDRIYAK VM ,
RAKHIMOV AT ,
VELIKHOV EP ,
VASILTSO VV,
STAROSTI AN,
KHVOSTIO VE,
NOVOBRAN IV ,
PISMENNY VD ,
KRASILNI SV
в журнале JETP LETTERS-USSR , том 15, № 11, с. 451
Статьи в сборниках
2013
Effects of VUV and EUV Radiation on Ultra Low-k Materials Damage
Oleg Braginsky ,
Alexander Kovalev ,
Dmitry Lopaev ,
Yury Mankelevich ,
Olga Proshina ,
Tatyana Rakhimova ,
Alexander Rakhimov ,
Anna Vasilieva ,
Sergey Zyryanov ,
Mikhail Baklanov
в сборнике MRS Online Proceedings Library , издательство Cambridge University Press (United Kingdom) , том 1559, с. mrss13-1559-aa03-11
DOI
2011
Selective deposition of carbon nanowalls and investigation of their emission properties
Evlashin S. ,
Borisov V. ,
Pilevskii A. ,
Stepanov A. ,
Suetin N. ,
Rakhimov A.
в сборнике 2011 24th International Vacuum Nanoelectronics Conference (IVNC 2011) , серия IEEE Conference Publications , издательство Institute of Electrical and Electronics Engineers (Piscataway, NJ, United States) , с. 129-130
2010
In-Line Plasma Cleaning of EUV Multilayer Mirrors
Malykhin E.M. ,
Braginsky O.V. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V. ,
Vasilieva A.N. ,
Zyryanov S.M. ,
Koshelev K.N. ,
Krivtsun V.M. ,
Yakushev O.F.
в сборнике Bulletin of the American Physical Society, 63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas, October4-8 2010, Paris, France , серия 7 , место издания Paris, France , том 55
2009
Interaction of О and Н Atoms with Low-K SiOCH Films Pretreated in He Plasma
Braginsky O.V. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Y.A. ,
Malykhin E.M. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Vasilieva A.N. ,
Voloshin D.G. ,
Zyryanov S.M. ,
Baklanov M.R.
в сборнике Materials Research Society Symposium Proceedings , место издания Materials Research Society , том 1156
DOI
2009
Multi beam X-ray tube with the field emitter on the base of nanocrystalline graphite for computer tomography
Guzilov I.A.,
Kuzmich K.V.,
Maslennikov O.Yu,
Smirnova E.V.,
Minakov P.V. ,
Poroykov A.Yu ,
Rakhimov A.T. ,
Seleznev B.V. ,
Sen V.V.
в сборнике 2009 IEEE INTERNATIONAL VACUUM ELECTRONICS CONFERENCE , серия IEEE International Vacuum Electronics Conference IVEC , место издания IEEE , с. 289-290
DOI
2009
Radical Production in RF CCP Discharge at 81 MHz Frequency in CHF3/Ar and CF4/Ar Mixtures. Theory and Experiment
Malykhin E.M. ,
Braginsky O.V. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Vasilieva A.N. ,
Zyryanov S.M.
в сборнике Proceedings of International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 19), July 27-31 2009, Bochum, Germany , место издания Bochum, Germany , с. 362
2009
The Spatial Distribution of Radicals in the Dual Frequency (1.76 MHz /81 MHz) Capacitive Discharge in CHF3/Ar and CF4/Ar Mixtures
Braginsky O.V. ,
Klopovskiy K.S. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Vasilieva A.N. ,
Voloshin D.G.
в сборнике Proceedings of International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 19), July 27-31 2009, Bochum, Germany , место издания Bochum, Germany , с. 39
2008
Recombination Probabilities of О and Н Atoms on the Surface of Nanoporous Low-K SiOCH Dielectrics
Braginsky O.V. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Malykhin E.M. ,
Mankelevich Yu A. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Vasilieva A.N. ,
Zyryanov S.M. ,
Baklanov M.R.
в сборнике Proceedings of Advanced Metallization Conference (AMC), September 23-25 2008, San Diego California, USA, and October 8-10 2008, Tokyo, Japan , место издания San Diego California, USA, and Tokyo, Japan
2008
Пространственное распределение радикалов в плазме двухчастотного (1.76 МГц / 81 МГц) емкостного разряда в смесях CHF3/Ar и CF4/Ar. V Международный симпозиум по теоретической и прикладной плазмохии (3-8 сентября
Брагинский О.В. ,
Васильева А.Н. ,
Волошин Д.Г. ,
Клоповский К.С. ,
Ковалев А.С. ,
Лопаев Д.В. ,
Прошина О.В. ,
Рахимова Т.В. ,
Рахимов А.Т. ,
Шамирян Д.
в сборнике Сборник трудов V Международного симпозиума по теоретической и прикладной плазмохии (3-8 сентября 2008, Иваново) , место издания Ивановский государственный химико-тенологический университет Иваново , том 2, с. 506-509
2006
Pressure Scaling of an Electro-Discharge Singlet Oxygen Generator (ED SOG)
Rakhimova T.V. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Proshina O.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Vasilieva A.N. ,
Braginsky O.V. ,
Klopovsky K.S. ,
Popov N.A. ,
Rakhimov A.T. ,
Kolobyanin Yu V.
в сборнике Proceedings of GCL/HPL, Gmunden, Austria, September 4-8 2006 , место издания Gmunden, Austria
DOI
2006
Singlet Oxygen Generator Operating at High Oxygen Pressure
Rakhimova T.V. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Proshina O.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Kolobyanin Yu V. ,
Braginsky O.V. ,
Klopovsky K.S. ,
Popov N.A. ,
Rakhimov A.T. ,
Vasilieva A.N.
в сборнике Proceedings of 37-th AIAA Plasmadynamics and Lasers Conference , место издания San-Francisco
DOI
2005
Experimental and Theoretical Study of a Pressure Scaling Possibility of VHF Singlet Oxygen Generator
Rakhimova T.V. ,
Kovalev A.S. ,
Klopovsky K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Vasilieva A.N. ,
Braginsky O.V. ,
Popov N.A. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimov A.T.
в сборнике Proceedings of 36-th AIAA Plasmadynamics and Lasers Conference , место издания AIAA Toronto, Canada , с. 2005-4918
DOI
2005
New mechanism of O 2(a 1 Δ g) quenching in oxygen contained plasmas
Braginsky O.V. ,
Vasilieva A.N. ,
Klopovsky K.S. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Popov N.A. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Savin Yu V.
в сборнике Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering , с. 238-242
DOI
2004
Singlet Oxygen Generation in CW and Pulsed RF Discharges at 13.56 and 81 MHz
Rakhimova T.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Kovalev A.S. ,
Klopovsky K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Braginsky O.V. ,
Vasilieva A.N. ,
Popov N.A.
в сборнике Proceedings of 35-th AIAA Plasma Dynamics and Lasers Conference, 28 June – 1 July 2004 , место издания AIAA Portland, Oregon, USA , с. 2004-2445
DOI
2004
Singlet Oxygen Generation in Gas Discharge for Oxygen-Iodine Laser Pumping
Braginsky O.V. ,
Kovalev A.S. ,
Klopovsky K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Popov N.A. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Vasilieva A.N.
в сборнике 57-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC 2004), 26-29 September 2004, Bunratty, Ireland , место издания Bunratty, Ireland
2003
Radio-Frequency Plasma Generation of Singlet Oxygen in O2 and O2:Ar(He) Mixtures
Rakhimova T.V. ,
Kovalev A.S. ,
Braginsky O.V. ,
Klopovsky K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Vasilieva A.N.
в сборнике Proceedings of 34-th AIAA Plasmadynamics and Lasers Conference , место издания AIAA Orlando, Florida USA , с. 23-26
DOI
2002
Efficiency of Singlet Oxygen Pumping in Plasma. I. Production of O2(a(1)Delta(g)) in Non-Selfsustained Discharge Controlled by Electron Beam
Kovalev A.S. ,
Klopovskiy K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Vasilyeva A.N.
в сборнике Conference Proceedings of ESCAMPIG 16th – ICRP 5th, 14-18 July 2002, Grenoble, France , место издания Grenoble, France Grenoble, France , том 2, с. 41-42
2002
Efficiency of Singlet Oxygen Pumping in Plasma. II. The O2(a(1)Delta(g)) and O2(b(1)Sigma(+)(g)) Production in Glow Discharge
Klopovskiy K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T.
в сборнике Conference Proceedings of ESCAMPIG 16th – ICRP 5th, 14-18 July 2002, Grenoble, France , место издания Grenoble, France Grenoble, France , том 2, с. 39-40
2002
Surface Recombination of O and H Atoms under the Discharge Conditions
Klopovskiy K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V. ,
Smirnov A.V.
в сборнике Conference Proceedings of ESCAMPIG 16th – ICRP 5th, 14-18 July 2002, Grenoble, France , место издания Grenoble, France , том 1, с. 171-172
2001
Reduced turn-on voltage of nanocrystalline graphite (NCG) coated silicon field emitter arrays
Busta H.H.,
Chen J.M.,
Furst D.A.,
Rizkowski S.,
Rakhimov A.T. ,
Samarodov V.A. ,
Seleznev B.V. ,
Suetin N.V. ,
Silzars A.
в сборнике IVMC 2000: PROCEEDINGS OF THE 14TH INTERNATIONAL VACUUM MICROELECTRONICES CONFERENCE , место издания IEEE 345 E 47TH ST, NEW YORK, NY 10017 USA , с. 245-246
1999
An investigation of the ozone production at the process of the UV photodecomposition of the oxygen
Ivanov V.V. ,
Klopovsky K.S. ,
Popov N.A. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V. ,
Rulev G.B. ,
Saenko V.B.
в сборнике INTERNATIONAL CONFERENCE ON PHENOMENA IN IONIZED GAS, PROCEEDINGS , место издания POLISH ACAD SCIENCES, SPACE RESEARCH CENTRE WARSAW, POLAND , том 1, с. 213-214
1999
CF- and CF2- Radicals Production by the Electron Impact Dissociation of CF4 Molecules in Gas Discharge Plasma
Ivanov V.V. ,
Klopovskiy K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V. ,
Rulev G.B.
в сборнике Proceedings of 14-th International Symposium on Plasma Chemistry, August 2-6 1999, Prague, Czech Republic , место издания Prague, Czech Republic , том 5, с. 2301-2306
1999
CF2 Production by the Electron Impact Dissociation of CF4 Molecules in Gas Discharge Plasma
Ivanov V.V.,
Klopovskiy K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V. ,
Rulev G.B.
в сборнике ICPIG XXIV, Proceedings of contributed papers, 11-16 July 1999, Warsaw, Poland , место издания Warsaw, Poland , том 4, с. 39-40
1999
CF2 production by CF4 electron impact dissociation in gas discharge
Ivanov V.V. ,
Klopovskiy K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V.
в сборнике ADVANCED TECHNOLOGIES BASED ON WAVE AND BEAM GENERATED PLASMAS , серия NATO ADVANCED SCIENCE INSTITUTE SERIES, SUB-SERIES 3, HIGH TECHNOLOGY , место издания SPRINGER, PO BOX 17, 3300 AA DORDRECHT, NETHERLANDS , том 67, с. 471-472
DOI
1999
Heterogeneous Quenching of O2(1Delta(g)) in H2:O2 Mixture
Klopovskiy K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V.
в сборнике ICPIG XXIV, Proceedings of contributed papers, 11-16 July 1999, Warsaw, Poland , место издания Warsaw, Poland , том 1, с. 9-10
1999
Production and Decay of CF Radicals in CF4 Discharge
Ivanov V.V.,
Klopovskiy K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V. ,
Rulev G.B.
в сборнике ICPIG XXIV, Proceedings of contributed papers, 11-16 July 1999, Warsaw, Poland , место издания Warsaw, Poland , том 4, с. 65-66
1999
Spatial Distribution and Kinetics of Negative Ions in H2 Glow DС Discharge
Klopovskiy K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Popov N.A. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V.
в сборнике ICPIG XXIV, Proceedings of contributed papers, 11-16 July 1999, Warsaw, Poland , место издания Warsaw, Poland , том 3, с. 73-74
1999
The Production of CF Radicals in Plasma of Discharge in Pure CF4
Ivanov V.V. ,
Klopovskiy K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V. ,
Rulev G.B.
в сборнике Proceedings of 12-th Symposium on Application of Plasma Processes, SAPP-12. February 9-13 1999. Liptovsky Jan, Slovakia , место издания Liptovsky Jan, Slovakia , с. 176-177
1999
The Rate Constants of CF4 Dissociation by Electronic Impact with Production of CF2 and CF Radicals
Ivanov V.V. ,
Klopovskiy K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V. ,
Rulev G.B.
в сборнике Proceedings of 12-th Symposium on Application of Plasma Processes, SAPP-12. February 9-13 1999. Liptovsky Jan, Slovakia , место издания Liptovsky Jan, Slovakia , с. 180-181
1998
CF2 Production by the Electron Impact Dissociation of CF4 Molecules in Gas Discharge Plasma
Ivanov V.V. ,
Klopovskiy K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Popov N.A. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V. ,
Slovetskiy D.I. ,
Volynets V.N.
в сборнике 11th Symposium on elementary processes and chemical reactions in low temperature plasma, Book of contributed papers, June 22-26 1998, Low Tatras , серия Part 1 , место издания Low Tatras , с. 98-101
1998
Investigation of Hetero- And Homogeneous Processes with O2(a1g) at Mixing H2 and O2 in a Fast-Flow Reactor
Balandin A.A. ,
Klopovskiy K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Popov N.A. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V.
в сборнике 11th Symposium on elementary processes and chemical reactions in low temperature plasma, Book of contributed papers, June 22-26 1998, Low Tatras , серия Part 1 , место издания Low Tatras , с. 23-26
1998
Nonlocal Effects in Stationary and Non-Stationary Discharges
Ivanov V.V. ,
Klopovsky K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V.
в сборнике Electron Kinetics and Applications of Glow Discharges, Ed. by U.Kortshagen and L.D.Tsendin , серия NATO Science Series B: Physics , место издания Springer USA , том 367, с. 37-58
DOI
1998
Two-dimensional simulation of diamond deposition processes in microwave discharge reactors
Kostiuk S.V.,
Mankelevich Y.A. ,
Rakhimov A.T. ,
Suetin N.V.
в сборнике PROCEEDINGS OF THE FIFTH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON DIAMOND MATERIALS , серия Book Series: ELECTROCHEMICAL SOCIETY SERIES Volume: 97 Issue: 32 , место издания ELECTROCHEMICAL SOCIETY INC, 65 S MAIN ST, PENNINGTON, NJ 08534-2839 USA , том 97, с. 152-160
1998
Образование радикалов CF2 при диссоциации молекул CF4 в плазме газового разряда
Иванов В.В. ,
Клоповский К.С. ,
Лопаев Д.В. ,
Прошина О.В. ,
Рахимов А.Т. ,
Рахимова Т.В. ,
Словецкий Д.И. ,
Волынец В.Н.
в сборнике Материалы конференции по физике низкотемпературной плазмы ФНТП-98, Петрозаводск, 22-27 июня 1998 , место издания Петрозаводск , том 1, с. 30-34
1997
Experimental and Theoretical Investigation of Negative Ion Spatial Distribution in Oxygen DC Discharge
Ivanov V.V. ,
Klopovskiy K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V. ,
Rulev G.B.
в сборнике ICPIG XXIII, Proceedings of contributed papers, 17-22 July 1997, Toulouse, France , место издания Toulouse, France , том 1, с. 86-87
1997
Experimental and Theoretical Study of the Non-Locality Effects of Electron Energy Spectrum in O2 DC Glow Discharge
Ivanov V.V. ,
Klopovskiy K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Popov A.M. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V.
в сборнике ICPIG XXIII, Proceedings of contributed papers, 17-22 July 1997, Toulouse, France , место издания Toulouse, France , том 2, с. 28-29
1997
The Influence of the Low Energy Vibrational Excitation on the Electron Dissociative Attachment Coefficient in Pure Ozone
Klopovskiy K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Popov N.A. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V.
в сборнике ICPIG XXIII, Proceedings of contributed papers, 17-22 July 1997, Toulouse, France , место издания Toulouse, France , том 1, с. 88-89
1997
VUV Emission Generation at Helium Plasma Recombination
Ivanov V.V. ,
Klopovskiy K.S. ,
Kopytin A.A. ,
Lopaev D.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V.
в сборнике ICPIG XXIII, Proceedings of contributed papers, 17-22 July 1997, Toulouse, France , место издания Toulouse, France , том 3, с. 40-41
1996
Effect of Ion Heating in the Axial Field on the Electron and Ion Radial Profiles in CF4 DC Discharge
Ivanov V.V. ,
Klopovskiy K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V. ,
Slovetsky D.I. ,
Volynets V.N.
в сборнике ESCAMPIG 96, August 27-30 1996 , серия 20E, Part A , место издания Poprad, Slovakia , с. 169-170
1996
Formation of CF2 Radicals in Plasma of Pure CF4
Ivanov V.V. ,
Klopovskiy K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V.
в сборнике ESCAMPIG 96, August 27-30 1996 , серия 20E, Part A , место издания Poprad, Slovakia , с. 333-334
1996
Recombination of O(3P) Atoms on the Tube Walls in Oxygen DC Discharge
Ivanov V.V. ,
Klopovskiy K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V.
в сборнике ESCAMPIG 96, August 27-30 1996 , серия 20E, Part A , место издания Poprad, Slovakia , с. 77-78
1996
The Experimental and Theoretical Investigation of Low Pressure DC Discharge in Pure Oxygen
Ivanov V.V. ,
Klopovskiy K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Muratov E.A. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V.
в сборнике ESCAMPIG 96, August 27-30 1996 , серия 20E, Part A , место издания Poprad, Slovakia , с. 167-168
1996
The Experimental and Theoretical Investigation of Nonlocality Effects of Electron Energetic Spectrum in Oxygen Glow Discharge
Ivanov V.V. ,
Klopovskiy K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Muratov E.A. ,
Popov A.M. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V.
в сборнике ESCAMPIG 96, August 27-30 1996 , серия 20E, Part A , место издания Poprad, Slovakia , с. 121-122
1996
Two-dimensional models of CVD reactors for diamond deposition
Mankelevich Y.A. ,
Rakhimov A.T. ,
Suetin N.V. ,
Kostyuk S.V.
в сборнике EURODIAMOND '96 , серия Book Series: ITALIAN PHYSICAL SOCIETY CONFERENCE PROCEEDINGS (IPS) , место издания EDITRICE COMPOSITORI, VIA STALINGRADO 97/2, 40128 BOLOGNA, ITALY , том 52, с. 27-34
Книги
1997
Исследование генерации в газовых разрядах интенсивного ультрафилднтового излучения для эффективного воэбуждения люминофоров. Препринт НИИЯФ МГУ – № 97- 49/500
Иванов В.В. ,
Ивлюшкин А.Н.,
Клоповский К.С. ,
Манкелевич Ю.А. ,
Пирогов В.Г.,
Прошина О.В. ,
Рахимов А.Т. ,
Рахимова Т.В. ,
Рой Н.Н. ,
Рулев Г.Б.,
Саенко В.Б.
место издания НИИЯФ МГУ Москва , 43 с.
Доклады на конференциях
2018
O atom kinetics in RF CCP oxygen plasma at increased pressures
(Устный)
Авторы:
Волынец А.В. ,
Лопаев Д.В. ,
Рахимов А.Т. ,
Рахимова Т.В. ,
Прошина О.В.
The 71st Annual Gaseous Electronics Conference, Co-Located with the 60th Annual meeting of the APS Division of Plasma Physics, (November 5 - 9, 2018, Portland, USA) , Portland, США, 5-9 ноября 2018
2014
Next to 100% optical absorption of carbon nanowalls
Авторы:
Evlashin S.A. ,
Svyakhovskiy S.E. ,
Krivchenko V.A. ,
Rakhimov A.T. ,
Murzina T.V. ,
Pilevsky A.A. ,
Mironovich K.V. ,
Suetin N.V.
Carbon 2014 , Jeju, Korea, 2014
2013
5. Optical, microphysical and chemical characterization of Siberian biomass burning aerosols simulated in a Large Aerosol Chamber
Авторы:
Popovicheva O.B. ,
Kozlov V.S. ,
Panchenko M.V. ,
Kireeva E.D. ,
Rakhimov R.F. ,
Yausheva E.P. ,
Chernov D.G. ,
Shmargunov V.P. ,
Persiantseva N.M. ,
Timofeev M.A. ,
Shonija N.K.
4th Fire Behavior and Fuels Conference. St. Petersburg, Russia - July 1 - 4, 2013. , Санкт-Петербург, Россия, 2013
2013
1D model of OSG low-k films modification by EUV/VUV emission
(Устный)
Авторы:
Rakhimov A.T. ,
Mankelevich Yu A. ,
Rakhimova T.V. ,
Lopaev D.V. ,
Zyryanov S.M. ,
Kovalev A.S. ,
Vasil'eva A.N. ,
Proshina O.V. ,
Braginsky O.V. ,
Kurchikov K. ,
Baklanov M.R.
PESM 2013 (14 - 15 March 2013, Leuven Belgium) , Лёвен, Бельгия, 14-15 марта 2013
2011
Engineering of electrode material for supercapacitors and lithium-ion batteries using carbon nanowalls grown in plasma of dc glow discharge
Авторы:
Кривченко В.А. ,
Иткис Д.М. ,
Евлашин С.А. ,
Пилевский А.А. ,
Гудилин Е.А. ,
Рахимов А.Т. ,
Семененко Д.А.
220st ECS Meeting , Boston, MA, USA, 2011
2010
Effect of RF/MW plasma seeding on field emission properties of nanocrystalline graphite films
Авторы:
Дворкин В.В. ,
Дзбановский Н.Н. ,
Суетин Н.В. ,
Рахимов А.Т. ,
Яшина Л.В. ,
Кривченко В.А. ,
Timofeyev M.A.
5th International Conference on Surfaces, Coatings and Nanostructured Materials (NANOSMAT-5) , Reims (France), Франция, 2010
2009
Correlation between plasma OES and properties of B-doped diamond films grown by MWPECVD.
Авторы:
Belousov M.E. ,
Кривченко В.А. ,
Паль А.Ф. ,
Суетин Н.В. ,
Сень В.В. ,
Минаков П.В. ,
Рахимов А.Т.
EuroCVD-17 (The 17-th European CVD conference) , Vienna, Austria, Австрия, 2009
2009
High current electron field emission cathodes based on nanocrystalline graphite.
Авторы:
Кривченко В.А. ,
Пилевский А.А. ,
Рахимов А.Т. ,
Голикова О.А. ,
Тимофеев М.А. ,
Bespalov A.P. ,
Суетин Н.В. ,
Селезнев Б.В.
20th European Conference on Diamond , Athens, Greece, Греция, 2009
2009
Multi beam X-ray tube with the field emitter on the base of nanocrystalline graphite for computer tomography
Авторы:
Сень В.В. ,
Maslennikov O.Y. ,
Smirnova E.V. ,
Поройков А.Ю. ,
Рахимов А.Т. ,
Селезнев Б.В. ,
Kuzmich K.V. ,
Минаков П.В. ,
Guzilov I.A.
10th International Vacuum Electronics Conference , Rome, Italy, Италия, 2009
2004
Генерация синглетного кислорода в газовом разряде для накачки кислородно-ионного лазера.
Авторы:
Брагинский О.В. ,
Ковалев А.С. ,
Клоповский К.С. ,
Лопаев Д.В. ,
Попов Н.А. ,
Рахимова Т.В. ,
Васильева А.Н. ,
Манкелевич Ю.А. ,
Рахимов А.Т.
57-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC 2004), 26-29 September 2004 , Bunratty, Ireland, Ирландия, 2004
Тезисы докладов
2007
Evolution of Electron Temperature and Density Distributions in the Inter-Electrode Gap of DF CCP Discharge during the RF Period
Braginsky O.V. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Vasilieva A.N.
в сборнике Workshop on Radio-Frequency Discharges , место издания All Hallows College, Dublin, Ireland , тезисы, с. 28
2007
Experimental Study of Dual Frequency RF Discharge in Argon for Different Gas Pressures
Braginsky O.V. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Voloshin D.G. ,
Vasilieva A.N.
в сборнике Proceedings of XXVIII International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG), Book of abstracts , место издания ICPIG-XXVIII Prague, Czech Republic , тезисы, с. 2114-2117
2004
New Mechanism of O2(a(1)Delta(g)) Quenching in Oxygen Contained Plasmas
Savin Yu V. ,
Braginsky O.V. ,
Kovalev A.S. ,
Klopovsky K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Popov N.A. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Vasilieva A.N.
в сборнике XV International Simposium on Gas Flow and Chemical Lasers and High Power Laser Conference, 30 August – 3 September 2004, Book of abstracts , место издания Prague, Czech Republic , тезисы, с. 124-124
2004
Pollution-free efficient source of visible light of high brightness on runaway electrons
Belostotsky Sergey ,
Lopaev Dmitriy ,
Muratov Evgeniy ,
Rakhimov Alexander ,
Saenko Vladimir
в сборнике 57th Gaseous Electronics Conference, 26-29 September, 2004, Shannon, Republic of Ireland , место издания American Physical Society USA , том 1, тезисы, с. 2010
1992
Low Pressure RF Discharge in Electronegative Gases for Plasma Processing
Feoktistov V.A. ,
Lopaev D.V. ,
Klopovsky K.S. ,
Popov A.M. ,
Popovicheva O.B. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V.
в сборнике IVC-12 and ICSS-8, Book of Abstracts , место издания The Hague, The Netherlands , тезисы, с. 174
1986
A CARS study into the efficiency of exciting separate vibrational levels of nitrogen in gas discharge
Devyatov A.A. ,
Dolenko S.A. ,
Nechaev A.A. ,
Orlov Y.V. ,
Persiantsev I.G. ,
Rakhimov A.T. ,
Rebrik S.P. ,
Suetin N.V.
в сборнике Conference Abstracts, VIIIth European Sectional Conference on Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases , место издания Greifswald, GDR , тезисы, с. 120-121
НИРы
2 мая 2017 - 31 декабря 2018
Исследование свойств многочастотной ВЧ плазмы сложного состава, включая потоки и энергетический спектр ионов и фотонов, и их влияние на элементарные процессы на поверхности
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Ответственные исполнители:
Волошин Д.Г. ,
Палов А.П. ,
Рахимова Т.В.
Участники НИР:
Богданова М.А. ,
Волынец А.В. ,
Зотович А.И. ,
Ковалев А.С. ,
Поройков А.Ю. ,
Сычева А.А. ,
Чукаловский А.А.
1 января 2015 - 31 декабря 2025
Экспериментальные и теоретические исследования неравновесных плазменных процессов в газовой фазе и на поверхности
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Алов Н.В. ,
Богацкая А.В. ,
Богданова М.А. ,
Васильева А.Н. ,
Волкова Е.А. ,
Волошин Д.Г. ,
Волынец А.В. ,
Воронина Е.Н. ,
Гаврилов А.В. ,
Дворкин В.В. ,
Евлашин С.А. ,
Зотович А.И. ,
Зырянов С.М. ,
Киреева Е.Д. ,
Клоповский К.С. ,
Ковалев А.С. ,
Кост Т.Н. ,
Кривченко В.А. ,
Кропоткин А.Н. ,
Курчиков К.А. ,
Лопаев Д.В. ,
Манкелевич Ю.А. ,
Минаков П.В. ,
Миронович К.В. ,
Намиот В.А. ,
Олеванов М.А. ,
Палов А.П. ,
Паль А.Ф. ,
Персианцева Н.М. ,
Попов А.М. ,
Попов Н.А. ,
Поповичева О.Б. ,
Поройков А.Ю. ,
Прошина О.В. ,
Рахимова Т.В. ,
Рябинкин А.Н. ,
Самородов В.А. ,
Сень В.В. ,
Серов А.О. ,
Скурихин А.В. ,
Степанов А.С. ,
Суетин Н.В. ,
Сычева А.А. ,
Тимофеев М.А. ,
Тихонова О.В. ,
Унтила Г.Г. ,
Чеботарева А.Б. ,
Чукаловский А.А. ,
Шевнин П.Л. ,
Шкуренков И.А.
30 ноября 2014 - 31 декабря 2015
Разработка физических основ построения сверхпроводниковых электронных устройств для широкополосных приемных систем с прямой оцифровкой сигналов
Физический факультет
Руководитель:
Корнев В.К.
Участники НИР:
Галстян А.Г. ,
Дагесян С.А. ,
Жарик Г.А. ,
Кленов Н.В. ,
Колотинский Н.В. ,
Левочкина А.Ю. ,
Паршинцев А.А. ,
Рахимов А.Т. ,
Сапков И.В. ,
Солдатов Е.С. ,
Соловьев И.И. ,
Шарафиев А.В. ,
Шорохов В.В.
22 мая 2014 - 30 декабря 2016
Исследование свойств многочастотной ВЧ плазмы сложного состава, включая потоки и энергетический спектр ионов и фотонов, и их влияние на элементарные процессы на поверхности
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Васильева А.Н. ,
Волошин Д.Г. ,
Зотович А.И. ,
Зырянов С.М. ,
Клоповский К.С. ,
Ковалев А.С. ,
Курчиков К.А. ,
Лопаев Д.В. ,
Манкелевич Ю.А. ,
Палов А.П. ,
Прошина О.В. ,
Рахимова Т.В. ,
Сычева А.А. ,
Чукаловский А.А.
1 июня 2012 - 31 июля 2015
Механизм образования дефектов в процессе плазменного травления материалов с низким значением диэлектрической постоянной во фторуглеродной плазме
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Васильева А.Н. ,
Волошин Д.Г. ,
Волынец А.В. ,
Зотович А.И. ,
Зырянов С.М. ,
Ковалев А.С. ,
Курчиков К.А. ,
Лопаев Д.В. ,
Манкелевич Ю.А. ,
Палов А.П. ,
Поройков А.Ю. ,
Прошина О.В. ,
Рахимова Т.В. ,
Чукаловский А.А.
12 марта 2012 - 19 июня 2013
Исследование процессов взаимодействия плазмы с поверхностью при формировании наноразмерных структур в материалах с ультра низкой константой диэлектрической проницаемости с участием межуниверситетского микроэлектронного центра IMEC
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Брагинский О.В. ,
Васильева А.Н. ,
Волошин Д.Г. ,
Воронин П.В. ,
Дворкин В.В. ,
Евлашин С.А. ,
Зырянов С.М. ,
Киреева Е.Д. ,
Клоповский К.С. ,
Ковалев А.С. ,
Кривченко В.А. ,
Курчиков К.А. ,
Лопаев Д.В. ,
Манкелевич Ю.А. ,
Минаков П.В. ,
Миронович К.В. ,
Палов А.П. ,
Пащенко П.В. ,
Пилевский А.А. ,
Попов Н.А. ,
Поройков А.Ю. ,
Прошина О.В. ,
Рахимова Т.В. ,
Самородов В.А. ,
Селезнев Б.В. ,
Сень В.В. ,
Степанов А.С. ,
Чукаловский А.А. ,
Шевнин П.Л. ,
Ястребов А.А.
1 января 2012 - 31 декабря 2014
Исследование объемных и поверхностных процессов в неравновесной низкотемпературной плазме
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Аванесов А.В. ,
Брагинский О.В. ,
Васильева А.Н. ,
Волкова Е.А. ,
Волошин Д.Г. ,
Гаврилов А.В. ,
Дворкин В.В. ,
Дзбановский Н.Н. ,
КЛАВДИЕВ В.В. ,
Клоповский К.С. ,
Ковалев А.С. ,
Кост Т.Н. ,
Лопаев Д.В. ,
Манкелевич Ю.А. ,
Минаков П.В. ,
Намиот В.А. ,
Паль А.Ф. ,
Персианцева Н.М. ,
Пилевский А.А. ,
Попов А.М. ,
Попов Н.А. ,
Поповичева О.Б. ,
Прошина О.В. ,
Рахимова Т.В. ,
Рябинкин А.Н. ,
Самородов В.А. ,
Сень В.В. ,
Серов А.О. ,
Скурихин А.В. ,
Суетин Н.В. ,
Тимофеев М.А. ,
Тихонова О.В. ,
Унтила Г.Г. ,
Чеботарева А.Б.
12 октября 2011 - 5 сентября 2012
Разработка катодного узла нейтрализатора заряда ионного потока энергоэффективных электроракетных двигателей малых космических аппаратов на основе автоэмиттера из нанокристаллического графита
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Волошин Д.Г. ,
Волынец А.В. ,
Воронин П.В. ,
Дворкин В.В. ,
Дзбановский Н.Н. ,
Евлашин С.А. ,
Зырянов С.М. ,
Клоповский К.С. ,
Ковалев А.С. ,
Кривченко В.А. ,
Курчиков К.А. ,
Манкелевич Ю.А. ,
Минаков П.В. ,
Миронович К.В. ,
Пилевский А.А. ,
Попов А.М. ,
Поройков А.Ю. ,
Рахимова Т.В. ,
Рябинкин А.Н. ,
Самородов В.А. ,
Сень В.В. ,
Скурихин А.В. ,
Степанов А.С. ,
Суетин Н.В. ,
Тимофеев М.А. ,
Чукаловский А.А. ,
Шевнин П.Л.
1 декабря 2010 - 15 ноября 2012
Исследование механизмов формирования выходного излучения многокатодных рентгеновских источников перспективных рентгеновских 3D-сканеров с электронным сканированием излучающей точки на основе высокоэффективных автоэмиссионных нанографитовых катодов в режиме электронной коммутации управляющих напряжений
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Волошин Д.Г. ,
Волынец А.В. ,
Воронин П.В. ,
Дворкин В.В. ,
Дзбановский Н.Н. ,
Евлашин С.А. ,
Клоповский К.С. ,
Ковалев А.С. ,
Кривченко В.А. ,
Курчиков К.А. ,
Манкелевич Ю.А. ,
Минаков П.В. ,
Миронович К.В. ,
Пилевский А.А. ,
Попов А.М. ,
Поройков А.Ю. ,
Рахимова Т.В. ,
Самородов В.А. ,
Сень В.В. ,
Скурихин А.В. ,
Степанов А.С. ,
Суетин Н.В. ,
Тимофеев М.А. ,
Чукаловский А.А. ,
Шевнин П.Л.
28 июня 2010 - 15 декабря 2012
Экспериментальное и теоретическое исследование механизмов образования дефектов в современных для наноэлектроники материалах с низкой (low-k, LK) и ультра-низкой (ultra low-k, ULK) константой диэлектрической проницаемости при их взаимодействии с плазмой
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Богданова М.А. ,
Васильева А.Н. ,
Волошин Д.Г. ,
Волынец А.В. ,
Воронин П.В. ,
Дворкин В.В. ,
Евлашин С.А. ,
Зотович А.И. ,
Зырянов С.М. ,
Клоповский К.С. ,
Ковалев А.С. ,
Кривченко В.А. ,
Курчиков К.А. ,
Лопаев Д.В. ,
Манкелевич Ю.А. ,
Минаков П.В. ,
Миронович К.В. ,
Намиот В.А. ,
Олеванов М.А. ,
Палов А.П. ,
Паль А.Ф. ,
Попов А.М. ,
Попов Н.А. ,
Прошина О.В. ,
Рахимова Т.В. ,
Сень В.В. ,
Чукаловский А.А. ,
Шарапова П.Р. ,
Шевнин П.Л.
5 октября 2009 - 15 сентября 2010
Исследование фундаментальных процессов ламинарного и турбулентного горения и возможности контролирования процессов горения с помощью возбужденных молекул и радикалов кислорода, генерируемых в неравновесной плазме
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Либерман М.А.
Участники НИР:
Белоусов М.Э. ,
Васильева А.Н. ,
Волошин Д.Г. ,
Евлашин С.А. ,
Зырянов С.М. ,
Клоповский К.С. ,
Ковалев А.С. ,
Кожин В.А. ,
Кривченко В.А. ,
Лопаев Д.В. ,
Манкелевич Ю.А. ,
Минаков П.В. ,
Намиот В.А. ,
Палов А.П. ,
Паль А.Ф. ,
Попов А.М. ,
Попов Н.А. ,
Прошина О.В. ,
Рахимов А.Т. ,
Рахимова Т.В. ,
Сень В.В. ,
Чукаловский А.А.
7 июля 2009 - 1 сентября 2011
Исследование неравновесных процессов в плазме многочастотных плазменных реакторов с прецизионным управлением для травления перспективных материалов наноэлектроники
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Богданова М.А. ,
Васильева А.Н. ,
Волошин Д.Г. ,
Волынец А.В. ,
Воронин П.В. ,
Дворкин В.В. ,
Евлашин С.А. ,
Зотович А.И. ,
Зырянов С.М. ,
Клоповский К.С. ,
Ковалев А.С. ,
Кривченко В.А. ,
Курчиков К.А. ,
Лопаев Д.В. ,
Манкелевич Ю.А. ,
Миронович К.В. ,
Намиот В.А. ,
Олеванов М.А. ,
Палов А.П. ,
Паль А.Ф. ,
Попов А.М. ,
Попов Н.А. ,
Прошина О.В. ,
Рахимова Т.В. ,
Сень В.В. ,
Степанов А.С. ,
Суетин Н.В. ,
Харин В.Ю. ,
Чукаловский А.А. ,
Шарапова П.Р. ,
Шевнин П.Л.
1 июня 2009 - 1 сентября 2011
Разработка и исследование перспективных конструкций кремниевых солнечных фотоэлектрических преобразователей с использованием плазмохимических и лазерных технологических методов и электродов из нано-структурированных пленок прозрачных проводящих оксидов
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Унтила Г.Г.
Участники НИР:
Буренков И.А. ,
Волошин Д.Г. ,
Дворкин В.В. ,
Дзбановский Н.Н. ,
Евлашин С.А. ,
Зырянов С.М. ,
Ковалев А.С. ,
Кост Т.Н. ,
Кривченко В.А. ,
Манкелевич Ю.А. ,
Минаков П.В. ,
Палов А.П. ,
Пащенко П.В. ,
Поройков А.Ю. ,
Прошина О.В. ,
Рахимов А.Т. ,
Рахимова Т.В. ,
Самородов В.А. ,
Селезнев Б.В. ,
Сень В.В. ,
Степанов А.С. ,
Суетин Н.В. ,
Тимофеев М.А. ,
Чеботарева А.Б. ,
Чукаловский А.А. ,
Шевнин П.Л. ,
Шкуренков И.А.
Патенты
2003
Cold emission film-type cathode and method for producing the same.
Авторы:
Blyablin A.A. ,
Kandidov A.V. ,
Timofeev M.A. ,
Seleznev B.V. ,
Pilevsky A.A. ,
Rakhimov A.T. ,
Suetin N.V. ,
Samorodov V.A.
#US 6,577,045 B1, 10 июня
2003
Cold emission film-type cathode and method for producing the same.
Авторы:
Blyablin A.A. ,
Kandidov A.V. ,
Timofev M.A. ,
Seleznev B.V. ,
Pilevsky A.A. ,
Rakhimov A.T. ,
Suetin N.V. ,
Samorodov V.A.
#US 6, 577,045 B1, 10 июня
Отчеты
2015
Отчет о ПНИ "Разработка физических основ построения сверхпроводниковых электронных устройств для широкополосных приемных систем с прямой оцифровкой сигналов". Этап №3: "Обобщение и оценка результатов исследований»" (заключительный)
Авторы:
Корнев В.К. ,
Рахимов А.Т. ,
Колотинский Н.В. ,
Соловьев И.И. ,
Галстян А.Г. ,
Дагесян С.А. ,
Жарик Г.А. ,
Кленов Н.В. ,
Левочкина А.Ю. ,
Шарафиев А.В.
#216011380038, 71 с.
2015
Отчет о ПНИ "Разработка физических основ построения сверхпроводниковых электронных устройств для широкополосных приемных систем с прямой оцифровкой сигналов". Этап №2: "Теоретические и экспериментальные исследования" (промежуточный)
Авторы:
Корнев В.К. ,
Рахимов А.Т. ,
Колотинский Н.В. ,
Галстян А.Г. ,
Дагесян С.А. ,
Жарик Г.А. ,
Кленов Н.В. ,
Левочкина А.Ю. ,
Паршинцев А.А. ,
Сапков И.В. ,
Солдатов Е.С. ,
Соловьев И.И. ,
Шарафиев А.В. ,
Шорохов В.В.
#215080770006, 110 с.
2014
Отчет о ПНИ "Разработка физических основ построения сверхпроводниковых электронных устройств для широкополосных приемных систем с прямой оцифровкой сигналов". Этап №1: "Выбор направления исследований. Теоретические исследования" (промежуточный)
Авторы:
Корнев В.К. ,
Рахимов А.Т. ,
Колотинский Н.В. ,
Галстян А.Г. ,
Дагесян С.А. ,
Жарик Г.А. ,
Кленов Н.В. ,
Левочкина А.Ю. ,
Паршинцев А.А. ,
Сапков И.В. ,
Солдатов Е.С. ,
Соловьев И.И. ,
Трифонов А.С. ,
Шарафиев А.В. ,
Шорохов В.В.
#215022640060, 139 с.
Награды и премии
1978
Государственная премия СССР в области науки и техники
Лауреаты:
Андрияхин В.М. ,
Данилычев В.А. ,
Попов Ю.М. ,
Беленов Э.М. ,
Ковш И.Б. ,
Сучков А.Ф. ,
Письменный В.Д. ,
Орлов В.К. ,
Хвостионов В.Е. ,
Чебуркин Н.В. ,
Персианцев И.Г. ,
Рахимов А.Т.
Участие в редколлегии журналов
Членство в диссертационных советах