Кандидатская диссертация по специальности 05.27.06 - Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники (хим. науки)
Защищена в совете
Д 212.204.12
при ФГБОУ ВО «Российский химико-технологический университет имени Д.И. Менделеева»
Организация, в которой выполнялась работа:
Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН
Ведущая организация:
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова Российской академии