|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Проведение процесса ионной имплантации алюминия в эпитаксиальные структуры карбида кремнияНИР
- Руководитель НИР: Шемухин А.А.
- Участники НИР: Балакшин Ю.В., Ермаков Ю.А., Назаров А.В., Черныш В.С.
- Подразделение: Отдел физики атомного ядра
- Срок исполнения: 27 апреля 2015 г. - 30 марта 2016 г.
- Номер договора (контракта, соглашения): 59-15
- Номер ЦИТИС: АААА-А16-116051310048-8
- Тип: Прикладная
- Приоритетное направление научных исследований: Исследование наноструктур: физика, технологии, применение
-
Ключевые слова:
легирование, карбид кремния, образование дефектов, силовые электронные компоненты, ионная имплантация
- Добавил в систему: Шемухин Андрей Александрович
Источник финансирования НИР
| Хоздоговор, Хоздоговор |
Этапы НИР
| # | Сроки | Название |
| 1 | 27 апреля 2015 г.-31 декабря 2015 г. | Выбор и обоснование направления исследования путей и способов ионной имплантации алюминия в эпитаксиальные структуры карбида кремния |
| Результаты этапа: | ||
| 2 | 1 января 2016 г.-30 марта 2016 г. | Обобщение и оценка результатов исследований имплантации алюминия в эпитаксиальные структуры карбида кремния |
| Результаты этапа: | ||
Прикрепленные к НИР результаты
Для прикрепления результата сначала выберете тип результата (статьи, книги, ...). После чего введите несколько символов в поле поиска прикрепляемого результата, затем выберете один из предложенных и нажмите кнопку "Добавить".
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Ан.отчет_59-15(1) | An.otchet_59-151.pdf | 9,5 МБ | 26 января 2016 [Vic746] | |
| 2. | Ан.отчет_59-15(2) | An.otchet_59-152.pdf | 7,7 МБ | 26 января 2016 [Vic746] |