![]() |
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Целью проекта является экспериментальное и теоретическое исследование процессов зарядки диэлектриков под воздействием ионных и электронных пучков. Актуальность таких исследований связана с широким использованием в последнее время ионных и электронных сфокусированных пучков в различных технологических процессах в микро- и наноэлектронике, а также в электронно-зондовых и ионно-лучевых методах анализа структуры и состава твердого тела. Возникающая при этом зарядка затрудняет проведение диагностики поверхности диэлектриков. В этой связи в последние годы проводятся обширные исследования механизмов зарядки диэлектрических компонент образцов при электронном облучении. Однако в трактовке зарядки диэлектриков до сих пор остаются дискуссионные вопросы, существуют противоречия в теоретических и экспериментальных работах. Механизм зарядки диэлектриков при ионном облучении в настоящее время практически не изучен.
The purpose of this work is the experimental and theoretical study of charging of dielectrics under ion and electron beam irradiation. The reason of these investigations is the widespread use of ion and electron focused beams in various micro- and nanoelectronic technologies, as well as for electron and ion probe analysis of structure and composition of solids. The electron and ion-induced charging makes it difficult to diagnose the surface of dielectrics. In this connection, extensive studies of electron charging of dielectric samples have been carried out in recent years. Nevertheless, mechanism of electron charging is not fully understood, and there are some contradictions in theoretical and experimental works. The fundamental mechanism of charging under ion irradiation has not been investigated yet.
1. Модернизировать установки для ионного распыления с целью регистрации токов смещения, по которым можно определять величины положительных и отрицательных аккумулированных зарядов в диэлектрике в процессе ионного облучения. 2. Получить экспериментальные зависимости поверхностного потенциала, аккумулированного в диэлектрике заряда, ионно- электронные и эмиссионные характеристики различных диэлектрических образцов от дозы облучения ионами инертных газов, ионами металла и протонами. 3. Получить экспериментальные данные по кинетике зарядки диэлектрических образцов, после предварительного облучения электронами низких энергий (1кэВ) и после нанесения на поверхность диэлектрика тонкой металлической пленки.
Для изучения динамики зарядки диэлектрических образцов была специально разработана оригинальная комплексная методика, основу которой составляет одновременное измерение всех временных характеристик зарядки диэлектрического образца: поверхностного потенциала, токов утечки и смещения, токов вторичной электронной эмиссии, а также сигналов катодолюминесценции и рентгеновского излучения. На созданной экспериментальной установке получены новые данные по кинетике зарядки диэлектриков под электронным и ионным пучками, в частности диэлектриков с предварительно внесенными радиационными дефектами.
1. Была проведена модернизация установки для ионного распыления с целью регистрации токов смещения, по которым можно определять величины положительных и отрицательных аккумулированных зарядов в диэлектрике в процессе ионного облучения. 2. Получены предварительные данные по зарядке диэлектрических образцов под воздействием ионного облучения. 3. Получены экспериментальные данные по кинетике зарядки диэлектриков под электронным пучком после их предварительного облучения протонами (50 и150 кэВ). 3. Получены экспериментальные данные по кинетике зарядки диэлектрических образцов после предварительного облучения электронами низких энергий (1кэВ) и после нанесения на поверхность диэлектрика тонкой металлической пленки.
грант РФФИ |
# | Сроки | Название |
1 | 1 января 2018 г.-31 декабря 2018 г. | Процессы зарядки диэлектриков под воздействием ионных и электронных пучков |
Результаты этапа: | ||
2 | 1 января 2019 г.-31 декабря 2019 г. | Процессы зарядки диэлектриков под воздействием ионных и электронных пучков |
Результаты этапа: | ||
3 | 1 января 2020 г.-31 декабря 2020 г. | Процессы зарядки диэлектриков под воздействием ионных и электронных пучков |
Результаты этапа: |
Для прикрепления результата сначала выберете тип результата (статьи, книги, ...). После чего введите несколько символов в поле поиска прикрепляемого результата, затем выберете один из предложенных и нажмите кнопку "Добавить".