|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Соглашение о сотрудничестве между НИИЯФ МГУ и IMECНИР
Collaboration Agreement between SINP MSU and IMEC
- Руководитель НИР: Рахимова Т.В.
- Ответственные исполнители: Волошин Д.Г., Воронина Е.Н., Манкелевич Ю.А., Рахимов А.Т.
- Участники НИР: Прошина О.В., Сычева А.А., Чукаловский А.А.
- Подразделение: Отдел микроэлектроники
- Срок исполнения: 13 августа 2021 г. - 31 декабря 2022 г.
- Номер договора (контракта, соглашения): OPP-13072
- Тип: Фундаментальная
- Приоритетное направление научных исследований: Исследование наноструктур: физика, технологии, применение
- ПН России: Индустрия наносистем
- Критическая технология России: Компьютерное моделирование наноматериалов, наноустройств и нанотехнологий
-
Рубрики ГРНТИ:
- 29.19.16 Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела
- 29.19.22 Физика наноструктур. Низкоразмерные структуры. Мезоскопические структуры
- 29.27.47 Численные методы в физике плазмы
-
Ключевые слова:
моделирование взаимодействия плазмы с поверхностью, монослойные тонкие пленки, наноэлектроника, дихалькогениды переходных металлов, стимулированные плазмой процессы
nano-electronics, monolayer thin films, plasma-enhanced processes, transition metal dichalcogenide materials, modeling of plasma-surface interactions -
Описание:
Координация исследований, проводимых НИИЯФ МГУ и Межуниверситетским Микроэлектронным центром IMEC (Interuniversitair Micro-Electronica Centrum, Leuven, Belgium), в области взаимодействия низкотемпературной плазмы в смесях Н2 и Н2S c нанопленками квазидвумерных материалов на основе дихалькогенидов переходных металлов
-
Abstract:
Research of dynamics, reactivity and interaction of S- and H-based species on the surface of pristine and defective TMDC materials in H2-H2S remote plasma discharges
- Добавил в систему: Поройков Александр Юрьевич
Этапы НИР
| # | Сроки | Название |
| 1 | 13 августа 2021 г.-31 декабря 2022 г. | Соглашение о сотрудничестве |
| Результаты этапа: | ||
Прикрепленные к НИР результаты
Для прикрепления результата сначала выберете тип результата (статьи, книги, ...). После чего введите несколько символов в поле поиска прикрепляемого результата, затем выберете один из предложенных и нажмите кнопку "Добавить".