|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Новые нанопористые полибензоксазольные пленки с ультранизкой диэлектрической проницаемостью в качестве перспективных межслойных диэлектриков в мультиинтегральных схемахНИР
Новые нанопористые полибензоксазольные пленки с ультранизкой диэлектрической проницаемостью в качестве перспективных межслойных диэлектриков в мультиинтегральных схемах
- Руководитель НИР: Кештов М.Л.
- Ответственный исполнитель: Куклин С.А.
- Участники НИР: Бузин М.И., Гамов А.Л., Константинов И.О., Николаев А.Ю., Онищенко Т.А., Остапов И.Е., Саид-Галиев Э.Е., Юнусов С.М.
- Подразделение: 311 Лаборатория физической химии полимеров (ЛФХП)
- Срок исполнения: 1 января 2013 г. - 31 декабря 2017 г.
- Номер договора (контракта, соглашения): IV.5.2
- Тип: Фундаментальная
- Приоритетное направление научных исследований: другое
-
Рубрики ГРНТИ:
- 31.15.19 Химия твердого тела
- 31.25.19 Синтез высокомолекулярных соединений. Физико-химические основы синтеза высокомолекулярных соединений
-
Описание:
Целью данного проекта является дизайн и синтез ароматических полибензоксазолов и разработка на их основе нанопористых полимерных материалов с ультра¬низ¬кой диэлектрической постоянной в сочетании с высокими терми¬ческими, меха¬ни¬ческими и адгезионными характеристиками в условиях сверхритического СО2 и установление за-виси¬мости диэлектрической постоянной от структуры, размера и формы нанопор с целью создания высо¬коэффективных межслойных диэлек¬три¬ков в мультиинтегральных схемах
- Добавил в систему: Кештов Мухамед Лостанбиевич
Источник финансирования НИР
| госбюджет, раздел 0706 (для тем по госзаданию) |
Этапы НИР
| # | Сроки | Название |
| 1 | 1 января 2013 г.-31 января 2013 г. | Новые нанопористые полибензоксазольные пленки с ультранизкой диэлектрической проницаемостью в качестве перспективных межслойных диэлектриков в мультиинтегральных схемах |
| Результаты этапа: | ||
| 2 | 1 января 2014 г.-31 декабря 2014 г. | Новые нанопористые полибензоксазольные пленки с ультранизкой диэлектрической проницаемостью в качестве перспективных межслойных диэлектриков в мультиинтегральных схемах |
| Результаты этапа: | ||
| 3 | 1 января 2015 г.-31 декабря 2015 г. | Новые нанопористые полибензоксазольные пленки с ультранизкой диэлектрической проницаемостью в качестве перспективных межслойных диэлектриков в мультиинтегральных схемах |
| Результаты этапа: | ||
| 4 | 1 января 2016 г.-31 декабря 2016 г. | Новые нанопористые полибензоксазольные пленки с ультранизкой диэлектрической проницаемостью в качестве перспективных межслойных диэлектриков в мультиинтегральных схемах |
| Результаты этапа: | ||
| 5 | 1 января 2017 г.-31 декабря 2017 г. | Дизайн и синтез новых фторированных ароматических полиимидов в качестве межслойных диэлектриков в интегральных схемах |
| Результаты этапа: | ||
Прикрепленные к НИР результаты
Для прикрепления результата сначала выберете тип результата (статьи, книги, ...). После чего введите несколько символов в поле поиска прикрепляемого результата, затем выберете один из предложенных и нажмите кнопку "Добавить".