![]() |
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Целью НИР является проведение исследований и разработка методов и методик нанесения пористых металлооксидных материалов на мембранные элементы МЭМС с тонкопленочным нагревателем для изготовления металлооксидных газовых сенсоров.
The purpose of the research is to develop methods and techniques for applying porous metal oxide materials to MEMS membrane elements with a thin-film heater for the manufacture of metal oxide gas sensors.
1. Методики совмещения пористых металлооксидных материалов с конструкцией МЭМС структур на основе процесса струйной микропечати из суспензий; 2. Серия ультрадисперсных газочувствительных материалов на основе полупроводниковых оксидов металлов, специально предназначенных с точки зрения морфологии и дисперсности для получения на их основе достаточно устойчивых для печати суспензий; 3. Методики изготовления пористых металлооксидных покрытий методом струйной микропечати с контролируемыми геометрическими параметрами; 4. Серия многослойных чувствительных элементов с армирующими, фильтрующими и каталитическими слоями материалов при сохранении равномерности их прогрева в процессе эксплуатации; 5. Лабораторные образцы сенсоров с варьируемыми параметрами газочувствительного элемента; 6. Информация об эволюции чувствительного элемента сенсоров в ходе долговременных измерений; 7. Методы обработки сигнала сенсоров.
ФГБНУ «Научно-производственный комплекс «Технологический центр» |
# | Сроки | Название |
1 | 12 сентября 2022 г.-30 ноября 2022 г. | Исследование и разработка методов и методик нанесения пористых металлооксидных материалов на мембранные элементы МЭМС с нагревателем для изготовления металлооксидных газовых сенсоров |
Результаты этапа: Все работы выполнены в соответствии с техническим заданием и планом-графиком проекта. | ||
2 | 1 января 2023 г.-30 ноября 2023 г. | Исследование и разработка методов и методик нанесения пористых металлооксидных материалов на мембранные элементы МЭМС с нагревателем для изготовления металлооксидных газовых сенсоров |
Результаты этапа: Все работы выполнены в соответствии с техническим заданием и планом-графиком проекта. | ||
3 | 1 января 2024 г.-30 ноября 2024 г. | Исследование и разработка методов и методик нанесения пористых металлооксидных материалов на мембранные элементы МЭМС с нагревателем для изготовления металлооксидных газовых сенсоров |
Результаты этапа: |
Для прикрепления результата сначала выберете тип результата (статьи, книги, ...). После чего введите несколько символов в поле поиска прикрепляемого результата, затем выберете один из предложенных и нажмите кнопку "Добавить".